--实时监测半导体薄膜生长全过程在半导体工艺中,薄膜沉积是在半导体原材料硅晶圆上分阶段生长薄膜的核心工艺。它在半导体电路之间起到区分、连接和保护作用。由于其厚度非常薄,在晶圆上形成均匀地薄膜具有很高的难度。所以在化学沉积过程中,确认薄膜材料是否正常生长,以及能否产生所需的特定物性,就非常重要。为了确保薄膜沉积按照预期进行,通常将已长成的薄膜从真空化学气相沉积(CVD)腔室中取出,然后用分析仪器进行检查。它被称为“Ex-Situ”方法,是从外部而不是在腔室内部进行分析。但是,从真空室中取出的薄膜可能会与大气中的氧气或水分接触,从而改变物性,很难进行准确的分析。即使通过分析发现问题,也需要花费大量 ...
及噪音清楚、半导体拉曼光源ASE滤波; (2)布拉格陷波滤光片(BNF)布拉格陷波滤光片(BNF)能够同时测量低至5cm-1的斯托克斯和反斯托克斯拉曼光谱带,且实现高达95%左右的透过率。窄带陷波滤光片同样需要满足布拉格理论,对于衰减为OD3的BNF,其偏转角度为12deg,半高全宽(FWHM)接受角度为6mrad(约为0.3 deg)。目前,超低频拉曼光谱的测量大都是采用我们的超低频拉曼滤光片(ULF)实现的。l 标准波长:488nm、514nm、532nm、633nm、785nm和1064nm (订制波长:405nm、442nm、458nm、473nm、477nm、491nm、502nm、 ...
氧化镓等.③半导体材料:常用于分析此类材料的缺陷,结晶度,如单晶硅,多晶硅,二氧化硅,硫化铅等.最后,我想说根据自己的样品查阅相关文献来确定激发波长是最为准确的方法. 您可以通过我们的官方网站了解更多的产品信息,或直接来电咨询4006-888-532. ...
固体激光器,半导体激光器,染料激光器,自由电子激光器和光纤激光器这几种。光纤激光器是使用稀土掺杂类的光纤作为工作物质的激光器,虽然本质上是固体激光器,但跟常见的固体激光器外形上区别很大,所以还是区分开来。常见的光纤激光器都是由泵浦光来泵浦稀土掺杂光纤产生新的波长的光,由于光纤的纤芯很细,在泵浦光的作用下,光纤内很容易形成高功率密度,使得激光工作物质的能级间形成粒子数反转,在加入适当的正反馈回路构成谐振腔之后就可以产生激光震荡。光纤激光器谐振腔的构成一般会有这么几种,第一种是常见的用F-P腔,即法布里-珀罗腔,如下图所示第二种是用激光在光纤上刻写光栅形成光纤光栅作为谐振腔镜,因为是特定周期常数的 ...
氧合情况。在半导体工业中,光谱反射法(380nm - 1050nm)广泛用于薄膜测量和等离子体蚀刻端点控制。该技术可即时准确地提供定量结果。它通常应用于主流制造设置。半导体工厂的停机时间每小时可能花费100万美元或更多,这使得设备可靠性至关重要。光纤耦合LED的使用寿命可达50,000小时。通过用LED光源取代汞弧灯,制造商可以减少计划外停机时间并保持产量。NewDEL光纤耦合LED光源在光谱学领域的优势:可提供两种白光模式,以及连续光源操作模式的选择-手动到完全可编程的遥控器高度可配置,包括脉冲或触发操作推荐型号:X3312、W4270、W57902.光遗传学Optogenetics光遗传学 ...
;1%)。在半导体晶片检测,紫外光谱,紫外全息检测,光纤光栅刻写,半导体检验,拉曼光谱,光纤布拉格光栅等领域应用广泛。266nm激光器产品特点:低噪声TEM00单纵模窄线宽:<300kHz高功率:可达2W,可调可选长相干长度:1000米高光束质量:M2<1.3产品参数:功率 线宽 功率稳定性10mw<300KHz<2%25mw50mw1%100mw200mw300mw0.5%500mw1000mw266nm连续激光器产品应用:半导体晶片检测紫外光谱紫外全息检测光纤光栅刻写半导体检验拉曼光谱光纤布拉格光栅如果您对266nm激光器产品有兴趣,请访问上海昊量光电的 ...
,如当光子被半导体材料吸收时,半导体材料的电子从价带激发到导带,然后由电路读出,作为输出信号。有三种过程可从材料中激发出电子:光伏效应,光电导效应,光电发射效应。能够发生光伏效应的半导体传感器,应该由P型区和N型区组成,并且两区相互拼接形成P-N结,如图1.1所示。1.1光电二极管原理图电子吸收光子后,激发到导带上,但在价带上留下空穴,形成了电子-空穴对。电子在材料内部向着P-N结方向扩散或漂移,zui后到达N型区,这样在N型区和P型区之间形成电势差,即形成了内建电场,如图1.2所示。另一方面,空穴由于带正电荷,到达P型区。zui终,输出电路中有电流输入。这种光电传感器称为光电二极管(PD)。 ...
种方法已经在半导体盘式激光器[37]、自由空间双向环形激光器[38]和双向模锁光纤激光器[39]等方面得到了证明。zui近,我们利用双折射多路复用[40-42]或空间复用[43,44]演示了一组自由运行固态单腔室系统,使用所有常见光学元件,具有超低的相对时序噪声性能。 [43]中报告的系统可以实现子周期相对时序抖动([20 Hz,100 kHz]积分范围),从而超越了ASOPS系统在泵浦-探测测量方面使用两个锁定激光器的性能。此外,低损耗、低非线性和低色散腔体的二极管泵浦固体激光器非常适合产生千兆赫的梳光谱。它们比传统的钛宝石系统更简单,同时还能更好地抑制高频泵浦强度的波动,支持更低噪声、更高 ...
染色材料(如半导体晶圆)中的缺陷。由于照明必须经过空间滤波,因此需要比透射光学显微镜所使用的光源输出强度更高的光源。常用产品型号CELESTA、ZIVA、SOLA、AURA、SPECTRA、SPECTRA X、MIRA、RETRA、PEKA、LIDA如果您对Lumencor光源有兴趣,请访问上海昊量光电的官方网页:https://www.auniontech.com/three-level-330.html更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电:上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通 ...
制和波长调制半导体激光器的方案。Watkins采用压电晶体振荡的方法产生拍频,实验测量了SiO2膜,zui佳测量不确定度可达360pm。以上理论研究和实验表明,干涉式椭偏测量技术对于实时、快速薄膜测量有很好的应用价值与市场潜力,但外差干涉测量中存在的非线性误差是阻碍该技术实际应用的主要原因。外差干涉测量系统中的非线性误差一直是国内外研究热点,研究人员对激光源、偏振分光镜、波片、反射镜等误差源开展了很多研究工作,并取得了许多有意义的研究成果,提出了多种非线性误差测量与补偿的方法。在激光干涉测量非线性误差研究中,偏振分光镜(Polarizing Beam Splitter,PBS)一直是研究的重点 ...
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