前传感器助力半导体行业发展!摘要:本文介绍了紫外波前传感器在半导体检测中的应用。详细阐述了其在晶圆检测、芯片检测、封装检测以及光学元件检测中的具体应用。指出紫外波前传感器能够提供高精度的检测数据,帮助工程师及时发现问题并进行修复,从而提高产品质量和生产效率。上海昊量光电设备有限公司推出全新一代高分辨率紫外波前传感器,探测波段覆盖190-400nm。该高分辨率紫外波前传感器具有可测试汇聚光斑,高动态范围,大通光面(13.3mm x13.3mm),高分辨率(512x512),消色差,震动不敏感等特点。半导体技术在现代社会中扮演着越来越重要的角色。随着半导体器件尺寸的减小和集成度的提高,对检测技术的 ...
脉冲选择器也称Q开关,属于电光调制器一类;常用于光脉冲能量放大、cavity-dumped laser、再生放大、材料加热、五维信息存储、时域热反射测量、调频、光通信等领域;脉冲选择器如以下几部分组成:脉冲激光器、分光棱镜、格兰棱镜、电光调制器(普克尔盒)、调制器驱动等;如上图所示,脉冲激光经过棱镜分为两束,经过格兰棱镜后,以一定的偏振态入射EOM后,由于电致晶体产生电光效应,使出射光发生偏转,以合适偏振态透过棱镜;另外一束光在探测器上产生电信号,电信经过调制器驱动处理、放大后,给EOM提供驱动提供参考信号,驱动根据参考信号输出高压脉冲信号,在调制器上产生电光效应;给晶体施加电压,电场导致晶体 ...
予诸如金属、半导体、聚合物、合金等材料新的表面特性。举例来说,某些特定的微结构可以让材料表面得到更好的保护、具备超疏水性、自洁性、摩擦力控制、反射抑制、抗菌、甚至有很好的装饰作用。过去几十年来,LIPSS技术在科学以及工业领域都引起了越来越多的关注。然而,加工速度一直是LIPSS技术的一个短板,普通的单光束直接熔蚀技术的最高加工速度不过每分钟几十平方厘米。而且随着大功率超短脉冲激光的引入,单光束加工系统还是只能在熔蚀阈值附近工作,加工效率也是一个弱项。因此,如何高效地利用高功率激光器地能量是目前解决问题地关键。现在正在使用的方法包括超快光束扫描和多光束干涉法。近年来直接激光干涉条纹法(Dire ...
在低温生长的半导体表面上沉积两片金属电极,两端电极之间保持一条微米量级宽度的空隙。在光电导开关两端上施加偏置电压后,当飞秒激光聚焦到天线缝隙表面时,基底材料中的电子吸收能量并从价带跃迁到导带,在天线表面瞬间(10-14 s)生成光生载流子(电子)。电子在偏置电场的加速作用下定向迁移生成瞬态光电流,进而向外辐射太赫兹波。理论上只要外加电场足够强,太赫兹辐射就可以得到显著的增强,但是实际实验中过高的能量会导致光电导开关被损坏。另外半导体基底、金属电极的几何结构与泵浦激光脉冲持续时间共同影响着光电导天线(光电导开关)的性能。半导体基底须具有高载流子迁移速率、极短的载流子寿命以及高击穿阈值。使用不同的 ...
阵容包括皮秒半导体激光器、超低暗计数SPAD探测器、恒比鉴别器CFD模块、FLIM数据采集卡。激光器:FLIMLABS提供的光纤耦合皮秒脉冲激光模块,是一种独立模块,不需要计算机接口,具有三个数字旋钮用于控制工作模式(CW\PW)、调节激光功率和设置重复频率及触发模式。SPAD探测器:FLIMLABS的SPAD探测器具有SMA同轴连接器,USB Type-C连接器不仅简化了界面,还可为SPAD供电,并且每秒仅有7CPS的暗计数让您无暗噪声的担忧。CFD模块:CFD模块用于在显微镜或光谱设置中对激光同步输出信号进行数字化和单光子探测器信号的数字鉴别。这种模块的存在增加了将延迟线长度与输入信号上升 ...
阵容包括皮秒半导体激光器、超低暗计数SPAD探测器、恒比鉴别器CFD模块、FLIM数据采集卡。激光器:FLIMLABS提供的光纤耦合皮秒脉冲激光模块,是一种独立模块,不需要计算机接口,具有三个数字旋钮用于控制工作模式(CW\PW)、调节激光功率和设置重复频率及触发模式。SPAD探测器:FLIMLABS的SPAD探测器具有SMA同轴连接器,可通过专有的FLIM LABS LVDS协议与FLIM数据采集卡通信,USB Type-C连接器不仅简化了界面,还可为SPAD供电,并且每秒仅有7CPS的暗计数让您无暗噪声的担忧。CFD模块:CFD模块用于在显微镜或光谱设置中对激光同步输出信号进行数字化和单光 ...
20作为一种半导体材料,实验组前期对其进行了系统的研究。其中电化学沉积CU20薄膜对沉积条件如沉积电压、沉积温度和溶液pH值等十分敏感,且不同条件下沉积得到的CU20薄膜的催化性质有差异。对CU20薄膜沉积进行在位监控即可以承接前期研究,又可以作为在位沉积案例实现本研究系统搭建,所以此次研究以CU20薄膜沉积为表征对象。本文主要是应用所设计的电解池进行薄膜的沉积并实现椭偏仪的在位监测和对所得到的数据进行拟合分析,构建出简单可行的椭偏仪在位表征体系。首先,进行了不同电流的恒压沉积且对成分进行了分析,确定了后续实验的沉积电流。其次是进行了准在位测试,即在沉积180s、360s、540s、720s、 ...
方案!光刻是半导体制造工艺中的核心之一,极紫外光刻技术作为新一代光刻技术也处于快速发展阶段。其基本原理是利用光致抗蚀剂(或称光刻胶)感光后因光化学反应而形成耐蚀性的特点,将掩模板上的图形刻制到被加工表面上。光刻半导体芯片二氧化硅的主要步骤包括涂布光致抗蚀剂、套准掩模板并曝光、用显影液溶解未感光的光致抗蚀剂层、用腐蚀液溶解掉无光致抗蚀剂保护的二氧化硅层,以及去除已感光的光致抗蚀剂层。在光刻系统中,激光的指向稳定非常重要,会直接影响光刻的图形准确性和一致性。影响光束指向稳定的主要因素有三个,分别是激光器本身的位置偏移,处于不同基座上的激光器和照明系统之间的振动差异性以及传输过程中的光学系统的扰动。 ...
D、光导管或半导体激光器,也可以对这些光源技术进行组合。这可以根据zui终用户的应用对亮度、角度分布和辐照度的要求进行定制。根据这一定义,光引擎输出的光谱分布可以通过加法组合,而这与传统的宽光谱照明设备(电弧放电和白炽灯)形成鲜明对比。传统的照明设备产生的光谱分布在物理上是不变的,只能通过选择性的阻挡和衰减来调整。从工程学的角度来看,固态光源的第二个主要优点是,它的输出可以在强度(图2、图4)和时间(图4、图5)方面进行精确控制。因此,光谱输出单元件的差异很小(图2),这使得光引擎应用于不同成像系统时,所获得的数据质量能保持一致。图1.固态光引擎及其输出光谱的概念图。四个固态光源的输出被合并入 ...
96%输出。半导体散热保证LED模块的工作温度范围控制在±1℃以内,实现ji佳的输出稳定性。软件允许用户自定义光谱数据的创建、保存和调用,且支持外接测量设备实现光源的快速测量和校准,API函数可用于客户端软件自校准和集成。透射式多通道LED均匀校准光源产品特点:≥32个LED通道,覆盖380-1000nm,实现光谱级可调,平滑光谱功率分布输出宽色温输出范围,2000K-20000K单通道12位(4000级)亮度可调,线性恒流驱动,完全无频闪宽照度输出范围,1-20000lux高出光面均匀性,>96%半导体散热保证光输出ji佳的稳定性,LED模块的工作温度范围控制在±1℃以内通过软件和外部 ...
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