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中文：扫描干涉场曝光；英文：scanning beam interference exposure

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解释
中文：扫描干涉场曝光；英文：scanning beam interference exposure的原理；中文：扫描干涉场曝光；英文：scanning beam interference exposure的定义；中文：扫描干涉场曝光；英文：scanning beam interference exposure是什么。
 两束小截面高斯激光相干涉形成直线度误差为几纳米的干涉条纹，通过精密工作台的二维运动以扫描方式将干涉条纹记录于光刻胶上的一种感光过程。
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