、有效质量、载流子迁移率、饱和速度和临界电场。由于这些优点，基于二维半导体的新型场效应晶体管（FETs）概念已经被提出和证明。以zui具代表性的二维半导体MoS2为例，这些晶体管原型包括超短通道（FETs）、隧道（FETs）、铁电（FETs）、负电容（FETs）、狄拉克源或冷源（FETs）、相变（FETs）、丝状（FETs）、自旋（FETs）、电子（FETs）、双极（FETs）、反双极（FETs）等。等离子体处理是一种可靠、兼容、有效的实现这些二维晶体管的特定功能，提高器件的性能方法。由电子组成，离子、激发分子和自由基、等离子体作为物质的第四态，可以通过不同的物理和化学机制与二维材料相互作用， ...
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