物理,固体与半导体物理,材料科学等广泛的学科领域,当激光作用到材料上时,电磁能先转化为电子激发能,然后再转化为热能,化学能和机械能。因此加工过程中,材料的被加工区域将发生各种变化,这些变化主要体现在材料的升温,融化,汽化,产生等离子体云等。在对玻璃,陶瓷,以及薄金属的加工方面,脉冲激光有着非常明显的优势,随着脉冲激光器技术的成熟,各种不同的脉冲激光器被大量的使用在材料的微加工领域,,一般而言,激光器的脉宽越短,加工效果越好,加工缺陷或者毛刺都会越少,但是激光器的脉宽越短,激光器的价格都会成倍的增加,所以要根据具体需求和应用选择合适的脉冲激光器。目前大规模使用的脉冲激光器一般都是纳秒级别的固体或 ...
网不断发展的半导体引擎。起初,为了获得更高品质的显示,1987年,Larry Hornback博士用他天才的智慧、高超的工艺水准和极为严苛的品质精神设计了DMD芯片。使得DMD在MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System)微机电系统领域成为当之无愧的科技之光。图二:DMD微镜单元的工作原理和结构能力出众如何保证DMD芯片能胜任各种各样的使用环境,在设计之初,设计师就对DMD的性能提出了极高的要求,这才使得DMD拥有出彩的性能。- 苛刻的品质要求:能在65℃环境下工作,上限工作温度85℃;支持160瓦光功率;能在20G加速度下正常工作,完成10000G加速冲击试验; ...
PECTRA半导体检测 Semiconductor Inspection控制光的空间、光谱和时间特性对于半导体制造中的缺陷分析和设备测试变得越来越重要。显微镜弧光灯和白炽灯受限于有限的使用寿命和缺乏集成到模块化设计框架中的灵活性。仪器设计人员、工程师和制造商正转向Lumencor的固态照明技术,以获得可持续、高性能的解决方案和稳定耐用的制造产品。常用产品型号 AURA、SPECTRA、MAGMA、RETRA显微镜光学显微镜是细胞生物学的一项核心研究技术。然而,它的应用远远不止如此,而是遍及到需要微米尺度结构信息的所有研究、制造和测试领域。光学显微镜包括多种特定的技术,下面列出了其中的一些。Lu ...
染色材料(如半导体晶圆)中的缺陷。由于照明必须经过空间滤波,因此需要比透射光学显微镜所使用的光源输出强度更高的光源。常用产品型号 CELESTA、ZIVA、SOLA、AURA、SPECTRA、SPECTRA X、MIRA、RETRA、PEKA、LIDA如果您对Lumencor光源有兴趣,请访问上海昊量光电的官方网页:https://www.auniontech.com/three-level-330.html更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电:上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光 ...
近年来,随着半导体行业的迅猛发展,半导体元件的体积急剧减小,对芯片或薄膜材料的热物性探究至关重要,这样给予针对超小尺寸的热物性探测技术提供了发展需求,而其中基于光学的热反射法的发展使得小尺寸(亚微米)样品的热导率测量变得容易。在频域热反射法FDTR测量中:锁相放大器的参考相位需要被精确计算以减小对相位滞后信号的影响。SDTR-(SpecialDomain ThermalReflection)空间热反射同样是基于激光泵浦-热反射的探测技术,可以针对小尺寸薄膜样品的面内热物性的测量方法。相比于其他激光泵浦探测方法(如:TDTR,FDTR)它的优势是可以测试薄膜样品的面内热物性,且成本低廉;同FDT ...
度。这些都是半导体检测和光谱学等分析应用中的关键参数,DPSS激光器可以提供更高的准确性和清晰度。提高能效,减少发热由于高压电源、激光管工作以及额外冷却的热量产生,气体和离子激光器在功率转化效率方面处于劣势。DPSS激光器具有高电光效率,相较于气体激光器,其功耗明显降低,同时产生更高的输出功率。这对于降低能源消耗和减少发热效应非常重要,特别是在对功率效率和维护成本有担忧的情况下。紧凑的尺寸相较于气体激光器,DPSS激光器通常更小、更紧凑,便于集成到各种系统和设置中,提高了灵活性和适用性。维护成本低,使用寿命长DPSS激光器通常具有更长的使用寿命,更短的维护间隔,从而极大的减少了停机时间和运行中 ...
子浓度较高的半导体材料,其介电常数可以用Drude+Lorentz Oscillator模型模型进行描述:其中为高频晶格介电常数,wp为等离子体频率,v为阻尼频率,Ecenterr为振子的中心能量,Aj为j振子的振幅。Aj振幅和横向和纵向的声子频率有关,,其中WL为横向声子频率,为纵WT向声子频率。m为振子的数目。了解更多详情,请访问上海昊量光电的官方网页:https://www.auniontech.com/three-level-56.html更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电:上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备 ...
仪的在位监控半导体工艺比如CMOS的制作过程,会涉及到结构或者厚度的监控。例如在光刻前后,或者沉积与腐蚀过程,需要控制薄膜的厚度。而椭偏谱可以快速且无损伤进行测量,并且其测试精度可以达到原子级别,因此广泛应用于半导体制备工艺的在位监控中。比如,典型的32nmCMOS制做过程中大概会需要100次厚度的测试控制,而其中就有80次厚度测试需要利用椭偏谱对其厚度进行监控。通常要解构薄膜的厚度,会涉及到有效介质模型近似和Drude+Lorentz Oscillator模型的使用。利用椭偏仪不仅可以得到厚度信息,还可以得到薄膜的光学性质等信息,从而获取材料的生长性能。下面先介绍椭偏仪的基本原理。1.2在位 ...
椭偏仪在位表征电化学沉积的系统搭建(三)-应用案例1.3应用案例椭偏仪在位监测已经广泛应用于薄膜生长、颗粒和生物大分子的吸附等领域。下面介绍一下椭偏仪在位监测在薄膜生长和颗粒方面的案例。1.3.1薄膜生长椭偏仪对厚度的无损测量使其可实现薄膜生长的实时监控。而不同时间生长时间其薄膜的性质及厚度不同,这样需要构建不同厚度的多层膜结构,从而实现在位监控,得到薄膜生长厚度随时间的变化信息。比如F.N.Dultsev等采用椭偏仪研究了沉积在硅表面的钛基体氮化机理、Yuki Ishikawa等采用原位椭偏仪研究了离子液体薄膜的玻璃化转变行为,Meng Yuan等提出了一种简便、无损伤的在位椭圆偏振法来监测 ...
电化学沉积是半导体薄膜沉积和微电子制备铜互连的重要制备方法。而在沉积过程中的成核和生长对于半导体薄膜和铜互连的性质非常重要,椭偏仪在位监测提供一种实时监控薄膜沉积的方法。但是椭偏仪在位监测受到光路设计,实验装置,固液界面以及光谱解析的影响,构建其监测系统是一个挑战。实验室前期对电化学沉积Cu2O薄膜进行了系统的研究,发现其沉积与沉积电压、溶液温度和pH值等密切相关。本文以电化学沉积Cu2O薄膜为例,从而在实验室构建椭偏仪在位监控电化学沉积系统。不同于真空薄膜生长,电化学沉积生长过程涉及到溶液层和固液界面,导致其在位监测是一个挑战。2.1原理电化学沉积是利用氧化还原反应在电极表面上沉积得到各种薄 ...
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