激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
无需制样的快速多元素检测——激光诱导击穿光谱（LIBS）方案LIBS(激光诱导击穿光谱)是将一束高能脉冲激光聚焦在样品表面，当激光辐照度超过样品的击穿阈值时，少量材料将被烧蚀和激发以产生等离子体。在激光脉冲结束时，等离子体迅速扩散并冷却。激光诱导等离子体内包含了电子、离子、原子、分子和微粒等，整体呈电中性。当激光脉冲结束后，等离子体中被激发的粒子会从高能级向低能级跃迁，并发射特征谱线。用光谱仪采集等离子体发射的特征谱线就会得到LIBS光谱图。通常我们认为等离子体中各种元素的比例与烧蚀样品的元素比例一致。通过分析特征谱线的强度，可以定量分析出样品中各种元素的含量。星朗浩宇提供一体台式LIBS、分 ...
用于时域漫射光学方法的超连续激光器摘要：在本文中，我们介绍了时域漫射技术，并重点介绍了一种TD-DCS装置设置的实验搭建和测试方法。由这种相互作用产生的两种众所周知的现象是吸收和散射。吸收包括光子能量的耗散；而散射指的是光被细胞以随机方向分散在组织内部。光源发射的光子在组织内部衰减，光子路径长度是深度灵敏度的直接指标。在这个范围内，漫射光学作为一种定量的方法来解释光子在组织内部的迁移。研究血液组织的几种常用技术包括传统的漫射光学光谱技术（DOS）和相对较新的漫射相关光谱技术（DCS）。在漫射光谱学中，也称为近红外光谱学，光子在特定波长的衰减被用作血容量和氧合的指标。而在漫射相关光谱（DCS）中 ...
昊量讲堂 拉曼技术：拉曼技术速通攻略｜5分钟掌握十二大核心研究手段（上）拉曼光谱技术凭借高灵敏度、无损检测优势，已成为材料科学、生物医药、环境监测等领域的 “核心分析工具”，但 SERS、SRS 等专业术语常让新手望而却步。作为深耕光谱技术多年的行业标杆，昊量讲堂整合自身技术沉淀与实战经验，推出拉曼技术速通攻略 —— 用通俗语言拆解核心术语帮助新手快速掌握实用研究手段。一、表面增强拉曼光谱（SERS）：痕量检测的 “千万倍信号放大器”拉曼散射效应非常弱,其散射光强度约为入射光强度的10-6~10-9，极大地限制了拉曼光谱的应用和发展 。1974年Fleischmann等人发现吸附在粗糙金银表面 ...
电工钢高端化的 “必备神器”！星朗 Matesy 磁场相机，让检测从 “盲猜” 变 “明察”电工钢作为新能源汽车、变压器的 “核心铁芯”，其磁性能直接决定设备效率与能耗，而磁场相机正是解锁电工钢高端化的关键 —— 上海星朗du家引入的 Matesy COMS-Magview 系列磁光成像（MOI）磁场相机，不仅让首钢智新 0.10mm 超薄电工钢实现稳定量产，更成为支撑比亚迪仰望 U9 飙出 472.41km/h 全qiu极速的 “隐形保障”！它能让肉眼不可见的磁畴、磁场 “显形”，还能精准测量磁通量，帮电工钢企业省成本、提效率、闯国际，彻底解决传统检测的糟心事！观研报告网数据显示，2025 ...
【科研级磁场测绘】从微米级敏感体积到工业级应用：SENIS MMS-2A-ROT 如何重塑磁场表征的“基准线”摘要：本文以“测量即定义”为核心理念，针对电机、无线充电及精密仪器领域，详细阐述了该产品如何通过真三维霍尔传感技术解决传统测量中的矢量失真与空间盲区痛点。内容涵盖了微米级敏感体积、高刚性旋转架构及全频谱捕捉等核心技术优势，并列举了保时捷Formula E赛车与西门子工业应用的案例，展示了其作为科研级与工业级“金标准”的实力，zui后介绍了SENIS的技术背景及其中国合作伙伴星朗浩宇的服务能力。在现代电磁学研究与高端制造领域， “测量即定义” 。当我们谈论电机的能效极限、无线充电的耦合效 ...
锁模激光器：从原理到产品，一篇搞懂什么是锁模？想象一下这样的场景：一个音乐厅里有一百位歌手，每个人都在自顾自地唱着自己喜欢的歌，节拍、音调完全不同。这时候你听到的，只会是一片嘈杂的嗡嗡声，强度大致恒定——这就是普通连续激光器的工作状态。现在，如果给这群歌手来一位指挥，让他们全部按照同一个节拍、同一个音高、同一时刻开口唱歌，会发生什么？当一百个声音完美同步时，会在那一瞬间爆发出震耳欲聋的声浪，然后在下一个瞬间又全部安静下来。锁模激光器干的就是这件事：把激光器里原本“各唱各的”的多个频率模式，强行“指挥”到同一个步调上，让它们团结起来，周期性地产生一个巨大的能量峰值，从而输出超短激光脉冲。这个“指 ...
Moku升级实时计算并显示g(2)二阶关联函数及新活动更新摘要Moku时间间隔与频率分析仪（TFA）功能进一步升级，在时间间隔测量精度与检测配置灵活性方面实现显著提升。全新版本支持实时计算并可视化显示g(2)二阶关联函数，为量子光学、单光子探测及相关前沿研究提供更高效、直观的测量手段。在本应用笔记中，我们将概述二阶关联函数及其物理意义。随后，我们将介绍如何使用Moku 时间间隔与频率分析仪进行配置并采集数据，说明如何使用其内置新增的分析功能来计算二阶关联函数。zui后，我们将演示两种不同的计算方法，并展示两者结果具有良好一致性。1.背景介绍经典光源与量子光源具有广泛用途，既可覆盖量子光学、量子 ...
多通道锁相放大器在穆勒矩阵测量中的应用1锁相放大器的基本原理锁相放大器（Lock-In Amplifier）是一种能够从噪声中提取微弱信号的高精度仪器，广泛应用于信号测量和光学实验中。其工作原理基于与参考信号同步解调。具体来说，锁相放大器能够在已知频率的参考信号的帮助下，从复杂的输入信号中提取出与参考信号频率匹配的信号成分，去除背景噪声。2. 偏振态与穆勒矩阵偏振态是描述光波振动方向的物理量，它表征了光波的不同特性，如光波的振动方向、振幅和相位。光的偏振态可以通过斯托克斯参数来描述，这些参数定义了光波的偏振度和偏振方向。常见的偏振态包括：线性偏振光和圆偏振光。穆勒矩阵是一个 4×4 的矩阵，用 ...
可见光到近红外光谱区SiN集成光子元件摘要：在本文中，我们介绍表征SiN集成组件的实验设置的结构和设计，简述了可见光到近红外光谱区的SiN集成光子元件中的应用。本研究强调氮化硅（SiN）是开发可见光至近红外范围内量子光子集成电路（QPICs）的理想材料。已经设计、制造和测试了各种集成的基于sinc的构建模块，展示了低插入损耗和高效率的先 进性能。采用精确的工艺，包括LPCVD沉积和定制蚀刻技术，制备了氮化硅（SiN） PICs，以实现750 nm的单模波导。光学表征在很大程度上依赖于FYLA SCT500超连续激光作为光源。这使得测量宽光谱响应（650-850 nm）具有高精度[图1]。输入偏 ...
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