中文:微纳光刻;英文:micro/nano lithography

解释
中文:微纳光刻;英文:micro/nano lithography的原理;中文:微纳光刻;英文:micro/nano lithography的定义;中文:微纳光刻;英文:micro/nano lithography是什么。
利用光束、电子束或离子束曝光系统,将预制的母版微纳结构图形转移到涂覆于基底(如硅片)上的抗蚀剂或光刻胶中的光刻工艺。
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