激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
无需制样的快速多元素检测——激光诱导击穿光谱（LIBS）方案LIBS(激光诱导击穿光谱)是将一束高能脉冲激光聚焦在样品表面，当激光辐照度超过样品的击穿阈值时，少量材料将被烧蚀和激发以产生等离子体。在激光脉冲结束时，等离子体迅速扩散并冷却。激光诱导等离子体内包含了电子、离子、原子、分子和微粒等，整体呈电中性。当激光脉冲结束后，等离子体中被激发的粒子会从高能级向低能级跃迁，并发射特征谱线。用光谱仪采集等离子体发射的特征谱线就会得到LIBS光谱图。通常我们认为等离子体中各种元素的比例与烧蚀样品的元素比例一致。通过分析特征谱线的强度，可以定量分析出样品中各种元素的含量。星朗浩宇提供一体台式LIBS、分 ...
薄膜测量的“卡脖子”难题，该用什么方案破解？摘要：本文针对半导体、光伏等领域的测不准、测不快痛点，详细阐述了该产品基于DOAP技术的“多波长”解决方案。内容涵盖了1.7毫秒极速测量、无移动部件设计及多层膜解析能力，并结合TOPCon电池、IC封装等2026年热门应用场景，展示了其在速度、精度与性价比上的优势，zui后介绍了美国Film Sense品牌与上海星朗浩宇代理服务商的合作关系。在这个万物皆“微纳”的时代，从手机芯片到新能源电池，其性能的优劣往往取决于那几纳米至几微米的薄膜层。作为深耕光学测量领域的专业服务商，星朗浩宇 经常被客户问到：在2026年的今天，面对复杂的工艺控制（Proces ...
P1800对标Keithley 2450？0.1fA极限精度+国产服务，上海顶尖实验室为何集体“换芯”？在张江科学城的纳米器件实验室里，我们曾长期依赖Keithley 2450进行基础测量。但在进行石墨烯量子点的输运特性测试时，Keithley 2450的本底噪声大到让曲线布满‘毛刺’，微弱的库仑 blockade 信号几乎无法辨识。直到引入概伦电子的P1800，单电子隧穿的微弱阶跃信号竟清晰呈现——那一刻我们意识到，这不仅是信噪比的胜利，更是国产高端测试仪器打破国际垄断的历史性时刻。” ——来自上海某顶尖半导体研究所技术总监的深度访谈2026年，随着第三代半导体、量子计算和二维材料研究进入深 ...
磁场界的“全息透视眼”！Metrolab HallinSight®磁场相机，重新定义2026测量新标准涡旋光束的传输特性摘要：本文以“磁场界的全息透视眼”为核心隐喻，详细阐述了该产品如何通过真三维阵列传感技术，解决传统单点测量在效率与维度上的痛点。内容涵盖了其在电机研发、电磁兼容及科研领域的具体应用，强调了其“真三维同步感知”、“无插值高速测量”及“微米级几何精度”的技术壁垒，并通过对比传统特斯拉计突出了其在数据可视化与动态捕捉方面的优势，zui后介绍了Metrolab的品牌背景与中国代理商星朗浩宇的服务承诺。告别单点盲测，瑞士黑科技让磁场分布“一览无余”在电机研发的攻坚时刻，您是否还在为气隙 ...
告别“黑盒”沉积：2026年，薄膜生长的每一秒都该被看见摘要：本文以“测量即定义”为核心理念，重点阐述了该产品在原位（In-situ）实时监测方面的技术优势，解决了传统薄膜测量中的“黑盒”痛点。内容涵盖了其无光纤全自足设计、1.7毫秒超快模式及FS-API接口，详细介绍了其在半导体封装、光伏新能源、硬质涂层及科研领域的具体应用，并列出了FS-4与FS-8的硬核参数，zui后展示了Film Sense的品牌实力及中国代理商上海星朗浩宇的本地化服务能力。在半导体前道工艺、新能源材料研发的实验室里，有一个令人头疼的悖论：我们拥有价值千万的沉积设备，却往往只能在工艺结束后，把样品拿出来放在显微镜下看“ ...
瑞士 precision 3MH4 数字特斯拉计：0.1% 绝对精度，重新定义磁场测量“新标尺”摘要：本文以“重新定义磁场测量新标尺”为核心，针对半导体、大科学装置及精密电机领域，详细阐述了该产品如何通过纯数字架构解决传统模拟仪器的温漂与噪声痛点。内容涵盖了0.1%绝对精度、亚毫米级空间分辨率及真三维数字传输等技术优势，并通过对比传统设备突出了其在弱磁测量、环境测试及动态监测中的卓越性能，zui后介绍了SENIS的品牌背景与中国代理商星朗浩宇的服务能力。告别模拟信号衰减，这才是科研级数字特斯拉计该有的样子在追求精度的磁学测量领域，微小的误差往往意味着巨大的偏差。对于上海及长三角地区的顶尖科研机 ...
钛宝石飞秒激光器波长不够用？ORIA扩展器一键覆盖340-4090nm，可按需灵活组合！一、钛宝石飞秒激光器：超快光学研究的基石钛宝石（Ti:Sapphire）飞秒激光器自上世纪80年代末问世以来，一直是超快光学领域核心的光源之一。其核心增益介质为掺钛的蓝宝石晶体（Ti³⁺:Al2O3），凭借近红外波段极宽的发射谱带（约650 nm至1100 nm），钛宝石激光器能够支持极窄的飞秒级脉冲输出，同时保持优异的光束质量。例如， Spectra-Physics公司的MAI TAI系列钛宝石飞秒激光器，可在680 nm至1080 nm的波长范围内实现调谐，输出脉冲宽度可压缩至100fs以内，重复频率通 ...
100,000 lux模拟阳光：Lightsource Flare Collimator车载相机强光测试方案下午五点，当你开车沿东西向回家，太阳正好落在前方视野里。你可以抬手遮一下，或者把遮阳板拉下来——而汽车的前视相机没有这个选项。阳光直接进入它的视场，在镜片之间反复反射，传感器局部饱和，车道线消失，前车的轮廓也糊在一片白光里。这就是车载相机在真实道路上遇到的常见光照场景之一，IEEE 2020-2024、IEC 62676及ISO 16505:2015等标准都关注到该问题，要求在受控的实验室条件下，以可重复的方式验证相机在强光下的表现。而这就需要一套可以模拟太阳的高亮度、准直、可调节的眩光 ...
全新发布｜Moku AI仪器生成器：让每一位工程师按需生成专属测试仪器现代工程系统日益趋向专业化与定制化，然而系统中使用的大部分测试测量设备在本质上仍属于通用型设备。传统测试测量仪器如示波器、频谱分析仪和波形发生器等，历经数十年发展，已具备了丰富的设置选项和标准测量功能；但这些功能完全由设备厂商掌控和定义，用户几乎无法根据自身需求定制。软件方面，MATLAB 和 Python 等软件环境虽然在离线数据后处理与分析方面提供了极大的灵活性，却无法满足许多原型设计及测试任务对硬件速度和确定性的要求。标准化的测试测量解决方案越来越无法满足一些专业需求，例如：用于通信实验的定制解调方案用于实验室装置的专 ...
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