工面前，通过分光镜或者反射镜的漏光，采一束样品光进入探测器，样品光需要的功率大约1mw，探测器可同时检测近场光和远场光，由此将光束的位置可唯yi确定。当激光指向发生变化，探测器所探测到的信号会发生变化，随后控制器对信号进行处理，并控制反射镜偏转，将光束调整会zui开始设定的位置。2.响应速度快在进行锁定之前会进行自由度的解耦，即将光束的角度X和Y方向以及位置X和Y方向的偏移进行解耦，实现通过四个反射镜控制单一自由度，得到解耦矩阵。当系统发现光束的角度或者位置偏移之后，根据偏移信息和解耦矩阵可以直接计算得到反射镜每一个轴需要移动的量，减少多自由度耦合情况下会出现的反复调节。此外压电陶瓷可以保证极 ...
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