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亮斑,称为“艾里斑”。因此当两个点物体距离较近时,它们通过成像系统后形成的两个艾里斑就会重叠到一起无法分辨,两个物点恰能分辨的距离就是极限分辨距离,对应的张角即为极限分辨角,这就是著名的“瑞利判据”。科学家发现,通常情况下该极限分辨率与光的波长(λ)、成像系统口径(D)和数值孔径(NA)等参数有关。瑞利判据为了获得更好的成像效果,科学家尝试了许许多多的方法:在光刻系统中使用越来越短的光波(如目前因特尔等芯片企业已开始使用极紫外光),扩大成像系统口径(如天文望远镜口径已达到10米以上),增加成像系统数值孔径(如显微成像系统使用浸油等方式获得更大的NA)等,但这些方法都未能摆脱理论极限的影响。“衍 ...
,聚焦光斑(艾里斑)半径为ωf=1.22λf/D,而远场发散角θ=ωf/f。激光远场发散角θ表明了激光不显著发散开来可传播的距离,与聚焦能量有关,是常用的光束质量判据。2.光束质量因子β光束质量因子β(又称为衍射极限倍数因子)是使用较为广泛的一种激光光束质量评价指标,其定义为实际光束远场发散角θ(上文中的远场发散角)与理想光束远场发散θ角之间的比值,即β=θ/θ 。实际光束的β值一般均大于1,β数值越小,光束质量越高(类似于M )。但是运用β评定光束质量时需要忽略不计测量系统造成的衍射影响,β因子必须与测量光学系统的参数无关,此时它是衡量激光器输出光束质量的一个合理特征参数;且因之可反映实际光 ...
中心亮斑(即艾里斑)占有的光强度比理想成像的时候要低,这两者的光强度之比称为Strehl强度比,又称为中心点亮度,以S.D.表示。Strehl判断认为,中心点亮度S.D.>= 0.8的时候,该光学系统是完善的。如下图,物点发出的波面经过理想光学系统后,在出射光瞳处得到的是球面波,而实际光学系统的像差使像方的波面不再是球面波,像差的影响就是通过这种位相的变化而反映为衍射图样的变化。如果像差引起的光程差,即波像差为W,那么对于一个像差很小的光学系统来说中心点亮度S.D.与波像差W之间有相对简单的关系,即S.D.=1- k^2 ¯(W^2 )利用这种关系和上述S.D. >= 0.8的判据 ...
源的像是一个艾里斑。艾里斑的第一个零点定义为瑞利衍射极限1.22λf#。f-数是f#尽管瑞利分辨率是表述成像系统分辨率的传统方法。我们在这里用它来衡量成像系统的自由度。如果一个相干成像系统的探测器平面最大线性尺度是Wd,则图像可分辨的点数S正比于:S是系统的信息传递能力的基本限制,我们称其为空间带宽积(space-bandwidthproduct, SBWP)。一个系统的空间带宽积是一个定值。由于非相干成像系统的OTF是光瞳函数的自相关,所以非相干成像系统的空间带宽积是4S。但是后续的讨论会忽略掉倍数4,因为它对计算成像概念的影响很小。对于即将进行的讨论,重要的是认识到,在一个平面上使用资源来 ...
孔,则光斑为艾里斑,。根据用途不同,激光扫描记录仪的光点尺寸也不同。二是焦距。焦距由要求扫描的像点排列的长度L和扫描角度决定,即当扫描长度一定时,与呈反比关系。在F数一定时,应尽可能用大的角,小的,以减小透镜和反射镜尺寸,从而减小棱镜表面角度的不均匀性和扫描轴承的不稳定性造成的不利影响。又由于入射光瞳位于扫描器上,在实现像方远心光路时,小可以使物镜与扫描器之间的距离减小,使仪器轴向尺寸减小。但L一定时,小就大,这给光学设计带来了困难,使光学系统复杂,加工制造成本增大。反之,仪器纵向尺寸加大,使用不便。实际工作中,应综合考虑各方面因素,反复权衡,才能最后确定。大多数线性成像物镜属于小相对孔径(一 ...
能主要集中在艾里斑中,而像差的存在使衍射光斑的能量比无像差时更为分散。属于这一类的像质评价方法有斯特列尔判断、瑞利判断和分辨率。像差系统,通常用几何光线的密集程度来表示,与此对应的评价方法有点列图。1,斯特列尔判断Strehl 强度比(斯特列尔比,Strehl ratio):当光学系统有像差时,衍射图样中中心亮斑(艾里斑)占有的光强度要比理想成像时有所下降,两者的光强度比称为Strehl 强度比,又称中心点亮度,以 S.D.表示。Strehl判断(Strehl criterion):中心点亮度(斯特列尔比)S.D.≥0.8时,系统是完善的。 斯特列尔提出的中心点亮度S.D.≥0.8的判据是评价 ...
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