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中文：微纳光刻；英文：micro/nano lithography

关键词

解释

利用光束、电子束或离子束曝光系统，将预制的母版微纳结构图形转移到涂覆于基底（如硅片）上的抗蚀剂或光刻胶中的光刻工艺。

相关词条

中文：曝光；英文：exposure

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