激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
LIBS、超景深显微LIBS,支持定制。元素测量范围:原子序数Z≥1,包括C,H,O等有机元素,以及N,Li,Be,B等轻元素,以及几乎所有金属、非金属元素。应用领域包括:矿石品质在线分析、冶金行业在线成分分析、珠宝/宝石检测、煤炭分析、土壤重金属分析、水泥品质分析、玻璃中硼元素分析、分层样本解析、铝材检测、药物成分均匀性分布、气溶胶检测。1.一体式LIBS 激光诱导光谱仪由激光器、高分辨率光谱仪、LIBS光路收集探头、XYZ样品窗、触发延迟控制器等组成,可扩展,非常适合科研、LIBS光学应用实验、光学应用中心等用户,可以灵活选配激光器和光谱仪。双镜头配置,双相机图像控制,实现微区和宏观区域样 ...
用于时域漫射光学方法的超连续激光器摘要:在本文中,我们介绍了时域漫射技术,并重点介绍了一种TD-DCS装置设置的实验搭建和测试方法。由这种相互作用产生的两种众所周知的现象是吸收和散射。吸收包括光子能量的耗散;而散射指的是光被细胞以随机方向分散在组织内部。光源发射的光子在组织内部衰减,光子路径长度是深度灵敏度的直接指标。在这个范围内,漫射光学作为一种定量的方法来解释光子在组织内部的迁移。研究血液组织的几种常用技术包括传统的漫射光学光谱技术(DOS)和相对较新的漫射相关光谱技术(DCS)。在漫射光谱学中,也称为近红外光谱学,光子在特定波长的衰减被用作血容量和氧合的指标。而在漫射相关光谱(DCS)中 ...
Metrolab MFC系列 —— 磁场计量的“原子钟摘要:本文以“精准是医学物理的第1道防线”为核心,详细阐述了该产品基于脉冲波核磁共振(Pulsed Wave NMR)技术的“绝对测量”原理,强调其作为磁场计量“原子钟”的权威性。内容涵盖了±5 ppm的绝对精度、0.01 ppm的超高分辨率及对高梯度场的容忍度等核心优势,并介绍了其在MRI质控、高场NMR波谱仪及计量院等领域的应用场景与硬核参数,zui后展示了Metrolab的技术实力及中国合作伙伴星朗浩宇的服务能力。在医学成像的微观shi界里,0.1 ppm(百万分之一)的偏差,可能意味着宏观诊断的失之毫厘。当我们谈论核磁共振成像(MR ...
电工钢高端化的 “必备神器”!星朗 Matesy 磁场相机,让检测从 “盲猜” 变 “明察”电工钢作为新能源汽车、变压器的 “核心铁芯”,其磁性能直接决定设备效率与能耗,而磁场相机正是解锁电工钢高端化的关键 —— 上海星朗du家引入的 Matesy COMS-Magview 系列磁光成像(MOI)磁场相机,不仅让首钢智新 0.10mm 超薄电工钢实现稳定量产,更成为支撑比亚迪仰望 U9 飙出 472.41km/h 全qiu极速的 “隐形保障”!它能让肉眼不可见的磁畴、磁场 “显形”,还能精准测量磁通量,帮电工钢企业省成本、提效率、闯国际,彻底解决传统检测的糟心事!观研报告网数据显示,2025 ...
从0.1fA微弱电流到200V功率器件,P1800如何一机解决实验室所有IV测试?在2026年的今天,无论是上海张江的芯片实验室,还是松江的GaN产线,亦或是高校的二维材料研究组,我们都面临着一个共同的测试难题:器件越来越精密,信号越来越微弱,而测试设备却依然笨重、割裂。传统的测试流程往往是:电源+万用表+示波器+脉冲发生器……连线繁琐、数据不同步、噪声干扰大。有没有一款设备,能真正将“源”与“测”完美融合,既懂微纳电子的“轻柔”,又懂功率器件的“力量”?答案是肯定的。作为概伦电子(Primarius)的授权合作伙伴,上海昊量今天为您重磅推荐——P1800系列精密源测量单元(SMU)。这不仅是 ...
突破传统:基于高速高压固态开关的亚10ns高压脉冲前沿解决方案上升时间<10ns!高速固态开关高压脉冲解决方案取得关键突破在生物医疗、质谱分析、材料测试以及宽带隙半导体表征等精密应用中,高压脉冲的上升沿速度直接决定了系统的分辨率和性能极限。传统的火花隙或闸流管由于物理原理限制,虽然能起到高压开关的作用,但它们抖动大、寿命短以及高压波形不可控的缺点也无法令人忽视。昊量光电全新推出基于模块化高速固体开关及高压电源的高压脉冲前沿解决方案,在实际电路中可以稳定获得低于10ns的上升沿高压输出,为科研与工业用户提供全固态、长寿命、高重频的定制化方案。一. 为什么上升沿的陡峭度至关重要?在高压脉冲应 ...
宽谱可调谐光源技术全景:原理、选型与前沿应用指南1. 波长可调谐光源:驱动前沿科学与工业创新的核心引擎在光谱学、生物成像、半导体检测、量子技术等诸多前沿领域中,获取特定波长的激发光或探测光是实验成功的关键。传统的固定波长光源(如单一激光器或LED)往往难以满足多参数、多通道、高灵活性的测量需求。可调谐光源的出现,恰好解决了这一核心难题——它赋予研究人员前所未有的自由度,能够根据实际需要,连续或离散地选择输出波长,从而实现更灵活、更精确、更高效率的光学调控。根据波长调谐的实现方式,当前的可调谐光源主要分为三大技术路线:组合式(宽谱光源与滤波器件结合)、自调谐(光源本身具备波长调谐能力)以及波长切 ...
高光谱相机在塑料分选方面的应用每天,从早餐的外带咖啡杯到午后的矿泉水瓶,从快递包装到家居用品,塑料已无处不在。然而,这些被丢弃的塑料若混合处理,不仅浪费资源,更可能造成环境污染。高效、准确的塑料分选,成为资源再生的关键一步。今天,我们要介绍一项前沿技术——高光谱相机,它正以其“透视”般的能力,赋予机器识别不同塑料的“眼睛”,让分选变得又快又准。实验准备:本次实验我们采集的是五种不同材质的塑料,如图1所示,分别为1.PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯):常见于饮料瓶、食品容器,透明轻便,可回收制成纤维、新瓶。2.PP(聚丙烯):多用于餐盒、保鲜盒,耐热性强,是食品包装的常客。3.PS(聚苯乙烯):分为 ...
二维材料的表征-钙钛矿摘要:在本文中,我们简单介绍了2D材料,并重点研究了二维材料钙铁矿的表征实验光路及应用介绍。(2D)材料因其杰出的化学、电学和物理特性而受到越来越多的关注。二维材料是一种主要具有二维结构特征的物质,其厚度通常在原子或纳米尺度上。这些材料由于其降低的尺寸而表现出独特的性能,例如高表面积体积比,卓越的电子,光学和机械性能。二维材料的例子包括石墨烯、过渡金属二硫化物(TMDs)如二硫化钼、六方氮化硼(h-BN)和黑磷(磷烯)。zui近,许多研究小组已经发现了2D材料和有机-无机杂化钙钛矿材料在太阳能电池应用中的协同效应。有机-无机杂化钙钛矿作为太阳能吸收剂已经引起了大家的兴趣, ...
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