东南大学利用Moku:Pro跟踪MEMS应用谐振频率并稳定输出信号幅值简介与挑战微机电系统(MEMS)利用硅的电学和机械特性,将机械结构和电子结构集成在一起,用于检测加速度、旋转、角速度等。MEMS设备的核心组件包括一个垂直悬挂于设备运动方向的质量块,在其框架内驱动方向上共振。通过测量框架在感应方向上的运动,可以检测到由旋转运动引起的科里奥利加速度。图1:一个质量块悬挂在可水平移动的中心框上。通过测量框架的运动,可以感知科里奥利力的大小和方向。MEMS器件之间通常存在差异,这会给其特性测量和精确旋转测量带来挑战。对这些设备进行表征和内部测量需要多种仪器来完成。例如,使用频率响应分析仪检测共振、 ...
通过高光谱解密 (CIGS) 模块中引发的功率损耗的起源(二)CIGS激光图形化后P1的激光诱导损伤图1(a)–(d)展示了在CIGS沉积后使用和不使用光学孔径的两种P1烧蚀线的高光谱PL图像及其光学显微图,分别称为P1-A和P1-NA。在两种情况下,观察到的第1个特征是通过去除CIGS材料限定的沟槽宽度与PL发射沟槽宽度不同。PL沟槽明显更宽。为了量化图形线附近PL不活跃区域的重要性,将两个图像进行叠加和比较(图1(a)–(d))。图1.独立于光学孔径的激光诱导短程热效应的观察。(a,b) P1在CIGS图形化后的光学显微图像:(a)使用光学孔径和(b)不使用光学孔径的激光光路径。(c,d) ...
薄膜铌酸锂电场传感器(本文译自Thin film lithium niobate electric fieldsensors(Seyfollah Toroghi ,Payam Rabieia))1介绍电光电场(E-field)传感器在许多应用中都需要,例如天线近场表征,太赫兹信号检测,加速器中的带电粒子束表征,电网监测,和射频消融手术。电光方法是测量电场的zui佳方法之一,电场会导致电光晶体的折射率变化。然后可以用精确的测量设备检测到这种变化。由于电光材料是一种介电材料,它不会干扰或散射电磁场。此外,由于光纤电缆用于传输信号,任何附加的布线都不会吸收噪音,因此,探头可以在非常嘈杂的环境中使用, ...
薄膜铌酸锂电光太赫兹传感器本文译自Thin‑film lithium niobate electro‑optic terahertz wave detector(Ingrid Wilke, Jackson Monahan, Seyfollah Toroghi, Payam Rabiei & George Hine ))亚皮秒太赫兹频率电磁辐射脉冲的自由空间电光采样对于时域太赫兹波谱学、时域太赫兹成像、光子时间拉伸测量、近场太赫兹波显微镜和时域太赫兹量子光学具有重要意义。测量方式需要0.1-10THz带宽的电光检测方案,太赫兹波谱和成像的检测阈值为~ 1V/cm,加速器和非线性太赫兹波谱 ...
光刻胶厚度测量应用本文旨在通过烘焙样品和两个部分烘焙的光刻胶样品来阐明测量过程。光刻胶测量使用500nm-1000nm 波长范围进行,以尽量减少吸收的影响。步骤 1. 确定光刻胶的光学常数许多光刻胶已在材料库中定义。在这种情况下无需执行任何操作光刻胶规格表包含有关色散参数的信息。它们以柯西系数的形式列出——这3个系数可以确定材料在不同光波长下的折射率(R.I.)。可以创建新的柯西材料并指定特定光刻胶的柯西系数如果光致抗蚀剂的柯西系数不可用–使用类似光致抗蚀剂的柯西系数作为起点。步骤 2:创建胶片堆栈Filmstack 代表物理样本的模型- 它定义了基材和材料层。如果3000nm 的光刻胶沉积在 ...
表面痕量化学物质的中红外反射特征检测方法包含主动MIR高光谱成像(HSI),包括使用波长可调激光器与高速相机相结合,以捕获目标表面反射光谱的高光谱图像(即超立方体)。分析这些超立方体的光谱特征,以表明感兴趣的化学物质的存在。该技术的一个非常重要的应用是痕量爆炸物的探测。图1MIR HSI方法涉及使用外腔量子级联(ec - qcl)进行激光照明。图1显示了测量装置的照片,其中样品在近距离(8厘米的距离)测量,以实现70 um的高空间分辨率。使用两个Block的Mini-QCLTM ec - qcl在波长范围为7.7 - 11.8 um的范围内捕获了一个256波长的复合超立方体。激光束在目标上进行 ...
固态光源点亮荧光原位杂交技术---提升生物医学研究和临床诊断新选择什么是FISH?当然这里的FISH并非水里游的鱼类,而是荧光原位杂交(Fluorescence in situ hybridization,简称FISH),这是一种基于双链核酸互补碱基配对的细胞或者组织中特定核酸序列(DNA或者RNA)检测的技术。就如同钓鱼一般,根据碱基互补原则,当使用已知标记单链核酸为探针(饵),如果与样品中的未知单链核酸(鱼)发生了特异性结合,形成可被检测的杂交双链核酸,并对该特定核酸顺序进行精确定量定位。F:荧光(Flourescence)显微镜用于对靶核酸序列位置进行成像。该技术的其他变体也使用显色原位 ...
光束入射角度对于一级光斑位置的影响四波剪切干涉仪是由一个二维光栅和CCD组成,光束经过二维光栅后,能量主要分布在四个一级光上。一级光相互干涉形成干涉条纹,经过傅里叶变换,在傅里叶平面上,除了零级光外,大部分能量应该集中在一级光上。通过分析一级光,获取相位梯度。这里主要观察的是随着光束的入射角度变换,是否会引起傅里叶平面上一级光的位置发生改变。为了方便起见,假设光栅是正弦形状,其中a表示光栅周期入射光场描述为,当光束经过光栅后,传播一段距离d,传播过程使用菲涅尔光束传播的方程计算根据SID4的参数,将赋给其中一些变量参数,默认单位为um那么在正负25um的范围内可以看到光强图如下所示,在这段距离 ...
193nm紫外波前传感器(512x512高相位分辨率)助力半导体/光刻机行业发展!摘要:昊量光电联合法国Phasics公司推出全新一代193nm高分辨率(512x512)波前分析仪!该波前传感器采用Phasics公司技术-四波横向剪切干涉技术,可以工作在190-400nm波段,消色差,具有2nm RMS的相位检测灵敏度,能够精确测量紫外光波前的细微变化。SID4-UV-HR 紫外波前分析仪非常适合紫外光学元件表征(DUV光刻、半导体等领域)和表面检测(透镜和晶圆等)。193nm 紫外波前传感器(512x512 高相位分辨率)在半导体/光刻机行业中具有重要作用。该传感器具有高分辨率,消色差,对震 ...
等离子体电光调制器研究与应用文献昊量光电新推出基于表面等离子体激元(SPP)和硅光子集成技术的高速等离子体电光调制器,高带宽可达145GHz,可被广泛用于通信,量子,测试测量等领域,不仅提供带宽70GHz-145GHz的环形谐振调制器(RRM),马赫增德尔调制器(MZM),同相正交调制器(IQM)封装调制器模块及芯片,还可以根据客户需求提供定制化产品。以下是基于等离子体激元及硅光子封装技术开发的高速等离子体电光调制器的相关研究论文及应用文献介绍。1.带宽超过100GHz,等离子体损耗减少的低温环境下的等离子体调制器(Plasmonic Modulators in Cryogenic Envir ...
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