射率的分布式布拉格反射器（DBR），与需要30-40对反射镜的半导体DBR相比，DBR要薄得多。这使有效腔长度减少了50%以上，并大大降低了光子寿命，这一效应直接增加了器件的带宽InPBTJVCSEL概念包括一个特定的处理步骤，其中大部分半导体材料被蚀刻掉，为晶圆上的每个激光器产生一个定义的半导体平台结构。这个制造步骤产生的空隙随后被苯并环丁烯（BCB）填充，这是一种聚合物材料，被旋转到晶圆上并在高温下固化。被测设计（DUT）的平台直径已进一步优化，以保持寄生到Min。如图1(a)所示，在室温下，光子寿命的降低和寄生率的降低都可以极大地提高调制带宽，Max可达20GHz。在更高的温度下，例如6 ...
lF3分布式布拉格反射器（DBR）作为上下反射镜组成。高折射率和低折射率四分之一波介电层之间的折射率对比导致光场进入介电镜的有效穿透长度比半导体层减少。减小的腔长提高了弛豫共振频率，为本实验中使用的设备提供了17GHz的调制带宽。这两个器件都由五个压缩应变的AlGaInAs量子阱组成，这些量子阱嵌入在低氮掺杂的InP层和高磷掺杂的AlInAs包层之间。电流约束是通过圆形p+-AlGaInAs/n+-GaInAs埋隧道结（BTJ）实现的，而BTJ区域外的电流阻塞是通过反向偏置n+p结实现的。对于高速性能，芯片和接触垫寄生的减少是通过钝化与苯并环丁烯（BCB）来实现的。图1a)SC-VCSEL示意 ...
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