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激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
Prometheus超低亮高精度色度计- HDR显示计量领域的游戏规则改变者!什么是 HDR?高动态范围(High-Dynamic Range,简称 HDR)作为超高清音视频产业的关键技术之一,拥有更广的色彩容积和更高的动态范围,为图像保留更多细节。通过丰富的图像亮部和暗部细节,在对比度、灰度等维度上提升影像质量,让用户眼中的影像更加细腻真实,更富有感染力。在HDR技术中,动态范围指的就是图像的zui大亮度和zui小亮度的比值。对比度有几种不同的计算方法,其中重要的3种分别是:韦伯对比度(CW)、麦克森对比度(CM)以及比率对比度(CR)。定义为:HDR相比SDR标准的优势:标准动态范围(St ...
用于12.5Gbit/s光互连的高速1.3um VCSEL在过去的几年里,在1.3um波长范围内发射的长波长垂直腔表面发射激光器(VCSELs)在器件性能方面取得了长足的进步,并达到了一定的成熟度,可以进入工业应用。虽然成熟的GaAs基技术利用GaInNA的有源区扩展到约1.3um,但许多方法表明,InP基器件概念可以获得优异的性能,这些概念受益于AlGaInAs/InP应变量子阱的优异增益特性,并通过使用介电镜、散热器或晶片键合技术来规避热问题。我们的解决方案是一种基于InP的单片方法,使用具有自完成电流和折射率引导的埋隧道结(BTJ)。利用这一概念,我们zui近展示了1.55um波长的器件 ...
拉曼在ALD生长特定材料的定制工艺中的应用引言:二维(2D)范德瓦尔斯(vdW)材料由于其特殊得材料厚度呈现出很多优异得性能,包括过渡金属双卤化合物(TMDs)和被称为Xene(X为Ge、P、Te等)的二维半导体在内,催生了大量相关主题的研究。由于其优越的载流子迁移率和在原子尺度厚度上的有效静电栅能控性,TMDs和Xene将是下一代电子领域很有前途的候选者。然而当前二维材料的合成技术依旧面临技术挑战(例如,晶片规模均匀性,可靠的批量生产和不影响结晶度的较低的合成温度),高保质量合成和包括硅基其他2D材料的异质材料合成方法,是解锁这些材料的潜力在科学和技术领域的必要途径。目前原子层沉积(ALD) ...
拉曼在改善二维材料WSe2器件光电性能中的应用引言:自打使用透明胶带机械剥离出(2D)单层石墨烯,各种二维材料材料陆续进入研究人员的视野,其表现出层间激子凝聚,超导,量子干涉,和量子相变等独特性能,显示二维材料在高性能光电和量子计算中应用的重要可行性。这独特性能主要归因于它们的厚度相关的可调谐带隙、超高载流子迁移率和强烈的光物质相互作用。此外,二维vdW异质结构为研究拓扑结构、超晶格、和层间库仑相互作用的影响提供了新的途径。然而,与简单的单层相比,二维vdW多层在相邻层之间具有vdW间隙,扰乱了层间电荷效率,从而导致这些多层在平面内和平面外载流子输运的各向异性。在存在静电偏置相关的层间电阻的情 ...
亚纳秒激光器在 LCD 及 OLED 激光修复中的应用摘要亚纳秒激光器广泛的应用于 LCD 及 OLED 激光修复应用中。 LCD 和 OLED 在生产过程中经常产生各种缺陷,亚纳秒激光器可以针对不同缺陷的进行修复。亚纳秒激光器在激光修复方面具有独特的优势,凭借高精度、高效率等特性,有助于提高显示屏的良品率和性能,降低生产成本,在显示面板行业具有重要的应用价值与广阔的发展前景。正文一、LCD 和 OLED常见缺陷及修复介绍1.1 LCD 激光修复介绍在 LCD 制造过程中,经常会出现短路和开路等缺陷。对于短路缺陷,亚纳秒激光器通过发射高能量密度的激光脉冲,精准聚焦于短路部位。瞬间的高能量使短路 ...
超分辨光学微球显微镜——分辨率可达50纳米!光学显微镜是一种常用的科学仪器,用于观察微观shi界中的细胞、组织和微生物等。它具有许多优点,其能达到较高的分辨率,能够提供清晰的图像,使科学家能够观察到微小结构和细胞器的细节,有助于生物学和医学研究。此外,光学显微镜可以实时观察样本,捕捉生物过程中的动态变化,如细胞分裂或运动过程,这对研究有重要意义。光学显微镜操作相对简单,不需要复杂的样本处理或特殊的环境条件,因此适用于许多实验室和教学环境。然而,光学显微镜也有其局限性。光学显微镜受到光波长的限制,其分辨率有一定的局限性,无法观察比光波长更小的结构。根据瑞利判据:其中,θ 是两个点光源zui小可分 ...
用Specim高光谱相机检测PCB印刷电路板涂层厚度和均匀性高光谱成像如何确保精确的保护涂层厚度?我们测试了 Specim FX17是否适用于监测 PCB 保护涂层的厚度。Specim FX17是一款线扫描高光谱相机,工作波长范围为 900-1700 纳米的近红外 (NIR)。我们研究了两种类型的涂层。塑料喷涂PRF 202,Electrolube SCC3UL(一种紫外线漆)。我们在五块印刷电路板上的涂层(1 - 5)上喷涂了这两种涂料。每次测量有5 块印刷电路板,分别有 1、2、3、4、5 层(从上到下),1 是没有任何涂层的参考样品(右上角)。图 1:印刷电路板样品光谱分析图 2:印刷电 ...
BERTIN ALPAO变形镜小巧身形,强大性能——重新定义自适应光学集成新标准拥有超过16年经验的Bertin Alpao公司致力于通过消除像差来革新光学技术。自2008年起,该公司一直为科研和工业领域设计制造全系列自适应光学产品。Bertin Alpao深刻理解客户需求,提供优质的组件:包括可变形反射镜、波前传感器以及针对不同应用的软件解决方案。我们的产品可定制应用于天文观测、眼科医学、显微成像、无线光通信及激光技术等多个领域,其无与伦比的性能可帮助用户获取超高分辨率图像。eDM延续了Bertin ALPAO“以用户需求为核心”的理念,将高性能与易用性完美结合eDM97-15的优势1.小巧 ...
拉曼光谱专题1|拉曼光谱揭秘:新手也能轻松迈入光谱学之门你是否想过,一束光照射物质后,能揭开其分子层面的秘密?今天,就让我们走进神奇的拉曼光谱shi界,哪怕是光谱学小白,也能轻松入门!光照射物质时,大部分光子如同调皮的孩子,以瑞利散射的形式 “原路返回”,波长不变;但有少数 “不安分” 的光子,会经历一场奇妙冒险 —— 非弹性散射,也就是拉曼散射,在这场冒险中,它们的波长因分子振动而改变。这一伟大发现由 C.V. Raman 在 1930 年完成,从此为化学分析打开了全新的大门。拉曼效应就像光与物质的一场 “暗号交流”,光子与物质相互作用后,部分光子改变波长,而这背后与分子振动紧密相连。科学家 ...
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