激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
拉曼光谱专题7 | 选对激光波长,拉曼检测事半功倍!不同样品的 “专属波长指南”做拉曼检测时,你是否遇到过这些问题:明明按步骤操作,却测不到清晰特征峰?样品被激光照完后变性损坏?荧光背景重得盖过所有信号?其实,这些问题的根源往往只有一个 —— 没选对激光波长。拉曼检测就像给样品 “拍身份证”,激光波长就是 “拍照的光线”:用错光线,再清晰的 “指纹” 也会模糊;选对光线,才能让分子特征一目了然。今天就为你拆解不同样品的 “波长适配逻辑”,更告诉你如何用昊量光电 HyperRam 全自动拉曼,一键搞定所有样品的波长难题!一、生物样品(细胞 / 蛋白质 / 组织):785nm 近红外,温柔又高效样 ...
CCD vs CMOS vs SCMOS传感器对比1.回顾 CCD、CMOS 和 sCMOS 传感器的简单指南XIMEA 产品组合提供广泛的相机,这些相机基于不同类型的传感器,如 CCD、CMOS 和zui近的 sCMOS(科学 CMOS),包括背照式版本。一般来说,传感器有多种分辨率、传感器和像素尺寸、噪声水平、帧速率和许多其他规格。不同的应用需要或强调可能相互排除的特定参数,例如,低噪声很难与快速相结合。如果您不确定哪种类型的传感器可以获得什么性能,也许以下概述可以提供一些启示。KAI系列CCD传感器2.图像传感器广泛使用的图像传感器基于这三种技术:较旧的CCD,其次是CMOS和sCMOS ...
Specim高光谱相机在微塑料检测方面的应用1.样品描述本研究涵盖了多种塑料材料(图1)。我们提供了较大的颗粒,每个颗粒尺寸为几毫米,作为基础样品,用于构建光谱参考库。这些颗粒由常用的聚合物组成,例如高密度和低密度聚乙烯(HDPE和LDPE)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚碳酸酯(PC)、聚丙烯(PP)、聚酰胺(PA)、两种聚苯乙烯(PS1和PS2)以及聚氯乙烯(PVC)。这些材料由于其广泛的使用以及随着时间的推移容易降解为微塑料的趋势,在环境中经常被发现。除了宏观样本外,分析还涵盖了由聚乙烯(PE)和聚苯乙烯(PS)制成的微塑料颗粒。这些微塑料的尺寸和颜色各不相同,用于评估光谱库应用于较 ...
超导纳米线光子数分辨探测器:开启量子通信与传感的新纪元近年来,随着量子通信、激光雷达(LiDAR)和单光子成像等技术的飞速发展,对高性能单光子探测器的需求日益迫切。特别是在光子数分辨(Photon-Number-Resolving, PNR)能力方面,传统单光子探测器存在明显短板。文中提出并验证了一种基于并行超导纳米线结构的光子数分辨探测器,为高灵敏度、高速度、低噪声的单光子探测提供了全新解决方案。一、从“有无”到“多少”:光子数分辨的技术挑战与意义传统单光子探测器(如SPAD)仅能判断“是否有光子到达”,无法区分光子数量。这在高动态范围、高背景噪声或量子态重构等应用中成为关键瓶颈。光子数分辨 ...
Moku:Lab应用于基于有机纳米步进光学致动器的可重构集成光子电路中国科学院化学所张继哲等研究团队新发表研究成果,成功研制出一种运动轨迹可编程的光致动器,用于集成光学芯片上的器件重构。该制动器由有机分子晶体组成,尺寸仅为微米量级,可以通过低功率激光远场照射的方式进行供能驱动和轨迹调控,从而在光芯片上实现直行、转弯、跨越波导运动,进一步实现对片上微结构的组装和操控。基于此,研究团队首次在光子芯片上实现了对微环谐振腔共振频率的动态、半永久性的精密调控。该研究成果以“Optically-driven organic nano-step actuator for reconfigurable pho ...
全新升级MokuOS 4.0,简化跨设备平台协同交互Liquid Instruments推出全新用户操控系统MokuOS 4.0,通过一套统一化的操控系统将Moku全系列产品的图形化操作软件、固件和API整合到同一操控平台,实现Windows、macOS、iPadOS和visionOS跨平台兼容。此次升级不仅包括全新仪器功能提升仪器性能,还对APIs以及Moku云编译优化,为用户带来更强大高效的测量实验平台。新系统全面支持Moku:Pro、Moku:Lab、Moku:Go及2GHz带宽和8通道的新高性能型号Moku:Delta。欢迎联系昊量光电,立即下载MokuOS 4.0,免费体验全新功能。 ...
Moku:Delta在半导体测试中的应用一.简介在数字化浪潮席卷全qiu的今天,信息技术的迭代速度日益加快。其中,半导体技术作为信息产业的“基石”,支撑着从智能手机到超级计算机的所有电子设备;半导体测试是保障半导体产业高质量发展的核心环节,我公司推出的Moku:Delta是一款高度集成的测试测量仪器,凭借其模块化设计与软件定义硬件的架构,能够灵活适配半导体测试中的复杂场景。当然,在量子信息科学研究中,它提供了超高精度的信号采集与处理能力,支持从微波到光频段的多领域实验需求。本文重点讲解Moku:Delta通过与AI算法的深度融合,实现了智能化数据分析与实时反馈控制,大幅提升测试效率与准确性。二 ...
高精度特斯拉计,配有薄型高分辨率三轴霍尔探头摘要新型数字特斯拉计系统(又称高斯计)集成了三轴霍尔探头、基于旋转电流技术的模拟电子元件、24位模数转换器、计算机及7位数触摸屏显示器。该霍尔探头采用单片硅芯片设计,集成有水平/垂直方向的霍尔磁传感器和温度传感器。霍尔传感芯片封装在坚固的陶瓷外壳中,其厚度仅为250μ微米。旋转电流技术有效消除了霍尔探头偏移、低频噪声及平面霍尔电压干扰。通过基于三变量二次多项式的校准程序,消除了霍尔元件非线性误差与探头电子元件温度变化带来的影响。针对霍尔探头角度误差问题,采用探头灵敏度张量校准方案彻底消除误差。这些创新设计使新特斯拉计具备了测量1μ特斯拉至30特斯拉磁 ...
拉曼光谱专题5 | 拉曼光谱 vs 红外吸收光谱:本文教你怎么选!当制药实验室需要实时分析药片成分时,当文物修复专家要无损鉴别古画颜料时,当半导体工厂需在线监控芯片质量时,科学家们总会面临一个关键选择:是用红外吸收光谱还是拉曼光谱?这两种被誉为 “分子指纹识别” 的核心技术,同属分子振动光谱范畴,却因原理差异形成截然不同的应用边界 —— 既存在互补性,也在诸多场景中呈现明确的选择区分。深入理解两者的异同,是精准匹配分析需求、提升检测效率的关键。一、原理核心:分子振动的 “两种探测逻辑”拉曼光谱与红外吸收光谱的本质差异,源于对分子振动信号的探测方式不同,这种底层逻辑的区别直接决定了两者的技术特性 ...
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