面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中,紫外(UV)及深紫外(DUV)光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进,紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段,每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径(NA)极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线,决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界:瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据(Rayleigh criterion)严格定义:CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长,NA 代表数值孔径,这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
用SPECIM高光谱成像检测咖啡豆中的污染物食品质量检测中的高光谱成像技术在这项研究中,使用 Specim 的 FX10、FX17 和 SWIR 高光谱相机测量了2种咖啡豆和几种污染物,每种相机都具有不同的光谱范围和分辨率:数据使用 SpecimONE 处理平台的 SpecimINSIGHT 进行处理。测试的污染物包括木棍、贝壳和石头。每台相机都记录了光谱响应,以评估它们在区分这些污染物和咖啡豆方面的有效性。图1.样品和污染物照片与传统的视觉系统相比,高光谱成像技术的优势显而易见:咖啡豆和污染物都经过烘焙,颜色非常相似。因此,仅靠 RGB 相机无法区分它们。咖啡豆和杂质的密度也很相似,因此 X ...
拉曼光谱专题3|揭秘拉曼光谱仪光栅选择密码,解锁微观shi界的神奇利器在微观shi界的探索之旅中,拉曼光谱仪无疑是科研人员和工程师们的得力助手。而在拉曼光谱仪中,衍射光栅扮演着至关重要的角色,它能将多色光分离成其组成的波长,助力我们看清物质的特性。今天,昊量讲堂就来带大家深入了解,如何为拉曼光谱仪挑选合适的衍射光栅!衍射光栅在拉曼光谱仪中的工作原理堪称精妙。它能把收集到的拉曼散射的组成波长,巧妙地分离到 CCD 相机的不同像素上进行检测。毫不夸张地说,每一台拉曼光谱仪都至少需要一个衍射光栅,而很多时候,为了让仪器能更好地适配不同样品和激发波长,还会配置多个光栅。那么,在为拉曼光谱仪选择衍射光栅 ...
量子级联激光器:长波红外(λ>6 μm)的设计qcl今天能够在λ = 3-24 μm范围内发光,并且z近已经引入到太赫兹域,可能导致光电集成的新水平由于有可能利用为电信/数据通信组件市场开发的已经成熟的InP和GaAs技术,qcl已经显示出令人印象深刻的快速技术发展。自1994年成立以来,2QC激光器仅在几年后就实现了室温(RT)脉冲操作,并在2008年实现了连续(CW) RT操作。由于不断推动这项技术的工业化,由Cho首创的分子束外延(MBE)进行的初始材料开发工作近年来已扩展到更标准的工业平台,用于材料生长,金属有机化学气相沉积(MOCVD)mocvd生长的QC激光器已经迅速达到了与 ...
单模光纤在通信领域中的重要地位摘要:单模光纤之所以在现今信息传输系统中处于主导地位,是由于单模光纤避免了多模光纤严重的本征模间色散、模噪声以及传输中的其他效应,从而使单模光纤中信号传输的速度与容量远远高于多模光纤。一、单模光纤的应用单模光纤通信技术是光纤应用技术的一个重要应用方向,它是以单模光纤技术、激光技术和光电集成技术为基础而发展起来的。单模光纤通信是以光纤作为传输媒介、光波为载频的一种通信手段。即利用近红外区域波长1000nm左右的光波作为信息的载波信号,把电话、电视、数据等电信号调制到光载波上,再通过光纤传输的一种通信方式。单模光纤做光纤通信的重要传输媒介,其重要地位不言而喻,因此了解 ...
锁相放大相机在NV色心成像中的应用NV色心(氮-空位色心)是金刚石中由氮原子和邻近空位形成的缺陷,其基态能级在外磁场作用下产生劈裂,在此基础上通过光探测磁共振(ODMR)可检测磁场强度。本文提出一种基于锁相放大相机的NV色心磁成像方法。其通过锁相放大相机可以同步各个像素采集特定频率荧光信号。实验表明,该方法可实时解析NV色心荧光强度在一定磁场强度下的周期性响应,进而测量实验所施加的磁场强度。NV色心磁成像简介图1 NV色心金刚石晶格结构图NV色心(Nitrogen-Vacancy Center)是金刚石晶格中的一种原子级点缺陷,由邻近碳空位的一个氮原子替代碳原子构成。其独特的结构赋予其多维度物 ...
还原诱导法制备的三维纳米多孔Ag,用于敏感的表面增强拉曼散射引言:纳米多孔金属zui近引起了人们对催化、储能、表面增强拉曼散射(SERS)和传感等广泛应用的极大兴趣,由于其独特的表面结构(丰富的纳米间隙和纳米尖端)、大比表面积和高导电性。脱合金是制造纳米多孔材料的常见方法,其中合金中的反应性成分被选择性溶解,留下由剩余的更贵重的成分组成的双连续多孔结构。早期,脱合金主要集中在贵金属上,如Au、Pt、Pd和Ag。随着合金前驱体制备工艺的改进以及液态金属脱合金和气相脱合金的发展,金属体系的脱合金已从贵金属扩展到各种过渡金属,包括Ni、Co和Cu。然而,脱合金的一个不可避免的问题是合金前驱体的制备工 ...
卷积核函数滤波,除了在傅里叶平面的滤波外,还可以采用卷积的方法进行滤波。这里以高斯函数为例,对信号滤波,高斯函数形式为其中指代方差当=1时,函数的的傅里叶变化结果为若高斯函数采样点数为3, 其傅里叶变换后的公式为若高斯函数采样点数为5, 其傅里叶变换公式为若高斯函数采样点数为7,其傅里叶变换公式为当=4时,函数的的傅里叶变化结果为若高斯函数采样点数为3, 其傅里叶变换后的公式为若高斯函数采样点数为5, 其傅里叶变换公式为若高斯函数采样点数为7,其傅里叶变换公式为上述两个例子,一个时增加高斯函数的采样宽度,即卷积核的大小,可以令低通滤波器迅速下降,增加会减小低通滤波器的带宽。上述例子横轴取值范围 ...
带有独立偏置臂的非对称马赫-曾德尔干涉仪型腔的量子级联激光器宽单模调谐量子级联(QC)激光器是一种强大而紧凑的半导体光源。在中红外波段,它们是目前分子传感中基于吸收的光谱系统中非常有利的光源。由于这些系统利用了不同气体分子的强而窄的吸收线,它们要求QC激光器在单模下工作,并且是连续的,广泛可调的。研究并实现了实现波长选择性和可调性的不同方法。直到zui近,大多数QC激光器的单模操作已经通过在常规Fabry-Perot QC激光器的顶部合并周期性光栅实现,例如分布式反馈光栅或分布式布拉格反射器。然而,需要在波长尺度上精确的周期结构需要更复杂的制造步骤(例如,电子束光刻),通常导致更高的成本和更低 ...
解析PPLN晶体在量子技术快速商业化的关键作用(一):应用技术量子技术,曾经似乎是仅存在于科幻小说中的天方夜谭,但如今逐渐深入到我们的日常中改善我们的生活。而在前端的科研领域,如量子通信和量子计算机,量子技术同样令人兴奋,影响也将越来越显著,而非线性光学晶体(NLO)将在该技术的商业化过程中发挥关键作用。*本文来源于英国Covesion公司的白皮书《Non-linear Optical Crystals Used for Quantum Technology》。https://covesion.com/knowledge-hub/white-paper-non-linear-optical-c ...
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