激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
无需制样的快速多元素检测——激光诱导击穿光谱(LIBS)方案LIBS(激光诱导击穿光谱)是将一束高能脉冲激光聚焦在样品表面,当激光辐照度超过样品的击穿阈值时,少量材料将被烧蚀和激发以产生等离子体。在激光脉冲结束时,等离子体迅速扩散并冷却。激光诱导等离子体内包含了电子、离子、原子、分子和微粒等,整体呈电中性。当激光脉冲结束后,等离子体中被激发的粒子会从高能级向低能级跃迁,并发射特征谱线。用光谱仪采集等离子体发射的特征谱线就会得到LIBS光谱图。通常我们认为等离子体中各种元素的比例与烧蚀样品的元素比例一致。通过分析特征谱线的强度,可以定量分析出样品中各种元素的含量。星朗浩宇提供一体台式LIBS、分 ...
用于时域漫射光学方法的超连续激光器摘要:在本文中,我们介绍了时域漫射技术,并重点介绍了一种TD-DCS装置设置的实验搭建和测试方法。由这种相互作用产生的两种众所周知的现象是吸收和散射。吸收包括光子能量的耗散;而散射指的是光被细胞以随机方向分散在组织内部。光源发射的光子在组织内部衰减,光子路径长度是深度灵敏度的直接指标。在这个范围内,漫射光学作为一种定量的方法来解释光子在组织内部的迁移。研究血液组织的几种常用技术包括传统的漫射光学光谱技术(DOS)和相对较新的漫射相关光谱技术(DCS)。在漫射光谱学中,也称为近红外光谱学,光子在特定波长的衰减被用作血容量和氧合的指标。而在漫射相关光谱(DCS)中 ...
Metrolab MFC系列 —— 磁场计量的“原子钟摘要:本文以“精准是医学物理的第1道防线”为核心,详细阐述了该产品基于脉冲波核磁共振(Pulsed Wave NMR)技术的“绝对测量”原理,强调其作为磁场计量“原子钟”的权威性。内容涵盖了±5 ppm的绝对精度、0.01 ppm的超高分辨率及对高梯度场的容忍度等核心优势,并介绍了其在MRI质控、高场NMR波谱仪及计量院等领域的应用场景与硬核参数,zui后展示了Metrolab的技术实力及中国合作伙伴星朗浩宇的服务能力。在医学成像的微观shi界里,0.1 ppm(百万分之一)的偏差,可能意味着宏观诊断的失之毫厘。当我们谈论核磁共振成像(MR ...
拉曼技术速通攻略|5 分钟掌握十二大核心研究手段(下)拉曼光谱技术凭借高灵敏度、无损检测优势,已成为材料科学、生物医药、环境监测等领域的 “核心分析工具”,但 SERS、SRS 等专业术语常让新手望而却步。作为深耕光谱技术多年的行业标杆,昊量讲堂整合自身技术沉淀与实战经验,推出拉曼技术速通攻略 —— 用通俗语言拆解核心术语帮助新手快速掌握实用研究手段。继拉曼技术快通攻略上之后,我们推出了下继续介绍拉曼相关的核心研究手段。一.位移激发拉曼差谱(SERDS):荧光背景的 “精准减法降噪术”SERDS 技术的核心是用 “光谱减法” 破解荧光干扰难题,完美弥补共振拉曼等技术的荧光背景痛点。其原理通俗来 ...
Moku 一体化测试方案:从 Allan 标准差到系统稳定性分析引言在上一篇文章《Allan 方差理论和测量方法》中,我们系统介绍了 Allan 方差(Allan deviation)的理论基础,以及它在分析系统稳定性中的重要作用。在实际测量中,如何更高效测量 Allan 标准差?是选择实时观测,还是导出数据再分析?是用于快速调试,还是进一步完成深度分析与建模?在本文中,我们将介绍一种更为高效且灵活的方法:通过 Moku 相位表,即可实现两种 Allan 标准差分析方式,帮助用户在不同测试场景下快速完成稳定性评估。Moku:Delta 配备8通道输入/输出,2 GHz /6 GHz输入带宽,内 ...
【硬核技术突破】芬兰 Timegate 时间门控拉曼探测器:攻克荧光干扰 + 深度探测难题,重塑 3D 化学成像新标杆拉曼光谱作为分子级 “化学指纹” 核心识别技术,凭借无损、快速、精准的成分分析能力,已成为材料科学、生物医疗、先jin制造、储能研发、安全检测等领域不可或缺的表征工具。但在实际应用中,传统拉曼探测器始终存在两大难以突破的行业瓶颈:强荧光背景干扰导致信号失真、仅能实现表面微米级浅层分析,无法完成多层介质、深层样品的三维化学成像。这一技术短板,长期制约着高端科研与工业检测的发展。如今,源自芬兰奥卢大学 Circuits and Systems 研究团队、获芬兰科学院重点资助、经IE ...
锁模激光器:从原理到产品,一篇搞懂什么是锁模?想象一下这样的场景:一个音乐厅里有一百位歌手,每个人都在自顾自地唱着自己喜欢的歌,节拍、音调完全不同。这时候你听到的,只会是一片嘈杂的嗡嗡声,强度大致恒定——这就是普通连续激光器的工作状态。现在,如果给这群歌手来一位指挥,让他们全部按照同一个节拍、同一个音高、同一时刻开口唱歌,会发生什么?当一百个声音完美同步时,会在那一瞬间爆发出震耳欲聋的声浪,然后在下一个瞬间又全部安静下来。锁模激光器干的就是这件事:把激光器里原本“各唱各的”的多个频率模式,强行“指挥”到同一个步调上,让它们团结起来,周期性地产生一个巨大的能量峰值,从而输出超短激光脉冲。这个“指 ...
啁啾体布拉格光栅(CBG):超精细量子位控制技术中的新方案随着量子计算、量子模拟和精密测量等领域的快速发展,高保真度的量子位操作成为实现大规模量子信息处理的关键。超精细原子态作为量子比特的编码载体,因其长相干时间和可控性而备受青睐。然而,传统的量子位驱动方法(如微波直接驱动或双激光Raman过渡)在扩展性和稳定性上面临挑战。近年来,啁啾体布拉格光栅(Chirped Bragg Grating, CBG)作为一种新型色散光学元件,通过高效地将相位调制转换为幅度调制,为超精细量子位的Raman驱动提供了革命性的解决方案。本文基于前沿研究论文(文章1-《Dispersive optical syst ...
锁相相机在单粒子超快光谱上的应用前言锁相相机在单粒子超快光谱研究中展现出显著优势,主要包括以下方面:1.光谱检测的多路复用能力:锁相相机的像素阵列设计使其能够在单次测量中同步采集多个波长的瞬态信号,无需像单元件光电二极管那样逐波长进行连续测量。2.同步捕捉多动态过程:凭借其光谱检测的多路复用能力,锁相相机能够同步捕捉单个纳米颗粒在超快激光激发后的多种动态过程。3.高灵敏度检测:虽然锁相相机的灵敏度略低于单元件光电二极管,但已足够记录高质量的光谱分辨泵浦-探测测量数据。4.实现时间分辨瞬态光谱的单次测量:将锁相相机集成到时间分辨瞬态透射显微镜中,实现了对单个金纳米盘瞬态透射光谱的单次测量。这种单 ...
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