指定。 它是传感器噪声、驱动器电子噪声和命令噪声等的组合。由于我们使用的 Silicon HR 传感器具有非常高的信噪比，我们平台的位置噪声非常有限。Range of motion : The maximum displacement of the nanopositioners.运动范围（行程）:纳米定位器的最大位移。Resolution : The minimum step size the stage can move.分辨率:舞台可以移动的最小步长。Resonant frequency : Piezostage are oscillating mechanical systems ch ...
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