中文:衬底;英文:substrate

关键词
解释
中文:衬底;英文:substrate的原理;中文:衬底;英文:substrate的定义;中文:衬底;英文:substrate是什么。
又称“基板”。沉积薄膜或微加工半导体器件时用作载体的基础材料。常为单晶,如外延生长半导体薄膜或向其内注入杂质原子时,要求有一定厚度、与在其上生长的薄膜材料有好的晶格匹配的单晶。
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