中文：衬盘；英文：substrate disc

高分辨率微型FTIR光谱仪由大型线性行程MEMS弹出式反射镜实现1．光学质量为了在中远红外光谱区域达到所需的反射率，静止和移动的镜子都需要涂上大量的金属，特别是金(Au)。过去，在氢氟酸(HF)中释放之前和之后，确定了典型晶圆级镜面金属化的两个主要技术挑战:(1)由于与必要的粘附促进剂相关的额外残余应力，镜面曲率大幅增加;(2)电子电偶腐蚀，在HF水中，金和多晶硅之间的电极电位差导致多晶硅镜面优先腐蚀，从而产生显著的结构不稳定和晶粒结构扩大。图1为了应对这些挑战，ChemPen™开发了一种可替代的释放后金属化技术，该技术消除了高压粘附层的使用，进一步为电子电偶腐蚀提供了基本解决方案。使用定制的 ...

Moku:Lab应用于双光频梳锁定实现高效精准测距光学频率梳（OFC）已经成为精确测量频率和距离的重要工具，已经在LiDAR、微纳器件的3D表面轮廓和引力波探测等领域被广泛应用。典型的OFC测量涉及许多的飞行时间检测，它通过检测激光脉冲从物体反射并返回探测器（通常是光学干涉仪）所需的时间来测定到物体或表面的距离。虽然测量概念很简单，但要同时精确且快速地完成测量极具挑战，通常需要牺牲其中一项。近期，中科院西安光学精密机械研究所(XIOPM)和华中科技大学(HUST)的研究人员开发了一种新型精密测距方法，使用两个光学频率梳来达到测量精度和测量速度的平衡。在该项目中，Moku:Lab— 基于FPGA ...

光刻胶测量概述MProbe™ Vis MSP用于小点测量。在本文中，我们将讨论PR的几种不同应用:1.玻璃基板上的薄PR(主CD/DVD应用)2.蓝宝石晶圆上薄PMMA3.硅上PR(微斑)4.硅片上PR(毯式硅片)5.铜板PR(印制板)一、玻璃基板上的薄PR此应用程序用于主CD/DVD和其他重新编码应用程序。用MicropositS1800系列(Shipley)自旋涂覆玻璃盘。PR的柯西系数由厂家提供。而PR在随厚度直接测量的500nm~600nm范围内吸收较小。PR的光学常数采用CauchyK模型表示，其中仅测量吸收(k)部分，而n系数是固定的。图1 PR的光学常数，k为实测，n由厂家提供。 ...

拉曼探测技术分类与发展1. pmt和mcpS在20世纪40年代，pmt首次被用作拉曼实验的光敏弱光探测器。门控只能通过外部触发脉冲来实现，在20世纪60年代，pmt被用于门控受激光散射识别，为未来的TG拉曼探测器铺平了道路。后来的mcp使热重测量达到飞秒范围。在这种检测布置中，使用微通道板将图像增强器置于光电二极管阵列的前面。图像增强器的线性问题限制了它们与热重测量装置相结合的适用性。通过强化光电二极管阵列可以进一步提高灵敏度。原则上，mcp是真空管组件中的电子倍增器，它将入射电荷倍增到二次发射。由于有许多通道允许空间分辨率，mcp可用于解决时间延迟。它们还能够在MHz区域快速切换，使其适用于 ...

超宽带(3.3 - 12.5µm)单栈量子级联增益介质自二十多年前发明以来，QC激光器由于其紧凑性，稳健性和高性能(高输出功率，可调性和波长可定制性)而成为许多实际应用中备受追捧的中红外源。然而，有光谱应用(如生物学)，其中分子的吸收特征是广泛的，因此需要单一激光源的宽波长可调性。为了实现广泛的可调性，已经报道了各种方法，如所谓的“绑定到连续体”和“连续到连续体”设计，以及多个增益介质的堆叠。在这里，我们通过设计一种单堆栈增益介质来实现宽增益发射，该介质结合了QC激光器中两个相对较新的、不同的带结构设计概念:注入器基态与上激光态的超强耦合和超短注入器区域。图1我们的活动岩心设计(图1(a))采 ...

高功率螺旋腔量子级联超发光发射器量子级联(QC)器件在中红外中表现出潜在的超发光光源。然而，由于子带间跃迁的非辐射载流子寿命短，导致自发辐射较低，因此在QC器件中实现毫瓦的超发光(SL)功率是具有挑战性的。在2 mm长的法布里-珀罗腔中用湿蚀刻面代替一个镜面，在10 K下的峰值光功率为25 μW。光功率不足阻碍了这种光源的实际应用。虽然存在强大的宽带QC激光器，但激光引起的长相干长度会降低OCT系统中的图像分辨率。zui近，通过采用带有Si3N4抗反射涂层的圆形湿接后面和17°倾斜劈裂前面，在250 K下实现了~10 mW的峰值SL功率。然而，这些发射器的长度为8毫米，这限制了这些设备的紧凑性 ...

用于高带宽WDM-PONs的1.55um VCSEL阵列(1)-设备结构垂直腔面发射激光器（VCSELs）已被证明是波分复用无源光网络（wdm-pon）中具有成本效益的光源，近年来制造技术稳步发展，特别是单片一维（1-D）和二维阵列制造。爆炸性的带宽需求，特别是在上传和下载速度方面，将需要在接入网中采用WDM技术。由于电信系统的主要问题是连通性，因此未来的系统需要对称的上下游带宽。为了在未来实现有吸引力的市场条件，每带宽的成本必须大幅降低。在这里，我们描述并描述了一种一维VCSELs阵列结构，该结构可以在不进一步投资的情况下实现每个客户带宽的升级（从2.5Gb/s到潜在的80Gb/s甚至120 ...

Phasics波前传感器的应用案例（一）SID4在超快超强激光的前沿应用Phasics的波前传感器凭借其卓越的精度和广泛的适用性，已成为超快、超强激光设施中的关键诊断工具。以下是一些近期应用实例，展示了SID4系列波前传感器在国际前沿科研中的应用场景及其对高能激光系统优化的贡献：一、SID4在超快超强激光的前沿应用1.1对研究过程中因热效应引起的波前畸变分析-中国科学院上海光学精密机械研究所和中国科学院大学材料科学与光电工程中心图1 多程激光放大系统中国科学院上海光学精密机械研究所和中国科学院大学材料科学与光电工程中心的研发团队选择了Phasics SID4波前传感器，对研究过程中因热效应引起 ...

宽可调谐1550纳米MEMSVCSEL的10gb/s直接调制（2）-Mems容器结构与加工1.半VCSEL结构BCB MEMS可调谐VCSEL的示意图如图1所示。它主要由两部分组成：半VCSEL和MEMS DBR。半VCSEL主要由一个基于AlInGaAs的有源区、两个InP热和电流扩散层、一个埋地隧道结（BTJ）和一个固定底部DBR反射镜组成。由两个重掺杂p-AlGaInAs和n-GaInAs层组成的圆形BTJ限制了结构中心的电流，以保证有源区域具有足够高的电流密度。为了实现高斯基模的高放大，增益曲线和光模之间的重叠必须是z佳的。这只能在束腰符合BTJ半径的情况下实现。因此，由于其不同的横向 ...

1.55μmVCSEL与增强调制带宽和温度范围-设备结构内部带宽超过20GHz的垂直腔面发射激光器（VCSELs）在近红外光谱中发射约850nm。然而，这个波段只能用于短距离；因此，长波长高速VCSELs的开发一直在不断努力，并不断改进。特别是具有埋地隧道结（BTJ）的长波VCSELs已显示出良好的效果和创纪录的高调制带宽。在讨论100-G以太网标准时，建议采用8×12.5Gb/s、6×17Gb/s和4×25Gb/s的并行方法，由于成本问题，更倾向于采用更高的串行带宽。7~8GHz的调制带宽足以满足10Gb/s的数据传输；因此，10GHz、13GHz和19GHz的激光带宽需要实现更高的数据速率 ...