多驱动透射式自适应镜头
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静电驱动的薄膜变形镜1976年,Perkin-Elmer公司的M.Yellin等人发明了用薄膜作为镜面,静电力驱动的变形镜,如图5所示。这是变形镜领域的一个突破,相比传统的压电变形镜工艺简化,造价明显降低,只是薄膜制备工艺和装配过程还是需要技巧。图5 薄膜变形镜的原理及电极示意图5. 双压电片变形镜由压电陶瓷片构成的双压电片结构(Bimorph)作为驱动器在1960年就已经广为使用,但一般制作成长条状的悬臂梁结构,如图6所示。相比于其它类型的变形镜,双压电变形镜的优点是结构简单、变形量大,可以做到中等口径。双压电片的制造工艺要比层叠驱动器的变形镜简单,不用制成成排的驱动器,只需将两片压电材料 ...
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