面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中,紫外(UV)及深紫外(DUV)光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进,紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段,每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径(NA)极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线,决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界:瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据(Rayleigh criterion)严格定义:CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长,NA 代表数值孔径,这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
Moku 一体化测试方案:从 Allan 标准差到系统稳定性分析引言在上一篇文章《Allan 方差理论和测量方法》中,我们系统介绍了 Allan 方差(Allan deviation)的理论基础,以及它在分析系统稳定性中的重要作用。在实际测量中,如何更高效测量 Allan 标准差?是选择实时观测,还是导出数据再分析?是用于快速调试,还是进一步完成深度分析与建模?在本文中,我们将介绍一种更为高效且灵活的方法:通过 Moku 相位表,即可实现两种 Allan 标准差分析方式,帮助用户在不同测试场景下快速完成稳定性评估。Moku:Delta 配备8通道输入/输出,2 GHz /6 GHz输入带宽,内 ...
一张照片,全幅清晰!看AI超景深显微镜如何征服“凹凸不平”的考古文物三维微观结构近年来,超景深显微镜在科技考古与文物保护领域的应用越来越广泛,下文给出几个使用案例。一、为什么观察文物需要超景深显微镜?普通光学显微镜景深小,适合观察“薄而平”的样本,而文物往往“厚、大、凹凸不平、脆弱”,需要景深大的超景深3D数码显微镜才能在同一时间看清不同高度的表面。超景深显微镜的原理是:通过成像系统在z轴扫描、CCD成像,捕捉样品上每个进入焦点的不同区域的图像,再利用3D合成重建算法,获得高分辨率,大景深的全幅对焦的三维图像。对于面积大的样品,可进行图像2D拼接和3D拼接,这样就能在显示器上清晰观察到放大的样 ...
空间光调制器(SLM)在中性原子量子计算中的应用一、引言量子计算利用量子叠加、纠缠与干涉特性,在特定问题上具备超越经典计算机的算力优势。当前主流技术路线包括超导、离子阱、中性原子、光量子等,其中中性原子系统近年实现突破性进展。中性原子量子比特天然全同、室温长相干(秒级)、无布线约束、可动态排布二维/三维阵列,完美契合大规模量子计算对高保真度、高扩展性、低串扰的核心需求。图 1: 中性原子量子计算系统二、中性原子体系与核心原理2.1 主流原子选择2.1.1铷 - 87(⁸⁷Rb,zui主流)能级简单、冷却 / 操控技术成熟、成本低。超精细基态相干时间秒级,适合长时量子存储。2.1.2 铯 - 1 ...
超连续激光测量BODIPY样品的转换效率摘要:在本文中,我们简单介绍了BODIPY衍生物,并重点介绍了一种寿命测量的实验搭建和测试方法。4,4-二氟-4-硼-3a,4 -二氮-s-茚二烯(BODIPY)是在40多年前发现的,在过去的几十年里,由于其在有机半导体材料领域的潜力,其光电特性已经成为多项研究的主题。通过寿命测量和新分子的荧光猝灭来测量转化效率。自制实验装置包括共聚焦显微镜,连接时间相关单光子计数装置和APD检测器(图1)。寿命测量的佳的照明需要宽光谱范围来研究BODIPY衍生物的发射。在这个范围内,选择的选项包括FYLA超连续激光,它确保脉冲照明在MHz重复率,具有平坦的光谱覆盖从4 ...
突破传统:基于高速高压固态开关的亚10ns高压脉冲前沿解决方案上升时间<10ns!高速固态开关高压脉冲解决方案取得关键突破在生物医疗、质谱分析、材料测试以及宽带隙半导体表征等精密应用中,高压脉冲的上升沿速度直接决定了系统的分辨率和性能极限。传统的火花隙或闸流管由于物理原理限制,虽然能起到高压开关的作用,但它们抖动大、寿命短以及高压波形不可控的缺点也无法令人忽视。昊量光电全新推出基于模块化高速固体开关及高压电源的高压脉冲前沿解决方案,在实际电路中可以稳定获得低于10ns的上升沿高压输出,为科研与工业用户提供全固态、长寿命、高重频的定制化方案。一. 为什么上升沿的陡峭度至关重要?在高压脉冲应 ...
二维材料的表征-钙钛矿摘要:在本文中,我们简单介绍了2D材料,并重点研究了二维材料钙铁矿的表征实验光路及应用介绍。(2D)材料因其杰出的化学、电学和物理特性而受到越来越多的关注。二维材料是一种主要具有二维结构特征的物质,其厚度通常在原子或纳米尺度上。这些材料由于其降低的尺寸而表现出独特的性能,例如高表面积体积比,卓越的电子,光学和机械性能。二维材料的例子包括石墨烯、过渡金属二硫化物(TMDs)如二硫化钼、六方氮化硼(h-BN)和黑磷(磷烯)。zui近,许多研究小组已经发现了2D材料和有机-无机杂化钙钛矿材料在太阳能电池应用中的协同效应。有机-无机杂化钙钛矿作为太阳能吸收剂已经引起了大家的兴趣, ...
获取白皮书《现代宽带射频记录回放解决方案》在现代射频(RF)测试测量场景中,工程师们常提出这样的需求:将真实的电磁环境实时完整地记录下来,并在后续实验复现信号,甚至需要对信号进行在线修改和调整。这个需求看似简单,真正实现却面临诸多挑战,例如:传统宽带记录与回放系统通常功能单一、数据格式封闭,难与现代化标准系统集成,且无法在采集过程中进行实时处理;这类系统价格高昂,动辄需要数十万美元投入。因此,当前很多测试流程仍然停留在“先采集,再离线分析”的模式,既不灵活,也难以支持现代复杂测试场景。现代射频测试测量方式需要从“传统单功能硬件”向“宽带采集+动态重构+软件定义“演进。工程师们需要一个可实时处理 ...
双频共振跟踪(DFRT)-了解如何在 Moku:Pro 上实现双频共振跟踪实时谐振跟踪在一系列应用中都很重要,包括从基于微机电系统 (MEMS) 的惯性传感到原子力显微镜 (AFM)。本应用说明比较了两种跟踪谐振的方法:一种利用锁相环 (PLL),另一种利用双频谐振跟踪 (DFRT)。虽然 PLL 方法在大多数情况下效果很好,但它可能会难以应对临界耦合下出现的突然相移。DFRT 通过幅度相关反馈控制克服了这一困难,提供了更可靠的解决方案。在这里,我们通过结合双频多频锁定检测实验和PID 控制器在一个Moku:Pro设备。双频信号由双通道波形发生器产生,在模拟谐振器上进行了测试,并获得了积极的结 ...
啁啾体布拉格光栅(CBG):超精细量子位控制技术中的新方案随着量子计算、量子模拟和精密测量等领域的快速发展,高保真度的量子位操作成为实现大规模量子信息处理的关键。超精细原子态作为量子比特的编码载体,因其长相干时间和可控性而备受青睐。然而,传统的量子位驱动方法(如微波直接驱动或双激光Raman过渡)在扩展性和稳定性上面临挑战。近年来,啁啾体布拉格光栅(Chirped Bragg Grating, CBG)作为一种新型色散光学元件,通过高效地将相位调制转换为幅度调制,为超精细量子位的Raman驱动提供了革命性的解决方案。本文基于前沿研究论文(文章1-《Dispersive optical syst ...
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