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激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...

无需制样的快速多元素检测——激光诱导击穿光谱（LIBS）方案LIBS(激光诱导击穿光谱)是将一束高能脉冲激光聚焦在样品表面，当激光辐照度超过样品的击穿阈值时，少量材料将被烧蚀和激发以产生等离子体。在激光脉冲结束时，等离子体迅速扩散并冷却。激光诱导等离子体内包含了电子、离子、原子、分子和微粒等，整体呈电中性。当激光脉冲结束后，等离子体中被激发的粒子会从高能级向低能级跃迁，并发射特征谱线。用光谱仪采集等离子体发射的特征谱线就会得到LIBS光谱图。通常我们认为等离子体中各种元素的比例与烧蚀样品的元素比例一致。通过分析特征谱线的强度，可以定量分析出样品中各种元素的含量。星朗浩宇提供一体台式LIBS、分 ...

【科研级磁场测绘】从微米级敏感体积到工业级应用：SENIS MMS-2A-ROT 如何重塑磁场表征的“基准线”摘要：本文以“测量即定义”为核心理念，针对电机、无线充电及精密仪器领域，详细阐述了该产品如何通过真三维霍尔传感技术解决传统测量中的矢量失真与空间盲区痛点。内容涵盖了微米级敏感体积、高刚性旋转架构及全频谱捕捉等核心技术优势，并列举了保时捷Formula E赛车与西门子工业应用的案例，展示了其作为科研级与工业级“金标准”的实力，zui后介绍了SENIS的技术背景及其中国合作伙伴星朗浩宇的服务能力。在现代电磁学研究与高端制造领域， “测量即定义” 。当我们谈论电机的能效极限、无线充电的耦合效 ...

磁场界的“全息透视眼”！Metrolab HallinSight®磁场相机，重新定义2026测量新标准涡旋光束的传输特性摘要：本文以“磁场界的全息透视眼”为核心隐喻，详细阐述了该产品如何通过真三维阵列传感技术，解决传统单点测量在效率与维度上的痛点。内容涵盖了其在电机研发、电磁兼容及科研领域的具体应用，强调了其“真三维同步感知”、“无插值高速测量”及“微米级几何精度”的技术壁垒，并通过对比传统特斯拉计突出了其在数据可视化与动态捕捉方面的优势，zui后介绍了Metrolab的品牌背景与中国代理商星朗浩宇的服务承诺。告别单点盲测，瑞士黑科技让磁场分布“一览无余”在电机研发的攻坚时刻，您是否还在为气隙 ...

告别“黑盒”沉积：2026年，薄膜生长的每一秒都该被看见摘要：本文以“测量即定义”为核心理念，重点阐述了该产品在原位（In-situ）实时监测方面的技术优势，解决了传统薄膜测量中的“黑盒”痛点。内容涵盖了其无光纤全自足设计、1.7毫秒超快模式及FS-API接口，详细介绍了其在半导体封装、光伏新能源、硬质涂层及科研领域的具体应用，并列出了FS-4与FS-8的硬核参数，zui后展示了Film Sense的品牌实力及中国代理商上海星朗浩宇的本地化服务能力。在半导体前道工艺、新能源材料研发的实验室里，有一个令人头疼的悖论：我们拥有价值千万的沉积设备，却往往只能在工艺结束后，把样品拿出来放在显微镜下看“ ...

瑞士 precision 3MH4 数字特斯拉计：0.1% 绝对精度，重新定义磁场测量“新标尺”摘要：本文以“重新定义磁场测量新标尺”为核心，针对半导体、大科学装置及精密电机领域，详细阐述了该产品如何通过纯数字架构解决传统模拟仪器的温漂与噪声痛点。内容涵盖了0.1%绝对精度、亚毫米级空间分辨率及真三维数字传输等技术优势，并通过对比传统设备突出了其在弱磁测量、环境测试及动态监测中的卓越性能，zui后介绍了SENIS的品牌背景与中国代理商星朗浩宇的服务能力。告别模拟信号衰减，这才是科研级数字特斯拉计该有的样子在追求精度的磁学测量领域，微小的误差往往意味着巨大的偏差。对于上海及长三角地区的顶尖科研机 ...

解锁微观领域的“荧光指纹”：三维荧光光谱技术的可调谐单色光源系统在生命科学、药物研发、环境监测乃至临床诊断的前沿阵地，科学家们始终在追寻一种能力：看清分子间相互作用的每一个细节，捕捉蛋白质构象变化的每一次微小“呼吸”。传统的分析手段，如稳态荧光光谱，虽然经典，但如同用二维的黑白照片去记录一个五彩斑斓的动态领域，信息维度单一，难以揭示复杂的全貌。而三维荧光光谱技术（Three-Dimensional Excitation-Emission Matrix Fluorescence Spectroscopy, 3D-EEM），正以其有特点的“荧光指纹”识别能力，成为破解这一难题的工具。它通过构建激发 ...

全新发布｜Moku AI仪器生成器：让每一位工程师按需生成专属测试仪器现代工程系统日益趋向专业化与定制化，然而系统中使用的大部分测试测量设备在本质上仍属于通用型设备。传统测试测量仪器如示波器、频谱分析仪和波形发生器等，历经数十年发展，已具备了丰富的设置选项和标准测量功能；但这些功能完全由设备厂商掌控和定义，用户几乎无法根据自身需求定制。软件方面，MATLAB 和 Python 等软件环境虽然在离线数据后处理与分析方面提供了极大的灵活性，却无法满足许多原型设计及测试任务对硬件速度和确定性的要求。标准化的测试测量解决方案越来越无法满足一些专业需求，例如：用于通信实验的定制解调方案用于实验室装置的专 ...

钛宝石飞秒激光器波长不够用？ORIA扩展器一键覆盖340-4090nm，可按需灵活组合！一、钛宝石飞秒激光器：超快光学研究的基石钛宝石（Ti:Sapphire）飞秒激光器自上世纪80年代末问世以来，一直是超快光学领域核心的光源之一。其核心增益介质为掺钛的蓝宝石晶体（Ti³⁺:Al2O3），凭借近红外波段极宽的发射谱带（约650 nm至1100 nm），钛宝石激光器能够支持极窄的飞秒级脉冲输出，同时保持优异的光束质量。例如， Spectra-Physics公司的MAI TAI系列钛宝石飞秒激光器，可在680 nm至1080 nm的波长范围内实现调谐，输出脉冲宽度可压缩至100fs以内，重复频率通 ...

偏振测量技术全解析，两大主流调制方案精准适配科研与工业全场景！偏振，藏在光束里的 “隐形信息密码”肉眼只能看见光的明暗与色彩，却看不见光波电场的振动方向 —— 偏振。从半导体薄膜应力、保偏光纤损耗、AR 光学镜片质检，到量子光学、天文观测、生物显微成像，偏振态是衡量光学元件、材料、光路系统性能的核心隐形指标。想要量化相位延迟、穆勒矩阵、偏振度、双折射等关键参数，偏振测量仪是必不可少的核心检测设备。一套合格的偏振测量系统，可完整解算斯托克斯四参数、穆勒矩阵、偏振度 DOP、相位延迟、消光比、方位角等核心指标，通过邦加球、偏振椭圆可视化呈现光束全部偏振特征，把肉眼不可见的光学差异转化为可量化、可追 ...