中文：硅胶；英文：LED silica gel

面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中，紫外（UV）及深紫外（DUV）光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进，紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段，每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径（NA）极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线，决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界：瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据（Rayleigh criterion）严格定义：CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长，NA 代表数值孔径，这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...

水凝胶薄膜厚度测量MProbe VisHC系统提供强大且易于使用的解决方案，允许直接在产品上测量层。手动探头MP-FLVis通过柔性光纤电缆连接到系统。探头符合样品的曲率，可以方便地进行精确测量。它用于测量大于1英寸(25mm)的零件。较小的测点(<200µm)减小了后反射率的影响。MProbe VisHC软件对HC膜采用厚膜算法，对防雾涂层采用曲线拟合算法。算法可以很容易地调整/训练，以测量甚至具挑战性的样本。测量过程是容易的，没有经验的操作员使用和理解。水凝胶薄膜有许多应用。它是一种有趣的应用是生物传感器，其中水凝胶膜厚度的控制很重要，例如基于荧光的水凝胶传感器。在其他传感器中，例如 ...

BLOCK的MEMS迈克尔逊干涉仪经过三年的实验和详细分析，Block MEMS确定了微型迈克尔逊FTIR传统结构中的重大成本挑战，并得出结论，只有通过迈克尔逊核心的整体结构，而无需外部手工或校准，才能合理地实现具有成本效益的检测设备。迈克尔逊干涉仪是一种复杂的机械装置，对其元件之间的光学关系有严格的限制。目前，很少有方法能够以可重复和可靠的方式实现所需的干涉公差，其中包括光刻。首先考虑的是光谱分辨率要求。在红外和拉曼光谱方面的丰富经验以及有毒物质的检测算法使得在STP环境下对这些相对较重的分子进行实际的工程选择。在迈克尔逊干涉仪中，随着运动镜的运动范围增大，分辨率也随之提高。考虑到所需的光谱 ...

高分辨率微型FTIR光谱仪由大型线性行程MEMS弹出式反射镜实现1．光学质量为了在中远红外光谱区域达到所需的反射率，静止和移动的镜子都需要涂上大量的金属，特别是金(Au)。过去，在氢氟酸(HF)中释放之前和之后，确定了典型晶圆级镜面金属化的两个主要技术挑战:(1)由于与必要的粘附促进剂相关的额外残余应力，镜面曲率大幅增加;(2)电子电偶腐蚀，在HF水中，金和多晶硅之间的电极电位差导致多晶硅镜面优先腐蚀，从而产生显著的结构不稳定和晶粒结构扩大。图1为了应对这些挑战，ChemPen™开发了一种可替代的释放后金属化技术，该技术消除了高压粘附层的使用，进一步为电子电偶腐蚀提供了基本解决方案。使用定制的 ...

硅波导上使用锗的蛋白质聚集体的中红外吸收光谱电磁波谱2 ~ 25µm光谱范围对应的MIR区域与分子振动能重合。当MIR光通过样品时，分子间键通过吸收与基态和激发态之差相同的能量而被激发到更高的振动态。这使得在该区域使用指纹吸收光谱检测未知分析物以检测特定键。傅里叶变换红外光谱(FTIR)通常用于生物化学物质的分析，以确定分析信息。但是，由于MIR中吸水性强，通常不能使用长度超过10-20µm的比皿，较窄的比皿容易被真实样品堵塞。利用衰减全反射(ATR)光谱与FTIR相结合的方法克服了这一问题。然而，传统ATR元件中的离散反射次数受到严重限制，而使用光波导(本质上是更薄的ATR元件)大大增加了单 ...

利用波长可调量子级联激光器对痕量化学物质表面进行高速和大面积扫描如图1所示，波长可调的MIR激光器照亮感兴趣的目标，反射光被相机捕获。随着激光波长的调整，相机同步捕捉反射光的图像。对原始超立方体进行处理以校正背景热辐射和照明激光束的强度模式，以生成代表目标表面反射率的超立方体。然后对反射超立方体进行分析，并与光谱特征参考库进行比较，以生成检测图，该检测图可以识别目标表面上的任何化学污染并绘制空间图。如图所示，也可以检测到可能存在于光束路径中的气体的存在。图1图2外腔量子级联激光器(ec - qcl)用于对目标的照明。这些都是基于Block Engineering的Mini-QCL™，如图2所示 ...

等离子体电光调制器研究与应用文献昊量光电新推出基于表面等离子体激元（SPP）和硅光子集成技术的高速等离子体电光调制器，高带宽可达145GHz，可被广泛用于通信，量子，测试测量等领域，不仅提供带宽70GHz-145GHz的环形谐振调制器（RRM），马赫增德尔调制器（MZM），同相正交调制器（IQM）封装调制器模块及芯片，还可以根据客户需求提供定制化产品。以下是基于等离子体激元及硅光子封装技术开发的高速等离子体电光调制器的相关研究论文及应用文献介绍。1.带宽超过100GHz，等离子体损耗减少的低温环境下的等离子体调制器（Plasmonic Modulators in Cryogenic Envir ...

中阶梯光栅光谱仪及其应用1.中阶梯光栅光谱仪是什么？许多实际的光谱应用都希望在非常宽的波长范围内获得高分辨率光谱。光谱测量的保真度随着分辨率的增加而增加，直到光谱特征被完全分辨，不仅要在光谱线和背景之间产生很高的对比度，同时，也要记录全光谱提供了源特性的完整图像。然而，以高分辨率记录宽带光谱需要许多独立的光电探测器，不过半导体芯片中像素元件应运而生。例如，在500 nm波长的分辨率为R= 50,000时，单个分辨率元件只能捕获λ/R=10pm的波长范围。采样理论表明，至少需要两个像素来正确采样一个分辨率元素，所以探测器的每个像素只覆盖5pm的光谱。一个2000像素宽的探测器在如此高的分辨率下只 ...

光刻胶测量概述MProbe™ Vis MSP用于小点测量。在本文中，我们将讨论PR的几种不同应用:1.玻璃基板上的薄PR(主CD/DVD应用)2.蓝宝石晶圆上薄PMMA3.硅上PR(微斑)4.硅片上PR(毯式硅片)5.铜板PR(印制板)一、玻璃基板上的薄PR此应用程序用于主CD/DVD和其他重新编码应用程序。用MicropositS1800系列(Shipley)自旋涂覆玻璃盘。PR的柯西系数由厂家提供。而PR在随厚度直接测量的500nm~600nm范围内吸收较小。PR的光学常数采用CauchyK模型表示，其中仅测量吸收(k)部分，而n系数是固定的。图1 PR的光学常数，k为实测，n由厂家提供。 ...

石英注射器厚度测量可预填充的玻璃注射器盒由制造商清洗，硅化，消毒和包装。硅化的注射器桶是非常重要的-它作为润滑剂，使柱塞滑动顺利。它还提供疏水层，防止药物与玻璃表面相互作用。硅化不足和硅化过度都会引起问题。在现代生产中，大多数硅化都是使用“烘烤”工艺，即先喷洒硅乳液，然后再烘烤以形成永久层。硅层厚度和均匀性的生产控制是产品质量控制的重要内容。由于桶的高曲率，测量是用一个小点(20um到40um)完成的。图1a 注射器盒放置在MProbeVis-MSP表上。显示了测量点的位置(“round measure”是旋转注射器时测量的点)图1b 注射器筒沿7个不同点测得的反射光谱图2 测量结果的实例厚度 ...