面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中，紫外（UV）及深紫外（DUV）光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进，紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段，每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径（NA）极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线，决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界：瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据（Rayleigh criterion）严格定义：CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长，NA 代表数值孔径，这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
Moku 一体化测试方案：从 Allan 标准差到系统稳定性分析引言在上一篇文章《Allan 方差理论和测量方法》中，我们系统介绍了 Allan 方差（Allan deviation）的理论基础，以及它在分析系统稳定性中的重要作用。在实际测量中，如何更高效测量 Allan 标准差？是选择实时观测，还是导出数据再分析？是用于快速调试，还是进一步完成深度分析与建模？在本文中，我们将介绍一种更为高效且灵活的方法：通过 Moku 相位表，即可实现两种 Allan 标准差分析方式，帮助用户在不同测试场景下快速完成稳定性评估。Moku:Delta 配备8通道输入/输出，2 GHz /6 GHz输入带宽，内 ...
一张照片，全幅清晰！看AI超景深显微镜如何征服“凹凸不平”的考古文物三维微观结构近年来，超景深显微镜在科技考古与文物保护领域的应用越来越广泛，下文给出几个使用案例。一、为什么观察文物需要超景深显微镜？普通光学显微镜景深小，适合观察“薄而平”的样本，而文物往往“厚、大、凹凸不平、脆弱”，需要景深大的超景深3D数码显微镜才能在同一时间看清不同高度的表面。超景深显微镜的原理是：通过成像系统在z轴扫描、CCD成像，捕捉样品上每个进入焦点的不同区域的图像，再利用3D合成重建算法，获得高分辨率，大景深的全幅对焦的三维图像。对于面积大的样品，可进行图像2D拼接和3D拼接，这样就能在显示器上清晰观察到放大的样 ...
quDIS 多轴干涉测量：从同步辐射样品定位到航天结构热变形测量目标的实际运动高精度装置中的电机指令、编码器读数和样品表面的实际运动之间，可能存在安装偏差、结构弹性、热漂移及转轴误差。对 X 射线衍射而言，这些误差会影响样品与入射束的几何关系；对空间望远镜而言，镜间支撑结构的微小变化会改变光学元件的相对位置。把测量基准延伸到目标表面，有助于把机构运动与实际光机几何联系起来。quDIS采用光纤连接的传感头，可按目标与参考方式配置为Fabry-Pérot 或 Michelson 干涉结构。其单台设备提供三条测量轴，并支持多设备扩展。距离读数如何转化为角度或结构变形，取决于探头的位置、方向以及所采用 ...
从“弯曲的桌面”到“亚厘米精度”：一篇带你读懂SPAD阵列激光雷达的误差与补偿2025年4月，中国计量大学的研究团队系统地分析时间门控SPAD阵列激光雷达的两大核心误差源，并提出了可量化的补偿方法。实验结果令人印象深刻：补偿后误差降低超过60%，深度分辨率优于1厘米。下面，我们就来拆解其中的技术细节。一、时间门控SPAD激光雷达的工作原理在深入误差分析之前，先快速理解这个系统是怎么工作的。与传统TCSPC（时间相关单光子计数）技术不同，时间门控SPAD阵列不逐点累积光子直方图，而是通过时间门来“切片”。每个时间门是一个固定宽度的时间窗口，比如5纳秒。相机在连续的门控周期中依次打开这些窗口，每个 ...
激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
宽谱可调谐光源技术全景：原理、选型与前沿应用指南1. 波长可调谐光源：驱动前沿科学与工业创新的核心引擎在光谱学、生物成像、半导体检测、量子技术等诸多前沿领域中，获取特定波长的激发光或探测光是实验成功的关键。传统的固定波长光源（如单一激光器或LED）往往难以满足多参数、多通道、高灵活性的测量需求。可调谐光源的出现，恰好解决了这一核心难题——它赋予研究人员前所未有的自由度，能够根据实际需要，连续或离散地选择输出波长，从而实现更灵活、更精确、更高效率的光学调控。根据波长调谐的实现方式，当前的可调谐光源主要分为三大技术路线：组合式（宽谱光源与滤波器件结合）、自调谐（光源本身具备波长调谐能力）以及波长切 ...
紧凑型频率梳稳定器介绍昊量光电推出了一款性价比非常高的紧凑型频率梳稳定器，其中采用了MENHIR-1550锁模激光器与CombOffsetStabilization Module（COSMO），成功推出了一种简单经济的方案，用于稳定光频梳（OFC）的载波包络偏移频率（fCEO）。该集成解决方案采用现成组件，结合数字锁相电子设备（Comb-LockBox，CLB）和开源控制软件，仅需简单配置即可实现快速可靠的相位相干锁定，操作复杂度极低。与MENHIR-1550等频率梳激光器类似，这类设备能生成光谱学、时钟和计量学领域至关重要的精密光谱线。但传统稳定方案往往需要复杂昂贵的设备配置。我们的解决方案 ...
高光谱相机在塑料分选方面的应用每天，从早餐的外带咖啡杯到午后的矿泉水瓶，从快递包装到家居用品，塑料已无处不在。然而，这些被丢弃的塑料若混合处理，不仅浪费资源，更可能造成环境污染。高效、准确的塑料分选，成为资源再生的关键一步。今天，我们要介绍一项前沿技术——高光谱相机，它正以其“透视”般的能力，赋予机器识别不同塑料的“眼睛”，让分选变得又快又准。实验准备：本次实验我们采集的是五种不同材质的塑料，如图1所示，分别为1.PET（聚对苯二甲酸乙二醇酯）：常见于饮料瓶、食品容器，透明轻便，可回收制成纤维、新瓶。2.PP（聚丙烯）：多用于餐盒、保鲜盒，耐热性强，是食品包装的常客。3.PS（聚苯乙烯）：分为 ...
双频共振跟踪（DFRT）-了解如何在 Moku:Pro 上实现双频共振跟踪实时谐振跟踪在一系列应用中都很重要，包括从基于微机电系统 (MEMS) 的惯性传感到原子力显微镜 (AFM)。本应用说明比较了两种跟踪谐振的方法：一种利用锁相环 (PLL)，另一种利用双频谐振跟踪 (DFRT)。虽然 PLL 方法在大多数情况下效果很好，但它可能会难以应对临界耦合下出现的突然相移。DFRT 通过幅度相关反馈控制克服了这一困难，提供了更可靠的解决方案。在这里，我们通过结合双频多频锁定检测实验和PID 控制器在一个Moku:Pro设备。双频信号由双通道波形发生器产生，在模拟谐振器上进行了测试，并获得了积极的结 ...
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