激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
用于12.5Gbit/s光互连的高速1.3um VCSEL在过去的几年里,在1.3um波长范围内发射的长波长垂直腔表面发射激光器(VCSELs)在器件性能方面取得了长足的进步,并达到了一定的成熟度,可以进入工业应用。虽然成熟的GaAs基技术利用GaInNA的有源区扩展到约1.3um,但许多方法表明,InP基器件概念可以获得优异的性能,这些概念受益于AlGaInAs/InP应变量子阱的优异增益特性,并通过使用介电镜、散热器或晶片键合技术来规避热问题。我们的解决方案是一种基于InP的单片方法,使用具有自完成电流和折射率引导的埋隧道结(BTJ)。利用这一概念,我们zui近展示了1.55um波长的器件 ...
以10.7Gb/s在99.7公里PON中传输自由运行1550nm VCSEL-VCSEL的特征对宽频数据服务的需求持续增加,推动了现代数据通信网络的扩展。此外,传统的基于铜缆或无线数据传输方案的带宽限制鼓励了在接入网环境中部署宽带光传输技术。光接入网的可持续部署需要可靠、廉价和节能的宽带光源,这鼓励了直接调制光链路的低成本激光源的发展。垂直腔面发射激光(VCSEL)技术是实现低成本宽带信号源的潜在选择。非冷却VCSEL单元已被证明支持10Gb/s和20Gb/s的数据速率;工作在38Gb/s的冷却VCSEL源也被提出。注入锁定也被用于扩展直接调制VCSEL器件的传输范围。VCSEL源以10Gb/ ...
以10.7Gb/s在99.7公里PON中传输自由运行1550nm VCSEL-结果与讨论我们评估了系统内关键点获得的光信号,并利用不同长度的PRBSs来评估系统对图案长度依赖效应的敏感性。分别在35km、40km、50km(MS1)和99.7km(MS1和MS2)光纤色散补偿传输后对传输信号进行观测。所获得的眼图未观察到随所使用的PRBS的变化而有显著变化。使用长度为27-1比特的PRBS,我们使用20GHz内部光电探测器在示波器上观察了眼图,并给出了图4所示的走线。除非另有说明,进入前置放大器的光功率电平控制在±20dBm,进入PD的光功率电平控制在-9dBm。表2给出了传输上行链路中这些关 ...
以10.7Gb/s在99.7公里PON中传输自由运行1550nm VCSEL-无源光网络上行链路我们使用图3所示的设置模拟了一个延伸无源光网络的上行链路。客户端设备(CPE)由自由运行的VCSEL组成,该VCSEL由来自脉冲模式发生器(PPG)的NRZ-OOK数据信号直接调制;使用从PPG获得的差分数据信号,在VCSEL输入端应用双驱动配置。本实验使用的VCSEL没有温度稳定。环形器用于防止反向散射光能进入激光腔;在实际系统中,这种循环器将促进单光纤上的双向通信。图3系统布局:客户端设备(CPE)上自由运行的无冷却器VCSEL通过传输光纤的色散匹配跨越(MS1和MS2)以10.7Gb/s的速度 ...
用于1.25Gbps混合无线光纤云光互连的自由运行L波段VCSEL数据中心应用对更高带宽、灵活性和可靠性的需求鼓励了对云计算架构的研究,重点是实现成本效益高、可扩展、并行光互连的高效数据中心。通信瓶颈被认为是不断增长的数据中心面临的Max挑战之一;这促使波分复用(WDM)光互连在高度聚合的数据流量链路中提供数据带宽可扩展性。混合无线光互连系统可以在云节点之间提供备用数据路径,允许进一步的流量扩展或提供改进的服务可靠性。垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件由于其紧凑的尺寸和低的工作电流水平,适用于高密度云应用。没有温度或波长控制的VCSEL操作可以进一步降低能耗和发射机的复杂性。在波分复用(WD ...
基于一阶反转曲线研究的温度调制磁离子相及相变分析(二)使用原位MOKE成像,沿着图2(b)和2(d)所示的三个关键磁场扫描识别域变换,负磁场扫描沿对角线表示为蓝色虚线,两个正磁场扫描与上峰和下谷峰对相交,表示为水平红色虚线。为了验证与每个峰相关的域变换是一致的,我们捕获了19.0°C的孤立天空粒子和26.0°C的天空粒子晶格的MOKE图像。在补充材料中可获得19.0°C, 23.0°C和26.0°C的其他支持MOKE图像。图3图3(c)在19.0°c和图3(f)在26.0°c时沿负磁场向上扫至上峰的HR处,均显示条状畴破裂为更短的段和天空区,留下条状和天空区混合。然而,图3(c)中的区域相距较 ...
自旋电子泄漏-整合-具有自我重置和赢者通吃的神经形态计算的脉冲神经元(一)神经形态计算(NC)通过利用突触装置之间相互连接的合成神经元网络来模仿大脑的功能。由于其在人工智能(AI)和大数据分析方面的潜力,超越了传统的冯·诺伊曼(von Neumann)计算系统的节能方式,NC正在吸引广泛关注,并有望为自动驾驶、嵌入式人工智能(AIoT)和终端设备提供更高的智能。自21世纪初以来,研究人员发现在芯片上开发神经形态神经元和突触设备以实现复杂且高可靠的神经网络是可行的,在过去的二十年里,已经有很多人尝试用传统的硅技术来模拟大脑的功能。但人工智能正在提出关于构建NC系统方法的问题。研究人员一直试图利用 ...
负刚度隔振平台在原子力显微镜中的应用原子力显微镜(AFM)已成为在纳米尺度上对材料和细胞进行成像与测量的重要工具之一。原子力显微镜能够揭示原子级别的样品细节,分辨率可达几分之一纳米量级,它有助于多种应用的成像,例如确定各种表面的表面特性、光刻、数据存储以及原子和纳米级结构的操作。原子力显微镜在研究中的应用尽管原子力显微镜技术已经取得了长足的进步,但对于需要使用它的研究人员来说,并不总是能够轻易受益。而且在纳米技术专业的学生实验室中,原子力显微镜的使用也不够普及,这是因为学生操作技能的缺乏,以及可使用的原子力显微镜数量受预算限制。由于出现了更紧凑、便携且用户友好型的原子力显微镜,其可快速安装且便 ...
光束整形在金属增材制造应用中的优势激光熔覆是一种制造(或修复)金属部件的工艺,这些部件的尺寸通常比使用选择性激光熔化制造的金属部件大。要“添加”的金属可以是细粉的形式,小心地吹入激光束的焦点,也可以是细线的形式,慢慢地送入激光束的焦点。激光聚焦光学元件和要添加的金属的组装称为熔覆头。通过在 3 轴、4 轴甚至 5 轴上移动熔覆头,可以实现大型和复杂的组件几何形状。光束整形在优化激光增材制造工艺和增强 SLM 和激光熔覆的优势方面发挥着至关重要的作用。通过定制激光束的形状、强度分布和尺寸,光束整形技术具有几个优势:提高表面质量: 光束整形允许精确控制能量分布,从而提高表面光洁度和零件质量。它有助 ...
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