面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中,紫外(UV)及深紫外(DUV)光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进,紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段,每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径(NA)极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线,决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界:瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据(Rayleigh criterion)严格定义:CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长,NA 代表数值孔径,这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
Moku 一体化测试方案:从 Allan 标准差到系统稳定性分析引言在上一篇文章《Allan 方差理论和测量方法》中,我们系统介绍了 Allan 方差(Allan deviation)的理论基础,以及它在分析系统稳定性中的重要作用。在实际测量中,如何更高效测量 Allan 标准差?是选择实时观测,还是导出数据再分析?是用于快速调试,还是进一步完成深度分析与建模?在本文中,我们将介绍一种更为高效且灵活的方法:通过 Moku 相位表,即可实现两种 Allan 标准差分析方式,帮助用户在不同测试场景下快速完成稳定性评估。Moku:Delta 配备8通道输入/输出,2 GHz /6 GHz输入带宽,内 ...
一张照片,全幅清晰!看AI超景深显微镜如何征服“凹凸不平”的考古文物三维微观结构近年来,超景深显微镜在科技考古与文物保护领域的应用越来越广泛,下文给出几个使用案例。一、为什么观察文物需要超景深显微镜?普通光学显微镜景深小,适合观察“薄而平”的样本,而文物往往“厚、大、凹凸不平、脆弱”,需要景深大的超景深3D数码显微镜才能在同一时间看清不同高度的表面。超景深显微镜的原理是:通过成像系统在z轴扫描、CCD成像,捕捉样品上每个进入焦点的不同区域的图像,再利用3D合成重建算法,获得高分辨率,大景深的全幅对焦的三维图像。对于面积大的样品,可进行图像2D拼接和3D拼接,这样就能在显示器上清晰观察到放大的样 ...
空间光调制器(SLM)在中性原子量子计算中的应用一、引言量子计算利用量子叠加、纠缠与干涉特性,在特定问题上具备超越经典计算机的算力优势。当前主流技术路线包括超导、离子阱、中性原子、光量子等,其中中性原子系统近年实现突破性进展。中性原子量子比特天然全同、室温长相干(秒级)、无布线约束、可动态排布二维/三维阵列,完美契合大规模量子计算对高保真度、高扩展性、低串扰的核心需求。图 1: 中性原子量子计算系统二、中性原子体系与核心原理2.1 主流原子选择2.1.1铷 - 87(⁸⁷Rb,zui主流)能级简单、冷却 / 操控技术成熟、成本低。超精细基态相干时间秒级,适合长时量子存储。2.1.2 铯 - 1 ...
从“弯曲的桌面”到“亚厘米精度”:一篇带你读懂SPAD阵列激光雷达的误差与补偿2025年4月,中国计量大学的研究团队系统地分析时间门控SPAD阵列激光雷达的两大核心误差源,并提出了可量化的补偿方法。实验结果令人印象深刻:补偿后误差降低超过60%,深度分辨率优于1厘米。下面,我们就来拆解其中的技术细节。一、时间门控SPAD激光雷达的工作原理在深入误差分析之前,先快速理解这个系统是怎么工作的。与传统TCSPC(时间相关单光子计数)技术不同,时间门控SPAD阵列不逐点累积光子直方图,而是通过时间门来“切片”。每个时间门是一个固定宽度的时间窗口,比如5纳秒。相机在连续的门控周期中依次打开这些窗口,每个 ...
获取白皮书《现代宽带射频记录回放解决方案》在现代射频(RF)测试测量场景中,工程师们常提出这样的需求:将真实的电磁环境实时完整地记录下来,并在后续实验复现信号,甚至需要对信号进行在线修改和调整。这个需求看似简单,真正实现却面临诸多挑战,例如:传统宽带记录与回放系统通常功能单一、数据格式封闭,难与现代化标准系统集成,且无法在采集过程中进行实时处理;这类系统价格高昂,动辄需要数十万美元投入。因此,当前很多测试流程仍然停留在“先采集,再离线分析”的模式,既不灵活,也难以支持现代复杂测试场景。现代射频测试测量方式需要从“传统单功能硬件”向“宽带采集+动态重构+软件定义“演进。工程师们需要一个可实时处理 ...
汉堡大学使用Moku实现量子密钥分发实验系统中的相位稳定引言量子密钥分发(QKD)zui早在20世纪80年代提出,它提供了一种比经典方法更安全的信息传输方式。在典型的QKD方案中,发送方(Alice)通过量子态对经典信息进行编码,并通过量子信道传输给接收方(Bob)。由于量子力学中的不可克隆定理,这些量子态无法被复制。这意味着窃听者(Eve)无法在不被Alice和Bob察觉的情况下获取或复制传输信息,从而使通信过程具有高度安全性。因此,QKD能够在信息不会被拦截的前提下安全传输敏感数据。目前已有多种成熟的QKD协议与实现方法。近年来,连续变量量子密钥分发(CV-QKD)因其与现有通信基础设施( ...
多通道锁相放大器在穆勒矩阵测量中的应用1锁相放大器的基本原理锁相放大器(Lock-In Amplifier)是一种能够从噪声中提取微弱信号的高精度仪器,广泛应用于信号测量和光学实验中。其工作原理基于与参考信号同步解调。具体来说,锁相放大器能够在已知频率的参考信号的帮助下,从复杂的输入信号中提取出与参考信号频率匹配的信号成分,去除背景噪声。2. 偏振态与穆勒矩阵偏振态是描述光波振动方向的物理量,它表征了光波的不同特性,如光波的振动方向、振幅和相位。光的偏振态可以通过斯托克斯参数来描述,这些参数定义了光波的偏振度和偏振方向。常见的偏振态包括:线性偏振光和圆偏振光。穆勒矩阵是一个 4×4 的矩阵,用 ...
等离子体液体界面溶剂化电子的时间分辨测量摘要:在本文中,我们重点研究了在等离子体和液体之间的界面上以时间分辨的方式测量溶剂化电子的技术。溶剂化电子是指被溶剂分子稳定或包围的电子,通常存在于溶液中。等离子体/液体界面表示等离子体和液相之间的边界。时间分辨测量正在研究这些现象的时间方面,这可以提供对反应动力学,电子转移过程或发生在该界面的其他动态行为的见解。在等离子体/液体界面对溶剂化电子进行时间分辨测量通常涉及多种实验技术的组合。该装置包括等离子体源、电极和光学元件。在等离子体/液体界面设计一个时间分辨测量溶剂化电子的实验装置需要仔细考虑几个组成部分和参数。一个合适的等离子体源,能够产生稳定的等 ...
MokuOS 4.1新增仪器功能:高速信号采集记录回放仪全新仪器功能:高速信号采集记录回放仪MokuOS 4.1发布,新增仪器功能高速信号采集记录回放仪(Gigabit Streamer),支持使用Moku:Delta的SFP端口,实现信号实时高速捕获与回放、高达5 Gbps双向数据流传输,带来更高数据处理通量。这为 AI/ML 训练、GNSS 的 L 波段直接注入测试以及射频频谱实时监测等应用带来更灵活高效的解决方案。高速信号采集记录回放仪的主要功能有:双通道连续流式传输支持 2 通道并行流式传输数据流速率:每个方向zui高 5 Gbit/s,适合高速连续采集和回放*全速率数据采集记录回放支 ...
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