193nm紫外波前传感器（512x512高相位分辨率）助力半导体/光刻机行业发展！摘要：昊量光电联合法国Phasics公司推出全新一代193nm高分辨率（512x512）波前分析仪!该波前传感器采用Phasics公司技术-四波横向剪切干涉技术，可以工作在190-400nm波段，消色差，具有2nm RMS的相位检测灵敏度，能够精确测量紫外光波前的细微变化。SID4-UV-HR 紫外波前分析仪非常适合紫外光学元件表征（DUV光刻、半导体等领域）和表面检测（透镜和晶圆等）。193nm 紫外波前传感器（512x512 高相位分辨率）在半导体/光刻机行业中具有重要作用。该传感器具有高分辨率，消色差，对震 ...
Phasics波前传感器的应用案例（一）SID4在超快超强激光的前沿应用Phasics的波前传感器凭借其卓越的精度和广泛的适用性，已成为超快、超强激光设施中的关键诊断工具。以下是一些近期应用实例，展示了SID4系列波前传感器在国际前沿科研中的应用场景及其对高能激光系统优化的贡献：一、SID4在超快超强激光的前沿应用1.1对研究过程中因热效应引起的波前畸变分析-中国科学院上海光学精密机械研究所和中国科学院大学材料科学与光电工程中心图1 多程激光放大系统中国科学院上海光学精密机械研究所和中国科学院大学材料科学与光电工程中心的研发团队选择了Phasics SID4波前传感器，对研究过程中因热效应引起 ...
Phasics波前传感器的应用案例（二）SID4在透镜/镜头检测方面的解决方案Phasics波前传感器以其独有的横向四波剪切技术闻名，其推出的SID4系列波前传感器以高灵敏度、高分辨率、高重复性的特点更受市场青睐，以下为SID4在透镜/镜头检测方面的具体案例应用。一、对复杂超表面进行精确表征的一种方法-超透镜1.1 针对超表面测量Phasics具备的优势传统的低分辨率技术很难准确测量超透镜的复杂特征，Phasics针对超透镜提出了高效的解决方案，并具备以下4点优势:Phasics sC8搭载显微镜测量场景1.亚波长空间尺度下的高精度测量：Phasics的波前传感器不仅具备优于2nm RMS的光 ...
正信道的畸变波前和使用偏振复用高阶复杂调制格式，实现了高吞吐量。研究发现，自适应光学系统不会对相干调制格式的接收产生畸变。此外，我们还介绍了星座调制——一种新的四维BPSK (4D-BPSK)调制格式，作为在很低信噪比下传输高数据速率的技术。通过这种方式，我们展示了53公里FSO传输速率为13.3 Gbit/s和210 Gbit/s，每比特分别只有4.3和7.8光子，误码率为1∙10-3。实验表明，相干调制编码与全自适应光滤波相结合是实现下一代Tbit/s卫星通信实用化的有效手段。9.反向纳米聚焦波导中铒的发射增强（Emission enhancement of erbium in a rev ...
原因是激光的波前在光线内周期性振荡。图2 不同模式下光纤内光束质量为了更好的对比，我们模拟了基模激光分别从三臂输入光纤合束器的情况，在Z=14mm处的光场分布如下图3所示。激光计算可得三路合成时x，y方向上的平均光束质量分别为5.77和5.80，这样的结果显然不够理想。图3 基模三臂入射时Z=14mm处光场分布为了更为具体地确认入射激光中LP02模和LP11模对光束质量的影响，特意加入了一个中间模式——80%LP01+10%LP02+10%LP11。随后我们对四种情况进行仿真，得到了四种模式下激光入射到光纤功率合束器后再Z=25mm处的光场分布，如图4所示。图4四种模式下激光入射到光纤功率合束 ...
测试参数包括波前通过视场，通过光谱范围(从可见光到近红外)，孔径像差-球面像差，彗差，像散;场像差-失真，场曲率;色差-波前色差，横向和轴向色差等。2. 通过物镜、针孔单元和D7干涉仪的精确线性运动来测试视场。3. 检测精度如下表所示：3.畸变校正1. DifroMetric软件导出/导入数据传输为标准光学设计软件(ODS)。2. 物镜的测量像差可用泽尼克条纹系数表示。3. 实测像差系数CFZM可与设计系数CFZD进行数据比较，DifroMetric和光学设计软件之间可交互作用。4. 比较的结果有助于选择参数包括-气隙，或其他参数，这对于在装配过程中对待测件位置的调整有重要作用。4.D7系统的 ...
在系统中引入波前畸变，zui终影响M2的测量。为了验证波前畸变对M2的影响，根据图4所示的流程图进行仿真。图4 仿真缩束组件波相差对激光M2的影响图5为0°视场下缩束组件的波前图和各项系数，通过zemax分析可知当入射波长为1064nm时，PV值为0.0039λ，低于λ/10的设计要求。图5 0°视场下缩束组件波前图图6为0°视场下缩束组件的激光M2曲线，根据该结果可知，当视场为0°时，x方向的M2为1.0338，Y方向的M2为1.0340。而随着视场角度的逐渐增大，x方向的倾斜项、慧差项、离焦项、像散项和球差项均增大，y方向的倾斜项和慧差项则保持不变，计算得到不同视场下的M2，结果如图7所示 ...
波长允许容忍波前畸变，这些畸变在可见光波长下会严重降低图像质量。（3）激发激光的小光谱带宽（10nm FWHM）限制了非色散ETL/OL组合可能引入的色差影响。（4）对于大多数测量功能性细胞活动的生物学应用来说，安装在物镜附近的ETL/OL组件引入的视场大小变化不会干扰测量。为了记录功能数据，激光必须在一段时间内反复指向同一组细胞。如果由于放大倍数的变化导致细胞间隔变远，可以选择相应的点进行扫描。装置与定制双光子显微镜结合使用的装置如图11所示。图 11 在双光子显微镜中实现ETL/OL组件的安装。液态变焦透镜ETL和OL安装在与显微镜检测系统相连的定制物镜支架上。使用可移动的二色分光片DC， ...
其中显示了滤波前后信号的频谱以及滤波传递函数。在直接调制激光中，高强度符号相对于低强度符号发生蓝移。当我们以图3所示的方式对齐滤波器和信号波长时，信号的红移部分（低强度符号）比蓝移部分（高强度符号）衰减更高。这种调频（FM）到调幅（AM）的转换增加了信号的眼界，从而提高了系统的性能。图3 滤光片前后的信号光谱及滤光片的传递函数实验结果我们首先测量了背靠背的性能，结果如图4所示，图4显示了背靠背操作时的误码率和光信噪比（OSNR）。结果表明，在误码率约为2.0×10-3处存在误差层。使用7%的开销硬决策转发纠错（FEC）代码（导致净比特率为98.80Gb/s），我们可以实现OSNR大于26dB的 ...
浮雕微结构对波前的振幅和相位进行调控，从而实现入射光束再分布的精密光学器件，可以容易地实现一些传统折光结构难以实现的效果。同时，DOE也存在一些限制条件，其对于入射激光有着严格的要求。在众多影响因素中，光束质量是一个无法被忽视的因子。对于多模输出的激光器，其输出激光可以用近似高斯谢尔模型（GSM）描述。本文利用GSM光束研究光束质量对平顶光DOE输出光斑的影响。通过模式分解的方法，计算得到不同光束质量的GSM光束经过DOE之后的光斑分布，图1为利用相干模式表示方法和随机模式表示方法计算的M2分别为1.0、1.5、2.0和2.5的GSM光束经DOE后的光斑形貌和剖面图。其中，相干模式计算方法中系 ...
或 投递简历至: hr@auniontech.com
