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PSD位敏探测器
4D位置敏感探测器(4D PSD)
寸,椭圆度,光束位置等参数2.节省新员工培训时间和成本由于其操作简单,对新员工培训到老员工的熟练度只需要1~2天的时间,大大降低了对新员工的培训时间和成本。3.成本低---含税价格低至2万人民币用于通信中准直器在线“调焦”的CINOGY相机式光束分析仪含税价格低至2万人民币(CMOS-1202相机),其高性价比是客户批量使用于产线以及自动化系统的重要原因之一。4.可以和狭缝式光束分析仪相互替代,并且具有更高的准确度以及响应速度由于狭缝式和相机式都属于光束分析仪,其分析软件测量的方法完全一样,所以其在产线中的安装设置基本一致。其不同之处在于激光光束的获取:狭缝式光束分析仪是通过狭缝去快速切割整个 ...
我们可以扫描光束位置,直到有光打到AimPD的PD探测器上,然后将位置点设置在两个PD的中心。利用这种方式,我们找到的入口中心。下一步,为了找到平行于真空管的方向,特别是贯穿真空管中心线的特定角度,我们要在这个中心点位置扫描光束角度。为了得到反馈信号,我们在真空管后放置一个PSD探测器,或者一个代表真空管出光口中心的附加PD探测器。通过这种方式,使用两个快反镜自动扫描几分钟之内就可以得到穿过真空管的好结果。上图显示真空管后放置了第三个快反镜,用以稳定光束。原则上来说,真空管前的两个快反镜能够进行4D稳定,但是第二个快反镜与PSD探测器间距离太长,导致反馈调整效果下降。因此,一旦扫描完成,第二个 ...
规定了确定激光束位置和角度稳定性的方法。本国际标准中给出的测试方法旨在用于激光器的测试和表征。2,引用标准ISO 11145:2001,光学和光学仪器激光和激光相关设备词汇和符号ISO 11146:1999,激光和激光相关设备激光束参数测试方法,束宽、发散角和束传播因子IEC 1040:1990,测量激光辐射功率能量的探测器、仪器与设备3,术语及定义3.1 角向移动 angular movementαx,αy激光光束在X-Z和Y-Z平面内的角向移动量。注:这些量在光轴坐标系X、Y、Z中定义。如果X方向与Y方向的角向移动之比不大于1.15:1,则认为光束的角向移动是旋转对称的,这种情况下只用一个 ...
性。3)垂直光束位置(x,y)的精度。4)顶点到传感器的光学距离的精度(z)。5)最大角度下的角度响应下降。通过特殊的涂层,我们可以提高拟合精度和角响应的各向同性。此外,大角度灵敏度的相对下降要弱得多。6 RayCi中的校正要求为了根据角度响应校正图像数据,必须满足以下要求:1)角度响应校准数据必须可用于每个波长。该数据由最佳拟合的Zernike多项式系数组成。2)为了生成从每个像素到相应入射角的映射,必须知道光束垂直的x和y传感器位置。3)需要传感器和激光焦点位置之间的光学距离。4)CINOGY Technologies提供外壳和传感器之间的光学距离作为额外的校准数据。5)外壳和焦点之间的距 ...
系列可能的激光束位置上对准系统更容易。为了获得高的空间分辨率,需要一个平移阶段具有较高的精度和重复性要求。通常,采用压电驱动的弯曲级。这些阶段提供的步长和重复性远远超过光学显微镜(通常小于5 nm)和较大数百微米的平移所要求的。这种制度主要有两个缺点:一是图像的较大视场是由舞台的较大行程决定的,而不是光学。因此,切换到倍率较低的镜头并不能提供大的视野。通常情况下,使用10倍倍率物镜的光学显微镜可以获得>1毫米的视野,但使用压电台则无法获得这些视野。二是这些级的机械共振频率通常将较大扫描速度限制在每行至少数十毫秒(或更高),这意味着它们至少比波束扫描系统慢一个数量级。尽管有这些限制,样本扫 ...
离内至少五个光束位置[ ZR ]和距离腰部超过两个瑞利长度的五个位置),从中可以计算M2,分析使用强度分布方法的D4σ秒矩获得的光束半径的演变。在本节中,我们提供了典型的中红外zblan超连续介质源(NKT Photonics, SuperK Compact, 40 mW输出功率)的M2特性。为了获得中红外超连续光谱发射的光束质量,建立了一种全镜聚焦光学布置(以消除色差):使用焦距750 mm的金色球面镜。使用合适的带通光谱滤波器限制光谱范围(中心波长为4µm或2500 cm- 1500 nm带宽,Thorlabs FB4000-500)。使用固定在20厘米扫描台上的辐射热计阵列(FLIR玻色 ...
激光指向稳定在光刻系统应用中的关键作用,及其优化方案!光刻是半导体制造工艺中的核心之一,极紫外光刻技术作为新一代光刻技术也处于快速发展阶段。其基本原理是利用光致抗蚀剂(或称光刻胶)感光后因光化学反应而形成耐蚀性的特点,将掩模板上的图形刻制到被加工表面上。光刻半导体芯片二氧化硅的主要步骤包括涂布光致抗蚀剂、套准掩模板并曝光、用显影液溶解未感光的光致抗蚀剂层、用腐蚀液溶解掉无光致抗蚀剂保护的二氧化硅层,以及去除已感光的光致抗蚀剂层。在光刻系统中,激光的指向稳定非常重要,会直接影响光刻的图形准确性和一致性。影响光束指向稳定的主要因素有三个,分别是激光器本身的位置偏移,处于不同基座上的激光器和照明系统 ...
、能量分布、光束位置及稳定性、发散角、瑞利长度及光束质量因子M2等多种参数,满足不同用户在不同场景下的测量需求。产品特点广泛的波长覆盖:波长范围覆盖200nm至1600nm,适用于多种光源。超宽功率范围测量能力:可测量功率覆盖1mW至500W,满足从低功率到高功率的测量需求。微小至大型光斑测量:可测光斑直径Min 1um,Max 35mm,无论是微小光斑还是大型光斑都能精准测量。模块化设计:灵活多变,通过不同模块的组合,用户可以根据具体需求选择具性价比的方案。CINOGY INSIDE技术:保证了超高性能和测量精度,为用户提供可靠的数据支持。灵活多变,一机多能既是近场光束分析仪主要特点: 对工 ...
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