激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
无需制样的快速多元素检测——激光诱导击穿光谱(LIBS)方案LIBS(激光诱导击穿光谱)是将一束高能脉冲激光聚焦在样品表面,当激光辐照度超过样品的击穿阈值时,少量材料将被烧蚀和激发以产生等离子体。在激光脉冲结束时,等离子体迅速扩散并冷却。激光诱导等离子体内包含了电子、离子、原子、分子和微粒等,整体呈电中性。当激光脉冲结束后,等离子体中被激发的粒子会从高能级向低能级跃迁,并发射特征谱线。用光谱仪采集等离子体发射的特征谱线就会得到LIBS光谱图。通常我们认为等离子体中各种元素的比例与烧蚀样品的元素比例一致。通过分析特征谱线的强度,可以定量分析出样品中各种元素的含量。星朗浩宇提供一体台式LIBS、分 ...
用于时域漫射光学方法的超连续激光器摘要:在本文中,我们介绍了时域漫射技术,并重点介绍了一种TD-DCS装置设置的实验搭建和测试方法。由这种相互作用产生的两种众所周知的现象是吸收和散射。吸收包括光子能量的耗散;而散射指的是光被细胞以随机方向分散在组织内部。光源发射的光子在组织内部衰减,光子路径长度是深度灵敏度的直接指标。在这个范围内,漫射光学作为一种定量的方法来解释光子在组织内部的迁移。研究血液组织的几种常用技术包括传统的漫射光学光谱技术(DOS)和相对较新的漫射相关光谱技术(DCS)。在漫射光谱学中,也称为近红外光谱学,光子在特定波长的衰减被用作血容量和氧合的指标。而在漫射相关光谱(DCS)中 ...
Metrolab MFC系列 —— 磁场计量的“原子钟摘要:本文以“精准是医学物理的第1道防线”为核心,详细阐述了该产品基于脉冲波核磁共振(Pulsed Wave NMR)技术的“绝对测量”原理,强调其作为磁场计量“原子钟”的权威性。内容涵盖了±5 ppm的绝对精度、0.01 ppm的超高分辨率及对高梯度场的容忍度等核心优势,并介绍了其在MRI质控、高场NMR波谱仪及计量院等领域的应用场景与硬核参数,zui后展示了Metrolab的技术实力及中国合作伙伴星朗浩宇的服务能力。在医学成像的微观shi界里,0.1 ppm(百万分之一)的偏差,可能意味着宏观诊断的失之毫厘。当我们谈论核磁共振成像(MR ...
多通道锁相放大器在穆勒矩阵测量中的应用1锁相放大器的基本原理锁相放大器(Lock-In Amplifier)是一种能够从噪声中提取微弱信号的高精度仪器,广泛应用于信号测量和光学实验中。其工作原理基于与参考信号同步解调。具体来说,锁相放大器能够在已知频率的参考信号的帮助下,从复杂的输入信号中提取出与参考信号频率匹配的信号成分,去除背景噪声。2. 偏振态与穆勒矩阵偏振态是描述光波振动方向的物理量,它表征了光波的不同特性,如光波的振动方向、振幅和相位。光的偏振态可以通过斯托克斯参数来描述,这些参数定义了光波的偏振度和偏振方向。常见的偏振态包括:线性偏振光和圆偏振光。穆勒矩阵是一个 4×4 的矩阵,用 ...
芬兰Timegate时间门控拉曼:为癌症精准诊断装上“火眼金睛”在生物医学的微观shi界里,光既是探索者,也是被干扰者。当科学家试图利用拉曼光谱技术捕捉细胞内部的分子振动,从而获取“分子指纹”时,往往会遭遇一个棘手的物理难题——生物样本自身发出的强烈荧光。这种荧光就像一场突如其来的大雾,瞬间淹没了微弱却关键的拉曼信号,让原本清晰的分子结构变得模糊不清。为了解开这道困扰业界多年的“荧光枷锁”,来自芬兰的顶尖光子学团队Timegate Instruments(以下简称Timegate)给出了一个极具智慧的答案:利用“时间”作为滤镜。Timegate的时间门控拉曼光谱技术(TG-RS)并非简单的硬件 ...
双频共振跟踪(DFRT)-了解如何在 Moku:Pro 上实现双频共振跟踪实时谐振跟踪在一系列应用中都很重要,包括从基于微机电系统 (MEMS) 的惯性传感到原子力显微镜 (AFM)。本应用说明比较了两种跟踪谐振的方法:一种利用锁相环 (PLL),另一种利用双频谐振跟踪 (DFRT)。虽然 PLL 方法在大多数情况下效果很好,但它可能会难以应对临界耦合下出现的突然相移。DFRT 通过幅度相关反馈控制克服了这一困难,提供了更可靠的解决方案。在这里,我们通过结合双频多频锁定检测实验和PID 控制器在一个Moku:Pro设备。双频信号由双通道波形发生器产生,在模拟谐振器上进行了测试,并获得了积极的结 ...
Moku:Lab应用于基于有机纳米步进光学致动器的可重构集成光子电路中国科学院化学所张继哲等研究团队新发表研究成果,成功研制出一种运动轨迹可编程的光致动器,用于集成光学芯片上的器件重构。该制动器由有机分子晶体组成,尺寸仅为微米量级,可以通过低功率激光远场照射的方式进行供能驱动和轨迹调控,从而在光芯片上实现直行、转弯、跨越波导运动,进一步实现对片上微结构的组装和操控。基于此,研究团队首次在光子芯片上实现了对微环谐振腔共振频率的动态、半永久性的精密调控。该研究成果以“Optically-driven organic nano-step actuator for reconfigurable pho ...
TiePie 示波器多应用介绍——电、热、力、通讯信号探测一、电阻与接触测量使用万用表测电阻,只能测出某一瞬间值,有很多场景下静态的测量很难得到正确的数据,需要进行连续测量,例如:电位器在某个位置突然断路,插头在振动下间歇性断路,线束在弯折过程中接触时断时续,热敏电阻在温度变化过程中的阻值跳变。TiePie无线示波器可以持续的测量电阻,并绘制时间-阻值曲线。操作也非常简单,只需用测量线先短接做一次基准测量,在 Gain / Offset 模块里用 Neutralize 把线阻抵消掉,然后就可以开始测量,实现边操作被测件、边观察电阻波形。对连接器做振动或温度循环试验时,接触电阻是否在某个工况下突 ...
拉曼在固体氧化物燃料电池性能提升中的应用引言:固体氧化物燃料电池(SOFCs)作为一种友好的发电系统,可以直接将化学能转化为电能,具有高效且低排放的优点。传统的SOFCs在600-1000℃之间运行,总是遇到很多问题,比如成本高、电池组分之间的化学反应严重、低温下界面电阻大等。 因此,目前的研究重点是将工作温度降低到600℃。然而,经过调查表明,运行温度较低(特别是在600℃)可以延缓阴极氧还原反应(ORR)动力学,降低SOFCs 的整体效率。此外,在正常情况下,含氢碳燃料的SOFCs 不可避免地会产生大量的二氧化碳,并被释放到周围的大气中。很可能是二氧化碳扩散到阴极,与呈强碱性碱土金属阳离子 ...
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