面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中，紫外（UV）及深紫外（DUV）光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进，紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段，每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径（NA）极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线，决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界：瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据（Rayleigh criterion）严格定义：CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长，NA 代表数值孔径，这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
Moku 一体化测试方案：从 Allan 标准差到系统稳定性分析引言在上一篇文章《Allan 方差理论和测量方法》中，我们系统介绍了 Allan 方差（Allan deviation）的理论基础，以及它在分析系统稳定性中的重要作用。在实际测量中，如何更高效测量 Allan 标准差？是选择实时观测，还是导出数据再分析？是用于快速调试，还是进一步完成深度分析与建模？在本文中，我们将介绍一种更为高效且灵活的方法：通过 Moku 相位表，即可实现两种 Allan 标准差分析方式，帮助用户在不同测试场景下快速完成稳定性评估。Moku:Delta 配备8通道输入/输出，2 GHz /6 GHz输入带宽，内 ...
一张照片，全幅清晰！看AI超景深显微镜如何征服“凹凸不平”的考古文物三维微观结构近年来，超景深显微镜在科技考古与文物保护领域的应用越来越广泛，下文给出几个使用案例。一、为什么观察文物需要超景深显微镜？普通光学显微镜景深小，适合观察“薄而平”的样本，而文物往往“厚、大、凹凸不平、脆弱”，需要景深大的超景深3D数码显微镜才能在同一时间看清不同高度的表面。超景深显微镜的原理是：通过成像系统在z轴扫描、CCD成像，捕捉样品上每个进入焦点的不同区域的图像，再利用3D合成重建算法，获得高分辨率，大景深的全幅对焦的三维图像。对于面积大的样品，可进行图像2D拼接和3D拼接，这样就能在显示器上清晰观察到放大的样 ...
应用探究 | 量子计算DOPA 产生压缩态：选 PPLN 还是 PPKTP？背景在量子技术中，压缩态（squeezed state）作为一种关键的连续变量量子态，已成为突破经典物理极限、提升系统性能的重要资源。如在量子精密测量中用于引力波探测，在量子通信中作为连续变量量子密钥分发（CV-QKD）的核心资源，在量子计算中，压缩态则是实现高斯玻色采样（GBS）的关键资源态。光学参量振荡（OPO）和放大（OPA）常用于产生压缩态，这通常是由非线性晶体实现的，如周期极化铌酸锂PPLN和周期极化磷酸氧钛钾PPKTP。周期极化晶体可以利用更长的相互作用长度和更大非线性系数。山西大学张宽收教授课题组分别使用 ...
高精度实验室气相色谱仪（GC）——高精度、高通量、强拓展性、AI智能易用昊量光电推出新一代中/高端台式气相色谱仪（GC）。具有超高灵敏度（自有技术设计火焰离子化检测器实现更高分辨率；基于自适应降噪算法，有效降低噪音和基线漂移）、超高稳定性（超高的保留时间精密度，实现可靠的色谱峰鉴定；极低的交叉污染，确保获得超高的数据质量）、超高分析效率（ji致的温度控制系统；“高通量”样本分析模式；支持单/双塔配置）。痕量分析全自研火焰离子化检测器（FID）的精密硬件结构及算法控制，实现基线噪音与漂移远小于国标规定值。FIDzui低检出限小于1.1 pg C/s（正十三烷），不惧低浓度成分检测。精确的压力/流 ...
激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
可见光到近红外光谱区SiN集成光子元件摘要：在本文中，我们介绍表征SiN集成组件的实验设置的结构和设计，简述了可见光到近红外光谱区的SiN集成光子元件中的应用。本研究强调氮化硅（SiN）是开发可见光至近红外范围内量子光子集成电路（QPICs）的理想材料。已经设计、制造和测试了各种集成的基于sinc的构建模块，展示了低插入损耗和高效率的先 进性能。采用精确的工艺，包括LPCVD沉积和定制蚀刻技术，制备了氮化硅（SiN） PICs，以实现750 nm的单模波导。光学表征在很大程度上依赖于FYLA SCT500超连续激光作为光源。这使得测量宽光谱响应（650-850 nm）具有高精度[图1]。输入偏 ...
直播回顾：基于可重构FPGA的并行IC测试验证解决方案随着通信、数据处理等领域对AI芯片、RF芯片及硅光芯片等前沿芯片的性能要求不断提高，芯片设计越发复杂，其验证测试环节面临许多挑战。例如，IC测试系统通常集成多品牌和类型电学测量仪器，难以统一自动化控制；混合信号测试方案复杂，成本高昂；前沿芯片对测量数据准确性和校准可追溯性的要求不断提高。应对这些挑战，Liquid Instruments在11月25日举办了《基于可重构FPGA的并行IC测试验证解决方案》线上研讨会。会上，LI应用专家Hank Long介绍了基于FPGA的Moku平台在前沿IC芯片验证测试中的应用与优势，并演示了如何利用 Mo ...
时间门控SPAD阵列与非视域成像中的关键散射特性研究非视域成像，旨在实现对视线之外隐藏物体的探测与重构，是近年来光电探测领域的前沿焦点。这项技术借助于一个中介面（如墙壁、地面），通过捕获从隐藏目标反射并再次经由中介面散射回来的微弱光信号，来“绕弯”看清拐角后的景物。在众多技术路径中，基于时间门控SPAD（单光子雪崩二极管）阵列的成像方法，因其具有凝视成像、高时间分辨率、设备集成度高等优势，被视为走向实用化的关键技术之一。图1：基于 TG-SPAD 阵列的非视域成像原理示意图一、 技术核心：为何要研究中介面的散射特性？在非视域成像系统中，中介面并非理想的镜子。当光子携带隐藏目标的信息返回中介面时 ...
案例分享|Covesion锁频激光器入海行：从冷原子到寒海境当我们谈到量子的时候，我们往往想象到一幅充满真空腔，隔振平台、手捧热茶科学家们的实验室场景，而现在英国Covesion公司的双波长锁频激光器作为CPI TMD Technologies公司近期研发的HARLEQUIN量子混合惯性导航系统的核心，首次在海上支持冷原子技术的实际部署。这标志着量子传感器不仅能在光学平台上工作，并且能在狂野颠簸、变幻莫测的海上环境中工作的重要一步。Covesion的锁频激光系统正位于Trinity House vessel的THV Galatea号前性能抢先看Covesion的锁频激光系统是基于核心光纤耦合P ...
或 投递简历至: hr@auniontech.com
