中文：艾里斑尺寸；英文：Airy disk

激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...

用角分辨光谱法表征极化子摘要：在本文中，我们描述Iceblink超连续光源在用角分辨光谱法表征极化子技术中的应用。在这种技术中，样品被光击中并射出一个电子。通过测量该电子的发射角度和动能，研究人员可以看到由于能量状态不同而导致的上下极化子数量的差异。用于该技术的装置由光源（根据需要的测量变化的激光器），将光聚焦到样品中的物镜，二向镜（因为样品的发射来自同一物镜）和用于测量电子特性的光谱仪组成[图1]。图1：角度分辨光谱的设置在这种类型的技术中很常见，根据所使用的光源，您可以看到样品的不同方面。在这个特殊的实验中，在不同的样品中使用了许多光源，以确保完全理解改变腔的Q系数的影响；但其中用途zui ...

一步到位，Moku数字PID控制器实现系统实时调节PID控制被广泛应用于实验控制和工业自动化系统中，但在实际调试中，传统的PID控制器往往需要大量计算与经验积累，调节过程既繁琐又耗时。而通过使用Moku:Pro的数字PID控制器，您可以根据增益曲线图以实时动态地方式进行参数调节，并使用内置的示波器即时观察响应信号。以更加直观、实时的方式实现系统调节。比起传统反馈系统，这使得通过实际观察来调节控制器更加容易，并且无需用户进行大量的计算。我们有一篇非常详细的关于频域控制的讲解手册，如果您感兴趣，欢迎联系昊量光电。图1:典型反馈系统框图如图1所示是一个典型的反馈控制系统框图。其中Xsp表示输入设定点 ...

SPAD阵列在共聚焦显微镜中的超分辨率成像应用——基于波动对比度的SOFISM方法随着成像技术的不断进步，许多微观shi界的奥妙被人类不断的发现和记录下来，成为科技进步的重要研究工具。但是传统远场光学显微镜受到“阿贝衍射极限”的限制，在空间分辨率上存在天然瓶颈，导致很多领域的研究受到了阻碍。近年来，虽然有如STED、PALM、STORM等超分辨率显微技术不断成熟，但这些方法对设备配置和操作要求较高，实验复杂性大，价格昂贵，难以满足当今快速发展的科学研究。相比之下，一种被称为图像扫描显微技术（Image Scanning Microscopy, ISM）的方法正在受到关注。该方法仅需替换探测器并 ...

精密磁悬浮系统的磁场测量技术挑战与解决方案工业机械：超高速离心机（转速可达50,000 RPM以上）、涡轮分子泵、无油压缩机等设备需要完全无接触的支撑系统，以避免传统机械轴承带来的磨损和润滑污染。例如，在半导体制造中，磁悬浮真空泵能彻底消除润滑油对晶圆的污染风险。能源装备：飞轮储能系统依赖磁轴承实现近乎零摩擦的能量存储，而新一代风力发电机采用磁悬浮主轴可大幅降低维护成本并延长使用寿命。交通与航天：磁悬浮列车（包括EMS和EDS系统）需要精确的磁场控制来实现稳定悬浮，卫星动量轮则依靠超静音磁轴承来保证姿态控制的精确性。这些应用对磁轴承系统提出了极高的要求，任何性能不足都可能导致严重后果，如：动态 ...

为高功率CO₂激光器应用选择合适的调制器——AOM VS EOM在快速发展的微电子制造领域，对过孔钻孔的更高生产效率和精度的需求从未如此之大。这转化为市场对更复杂制造工具的需求，例如高精度声光调制器（AOM）和电光调制器（EOM）。在这两种类别之间的选择完全取决于应用以及对您系统而言关键的性能参数。Gooch & Housego（下文中简称G&H）是AOM和EOM解决方案的供应商，确保客户能为他们的高功率CO₂激光器应用选择z佳技术，无论是使用EOM进行强力切割和钻孔，还是使用AOM进行高速、精密钻孔。了解过孔钻孔过孔钻孔是印刷电路板（PCB）制造中的一个关键工艺，通过在板上创 ...

案例分享|基于Sagnac-PPLN的宽光谱偏振纠缠光子源在之前的文章《案例分享|聚焦PPLN:1.48GHz通信波段纠缠光子源的技术创新与商业价值》，我们分享了英国Covesion公司展示的基于MgO:PPLN波导的纠缠光子演示装置（如下图）。在Stage 1中通过PPLN波导高效倍频产生780nm激光。在Stage 2中，将Type-0型PPLN波导置于一个萨格纳克（Sagnac）干涉仪配置中，通过自发参量下转换（SPDC）产生纠缠光子对，并转换为偏振纠缠自由度。对于PPLN来说，Type-0准相位匹配（QPM）可以利用铌酸锂晶体的Max非线性系数（d33），能够实现高效的波长转换。SPD ...

超短激光脉冲测量设备介绍超短激光脉冲通常是指脉冲宽度在阿秒量级（10^-18s）和飞秒量级（10^-15s）以及皮秒量级(10^-12s)的激光脉冲。由于超短脉冲激光具有极高的时间分辨率以及较高的能量密度，目前被广泛应用于研究各种超快现象以及以及强场物理行为等，比如激光加速、阿秒科学、激光聚变、超快动力学以及工业领域的激光精细加工等。超短激光脉冲作为一款测量物质微观shi界重要工具，其时间特性的精确测量就显得尤为重要。超短激光脉冲测量技术从广义上来讲，可分为时域测量和频域测量（通过测量非线性过程产生的光谱信息来反演重构超短激光脉冲的包络及相位）。此处，我们仅针对频域测量介绍我们昊量可以提供的超 ...

看激光指向稳定系统，是如何大幅提高龙门系统激光加工的精度！激光加工作为一种无接触式加工，以其可控性好、加工效率高、材料损耗低等特点，在与传统加工方式的比较中脱颖而出，成为很多人的选择，常见的有激光切割和激光焊接。目前振镜或焊接头与龙门系统架相结合是常见的激光加工组合方案。在加工过程中，焊接头随龙门架移动或振镜扫描，促使激光在靶面移动，进而实现高精度的激光切割或焊接操作。然而，随着机器规模增大，光束路径延长，在加工过程中会出现机械结构件的膨胀、龙门系统的振动以及导轨平行度以及空气扰动，这使得要实现微米甚至亚微米精度的控制愈发困难。在科学研究应用中，虽可采用封闭或抽真空束线管规避空气波动，但在龙门 ...

Phasics大口径激光测试解决方案-KALAS系统一、大口径激光波前监测的核心技术瓶颈与行业痛点➢环境适应性缺陷·复杂现场（如大科学装置、空间通信）下，系统部署与维护成本高昂1.大科学装置（如guo家点火装置）中，空气湍流与机械振动导致传统干涉仪信噪比骤降50%以上，需额外隔振与温控投入。2.空间通信场景下，大气扰动与热漂移使传统传感器的波前重构误差增加。➢多参数异步的调试困局·多参数同步监测难：波前、强度、M²等关键数据无法一体化输出。1.波前畸变与强度分布的非同步测量，会导致激光远场焦斑能量集中度（环围能量比）计算偏差，影响“进洞能力”量化评估。➢闭环控制不足·动态闭环控制不足：调试效率 ...