面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中，紫外（UV）及深紫外（DUV）光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进，紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段，每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径（NA）极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线，决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界：瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据（Rayleigh criterion）严格定义：CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长，NA 代表数值孔径，这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
Moku 一体化测试方案：从 Allan 标准差到系统稳定性分析引言在上一篇文章《Allan 方差理论和测量方法》中，我们系统介绍了 Allan 方差（Allan deviation）的理论基础，以及它在分析系统稳定性中的重要作用。在实际测量中，如何更高效测量 Allan 标准差？是选择实时观测，还是导出数据再分析？是用于快速调试，还是进一步完成深度分析与建模？在本文中，我们将介绍一种更为高效且灵活的方法：通过 Moku 相位表，即可实现两种 Allan 标准差分析方式，帮助用户在不同测试场景下快速完成稳定性评估。Moku:Delta 配备8通道输入/输出，2 GHz /6 GHz输入带宽，内 ...
一张照片，全幅清晰！看AI超景深显微镜如何征服“凹凸不平”的考古文物三维微观结构近年来，超景深显微镜在科技考古与文物保护领域的应用越来越广泛，下文给出几个使用案例。一、为什么观察文物需要超景深显微镜？普通光学显微镜景深小，适合观察“薄而平”的样本，而文物往往“厚、大、凹凸不平、脆弱”，需要景深大的超景深3D数码显微镜才能在同一时间看清不同高度的表面。超景深显微镜的原理是：通过成像系统在z轴扫描、CCD成像，捕捉样品上每个进入焦点的不同区域的图像，再利用3D合成重建算法，获得高分辨率，大景深的全幅对焦的三维图像。对于面积大的样品，可进行图像2D拼接和3D拼接，这样就能在显示器上清晰观察到放大的样 ...
空间光调制器（SLM）在中性原子量子计算中的应用一、引言量子计算利用量子叠加、纠缠与干涉特性，在特定问题上具备超越经典计算机的算力优势。当前主流技术路线包括超导、离子阱、中性原子、光量子等，其中中性原子系统近年实现突破性进展。中性原子量子比特天然全同、室温长相干（秒级）、无布线约束、可动态排布二维/三维阵列，完美契合大规模量子计算对高保真度、高扩展性、低串扰的核心需求。图 1： 中性原子量子计算系统二、中性原子体系与核心原理2.1 主流原子选择2.1.1铷 - 87（⁸⁷Rb，zui主流）能级简单、冷却 / 操控技术成熟、成本低。超精细基态相干时间秒级，适合长时量子存储。2.1.2 铯 - 1 ...
应用探究 | 量子计算DOPA 产生压缩态：选 PPLN 还是 PPKTP？背景在量子技术中，压缩态（squeezed state）作为一种关键的连续变量量子态，已成为突破经典物理极限、提升系统性能的重要资源。如在量子精密测量中用于引力波探测，在量子通信中作为连续变量量子密钥分发（CV-QKD）的核心资源，在量子计算中，压缩态则是实现高斯玻色采样（GBS）的关键资源态。光学参量振荡（OPO）和放大（OPA）常用于产生压缩态，这通常是由非线性晶体实现的，如周期极化铌酸锂PPLN和周期极化磷酸氧钛钾PPKTP。周期极化晶体可以利用更长的相互作用长度和更大非线性系数。山西大学张宽收教授课题组分别使用 ...
高精度实验室气相色谱仪（GC）——高精度、高通量、强拓展性、AI智能易用昊量光电推出新一代中/高端台式气相色谱仪（GC）。具有超高灵敏度（自有技术设计火焰离子化检测器实现更高分辨率；基于自适应降噪算法，有效降低噪音和基线漂移）、超高稳定性（超高的保留时间精密度，实现可靠的色谱峰鉴定；极低的交叉污染，确保获得超高的数据质量）、超高分析效率（ji致的温度控制系统；“高通量”样本分析模式；支持单/双塔配置）。痕量分析全自研火焰离子化检测器（FID）的精密硬件结构及算法控制，实现基线噪音与漂移远小于国标规定值。FIDzui低检出限小于1.1 pg C/s（正十三烷），不惧低浓度成分检测。精确的压力/流 ...
应用探究|不再高价低效！Covesion PPLN开启SWIR甲烷单光子检测新时代可部署的温室气体检测解决方案对于工业场所中的环境监测至关重要。美国2024的一项研究表明，工业甲烷排放量是政府估计值的三倍，这对于环境和经济都有重大影响。单光子激光雷达技术为高灵敏度直接探测提供了一种途径。许多温室气体分子，如甲烷，在中红外（MIR）光谱区域具有基频吸收带，在短波红外（SWIR）区域则具有倍频吸收带。然而，在这些波长范围内，高效的单光子探测器选择受限，超导纳米线探测器（SNSPDs）需要大型低温冷却系统，不适用于许多现场的应用。铟镓砷单光子雪崩二极管（InGaAs SPAD）探测器广泛用于短波红外 ...
气相色谱单四极杆质谱联用仪（GCMS）-30分钟快速抽真空！精密制造的技术积累、持续超行业标准的研发投入及柔性供应链的成熟配备，融合新 AI 智能算法，可助您更高效、便捷地面对严苛分析挑战，改善分析性能，提升实验室效率。该气相色谱单四极杆质谱联用仪（GCMS）专为食品、环境、石油化工、制药、工业制品、司法公检等行业而设计。快速真空-双腔室搭载双涡轮分子泵，区分离子源和四极杆真空区域-1ml/min载气流速下30min内真空度可达10^(-5)Pafg级检出限-达国际水平的EPC控制精度0.001psi，精准识别并定量超痕量物质稳定性强-带预杆的惰性镀层四极：抗污染、使用寿命长-无冷点气质接口： ...
直播回顾：基于可重构FPGA的并行IC测试验证解决方案随着通信、数据处理等领域对AI芯片、RF芯片及硅光芯片等前沿芯片的性能要求不断提高，芯片设计越发复杂，其验证测试环节面临许多挑战。例如，IC测试系统通常集成多品牌和类型电学测量仪器，难以统一自动化控制；混合信号测试方案复杂，成本高昂；前沿芯片对测量数据准确性和校准可追溯性的要求不断提高。应对这些挑战，Liquid Instruments在11月25日举办了《基于可重构FPGA的并行IC测试验证解决方案》线上研讨会。会上，LI应用专家Hank Long介绍了基于FPGA的Moku平台在前沿IC芯片验证测试中的应用与优势，并演示了如何利用 Mo ...
时间门控SPAD阵列与非视域成像中的关键散射特性研究非视域成像，旨在实现对视线之外隐藏物体的探测与重构，是近年来光电探测领域的前沿焦点。这项技术借助于一个中介面（如墙壁、地面），通过捕获从隐藏目标反射并再次经由中介面散射回来的微弱光信号，来“绕弯”看清拐角后的景物。在众多技术路径中，基于时间门控SPAD（单光子雪崩二极管）阵列的成像方法，因其具有凝视成像、高时间分辨率、设备集成度高等优势，被视为走向实用化的关键技术之一。图1：基于 TG-SPAD 阵列的非视域成像原理示意图一、 技术核心：为何要研究中介面的散射特性？在非视域成像系统中，中介面并非理想的镜子。当光子携带隐藏目标的信息返回中介面时 ...
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