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显微式激光测振仪
显微镜物镜扫描台
）是一种将显微扫描成像技术应用于光电流检测的技术，类似于显微光谱成像，可以检测样品微观区域中光电流强度的分布，为样品被扫描区域构建出完整的光电流强度信息图，主要用于分析材料的分布、构成与组分。我司代理的XperRam Photocurrent光电测试系统在40倍物镜下可以达到200微米*200微米的扫描范围。如上图所示，为我司代理的XperRam Photocurrent光电测试系统光路图，绿色线条为激光光路。激光通过反射镜、滤波片、振镜、扩束系统、反射镜、显微物镜后聚焦在样品表面，样品在激光照射下产生光电流，电流值通过探针被数字源表读出并被软件记录。而扫描控制器Scanner会控制振镜在X和 ...
技术摆脱了显微扫描成像的局限，使用CCD相机采集椭偏图像，将成像技术与椭偏技术相结合，研发出成像椭偏仪，该椭偏仪可以观测油滴在云母基地上的扩散过程，较大提高了测量效率。20 世纪 90 年代，基于椭偏测量技术的椭偏光学显微成像发展开来。1996年，中科院靳刚教授与瑞典林雪平大学的Jansson和Arwin以起偏器-补偿器-样品-检偏器（PCSA）椭偏仪为基础，采用准直扩展光束为入射光，CCD 相机作为探测器，如下图所示，对硅基层透明薄膜进行可视化，横向分辨率达到5μm。该技术在由起偏器、补偿器、样品和检 偏器组成的消光式椭偏仪中使用光度式，在衬底裸露部分进行消光调节，然后在保持补偿器方位角、偏 ...
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