中文:外延;英文:epitaxy

关键词
解释
中文:外延;英文:epitaxy的原理;中文:外延;英文:epitaxy的定义;中文:外延;英文:epitaxy是什么。
用物理或化学方法在单晶衬底上依特定晶向生长出与衬底晶格匹配的另一种同质或异质单晶薄膜的半导体制备工艺。如氢化物气相外延、液相外延、分子束外延等。