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中文：光栅干涉仪；英文：grating interferometer

关键词
解释
中文：光栅干涉仪；英文：grating interferometer的原理；中文：光栅干涉仪；英文：grating interferometer的定义；中文：光栅干涉仪；英文：grating interferometer是什么。
 一种基于衍射原理的横向错位干涉仪。它在有环境干扰的情况下具有良好的稳定性。干涉信号是由光栅上衍射的两束光波顺序互相重叠产生，计算两束光之间的相位差可获得测量值。
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