激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
无需制样的快速多元素检测——激光诱导击穿光谱（LIBS）方案LIBS(激光诱导击穿光谱)是将一束高能脉冲激光聚焦在样品表面，当激光辐照度超过样品的击穿阈值时，少量材料将被烧蚀和激发以产生等离子体。在激光脉冲结束时，等离子体迅速扩散并冷却。激光诱导等离子体内包含了电子、离子、原子、分子和微粒等，整体呈电中性。当激光脉冲结束后，等离子体中被激发的粒子会从高能级向低能级跃迁，并发射特征谱线。用光谱仪采集等离子体发射的特征谱线就会得到LIBS光谱图。通常我们认为等离子体中各种元素的比例与烧蚀样品的元素比例一致。通过分析特征谱线的强度，可以定量分析出样品中各种元素的含量。星朗浩宇提供一体台式LIBS、分 ...
用于时域漫射光学方法的超连续激光器摘要：在本文中，我们介绍了时域漫射技术，并重点介绍了一种TD-DCS装置设置的实验搭建和测试方法。由这种相互作用产生的两种众所周知的现象是吸收和散射。吸收包括光子能量的耗散；而散射指的是光被细胞以随机方向分散在组织内部。光源发射的光子在组织内部衰减，光子路径长度是深度灵敏度的直接指标。在这个范围内，漫射光学作为一种定量的方法来解释光子在组织内部的迁移。研究血液组织的几种常用技术包括传统的漫射光学光谱技术（DOS）和相对较新的漫射相关光谱技术（DCS）。在漫射光谱学中，也称为近红外光谱学，光子在特定波长的衰减被用作血容量和氧合的指标。而在漫射相关光谱（DCS）中 ...
昊量讲堂 拉曼技术：拉曼技术速通攻略｜5分钟掌握十二大核心研究手段（上）拉曼光谱技术凭借高灵敏度、无损检测优势，已成为材料科学、生物医药、环境监测等领域的 “核心分析工具”，但 SERS、SRS 等专业术语常让新手望而却步。作为深耕光谱技术多年的行业标杆，昊量讲堂整合自身技术沉淀与实战经验，推出拉曼技术速通攻略 —— 用通俗语言拆解核心术语帮助新手快速掌握实用研究手段。一、表面增强拉曼光谱（SERS）：痕量检测的 “千万倍信号放大器”拉曼散射效应非常弱,其散射光强度约为入射光强度的10-6~10-9，极大地限制了拉曼光谱的应用和发展 。1974年Fleischmann等人发现吸附在粗糙金银表面 ...
电工钢高端化的 “必备神器”！星朗 Matesy 磁场相机，让检测从 “盲猜” 变 “明察”电工钢作为新能源汽车、变压器的 “核心铁芯”，其磁性能直接决定设备效率与能耗，而磁场相机正是解锁电工钢高端化的关键 —— 上海星朗du家引入的 Matesy COMS-Magview 系列磁光成像（MOI）磁场相机，不仅让首钢智新 0.10mm 超薄电工钢实现稳定量产，更成为支撑比亚迪仰望 U9 飙出 472.41km/h 全qiu极速的 “隐形保障”！它能让肉眼不可见的磁畴、磁场 “显形”，还能精准测量磁通量，帮电工钢企业省成本、提效率、闯国际，彻底解决传统检测的糟心事！观研报告网数据显示，2025 ...
【科研级磁场测绘】从微米级敏感体积到工业级应用：SENIS MMS-2A-ROT 如何重塑磁场表征的“基准线”摘要：本文以“测量即定义”为核心理念，针对电机、无线充电及精密仪器领域，详细阐述了该产品如何通过真三维霍尔传感技术解决传统测量中的矢量失真与空间盲区痛点。内容涵盖了微米级敏感体积、高刚性旋转架构及全频谱捕捉等核心技术优势，并列举了保时捷Formula E赛车与西门子工业应用的案例，展示了其作为科研级与工业级“金标准”的实力，zui后介绍了SENIS的技术背景及其中国合作伙伴星朗浩宇的服务能力。在现代电磁学研究与高端制造领域， “测量即定义” 。当我们谈论电机的能效极限、无线充电的耦合效 ...
Photonics Instruments M700单色仪-光谱仪深度解析引言在现代科学探索与高端工业制造的宏大叙事中，光谱分析技术始终扮演着“眼睛”的角色。从揭示原子能级的微观奥秘，到监控半导体晶圆生产的毫厘之差，高精度的光谱数据往往是推动技术迭代、验证科学假设的核心依据。在这一领域，Photonics Instruments公司推出的M700单色仪-光谱仪（Monochromator-Spectrograph），以其卓越的光学设计、ji致的自动化控制和广泛的适用性，确立了其在高端光谱分析市场的标杆地位。M700不仅仅是一台测量仪器，它是一个为应对苛刻光谱挑战而生的多功能光学平台。无论是基础 ...
可见光到近红外光谱区SiN集成光子元件摘要：在本文中，我们介绍表征SiN集成组件的实验设置的结构和设计，简述了可见光到近红外光谱区的SiN集成光子元件中的应用。本研究强调氮化硅（SiN）是开发可见光至近红外范围内量子光子集成电路（QPICs）的理想材料。已经设计、制造和测试了各种集成的基于sinc的构建模块，展示了低插入损耗和高效率的先 进性能。采用精确的工艺，包括LPCVD沉积和定制蚀刻技术，制备了氮化硅（SiN） PICs，以实现750 nm的单模波导。光学表征在很大程度上依赖于FYLA SCT500超连续激光作为光源。这使得测量宽光谱响应（650-850 nm）具有高精度[图1]。输入偏 ...
quDIS 多轴干涉测量：从同步辐射样品定位到航天结构热变形测量目标的实际运动高精度装置中的电机指令、编码器读数和样品表面的实际运动之间，可能存在安装偏差、结构弹性、热漂移及转轴误差。对 X 射线衍射而言，这些误差会影响样品与入射束的几何关系；对空间望远镜而言，镜间支撑结构的微小变化会改变光学元件的相对位置。把测量基准延伸到目标表面，有助于把机构运动与实际光机几何联系起来。quDIS采用光纤连接的传感头，可按目标与参考方式配置为Fabry-Pérot 或 Michelson 干涉结构。其单台设备提供三条测量轴，并支持多设备扩展。距离读数如何转化为角度或结构变形，取决于探头的位置、方向以及所采用 ...
量子计算610μm长程传输：解析6,100个原子阵列背后的G&H AOD随着2025年“国际量子科学与技术年”正式落入时间长河，量子力学的百年辉煌完成了历史性的接力。步入2026年，量子科学的热度有增无减，随着全qiu投资激增和关键技术突破的双重驱动下持续升温。而量子计算机更是其中创新zui为活跃的前沿阵地，并且多个技术路线并行发展，离子阱、中性原子、光量子、超导、硅基半导体各显神通，在不同应用场景下形成互补格局，推动从实验室验证迈向产业化的关键跃迁。但是随着量子比特数量的不断扩展，如何实现对每个独立量子比特的高保真度和高速度的光学操作正成为一个问题。在2025年秋季Optics.or ...
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