面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中，紫外（UV）及深紫外（DUV）光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进，紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段，每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径（NA）极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线，决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界：瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据（Rayleigh criterion）严格定义：CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长，NA 代表数值孔径，这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
一张照片，全幅清晰！看AI超景深显微镜如何征服“凹凸不平”的考古文物三维微观结构近年来，超景深显微镜在科技考古与文物保护领域的应用越来越广泛，下文给出几个使用案例。一、为什么观察文物需要超景深显微镜？普通光学显微镜景深小，适合观察“薄而平”的样本，而文物往往“厚、大、凹凸不平、脆弱”，需要景深大的超景深3D数码显微镜才能在同一时间看清不同高度的表面。超景深显微镜的原理是：通过成像系统在z轴扫描、CCD成像，捕捉样品上每个进入焦点的不同区域的图像，再利用3D合成重建算法，获得高分辨率，大景深的全幅对焦的三维图像。对于面积大的样品，可进行图像2D拼接和3D拼接，这样就能在显示器上清晰观察到放大的样 ...
空间光调制器（SLM）在中性原子量子计算中的应用一、引言量子计算利用量子叠加、纠缠与干涉特性，在特定问题上具备超越经典计算机的算力优势。当前主流技术路线包括超导、离子阱、中性原子、光量子等，其中中性原子系统近年实现突破性进展。中性原子量子比特天然全同、室温长相干（秒级）、无布线约束、可动态排布二维/三维阵列，完美契合大规模量子计算对高保真度、高扩展性、低串扰的核心需求。图 1： 中性原子量子计算系统二、中性原子体系与核心原理2.1 主流原子选择2.1.1铷 - 87（⁸⁷Rb，zui主流）能级简单、冷却 / 操控技术成熟、成本低。超精细基态相干时间秒级，适合长时量子存储。2.1.2 铯 - 1 ...
从“弯曲的桌面”到“亚厘米精度”：一篇带你读懂SPAD阵列激光雷达的误差与补偿2025年4月，中国计量大学的研究团队系统地分析时间门控SPAD阵列激光雷达的两大核心误差源，并提出了可量化的补偿方法。实验结果令人印象深刻：补偿后误差降低超过60%，深度分辨率优于1厘米。下面，我们就来拆解其中的技术细节。一、时间门控SPAD激光雷达的工作原理在深入误差分析之前，先快速理解这个系统是怎么工作的。与传统TCSPC（时间相关单光子计数）技术不同，时间门控SPAD阵列不逐点累积光子直方图，而是通过时间门来“切片”。每个时间门是一个固定宽度的时间窗口，比如5纳秒。相机在连续的门控周期中依次打开这些窗口，每个 ...
高精度实验室气相色谱仪（GC）——高精度、高通量、强拓展性、AI智能易用昊量光电推出新一代中/高端台式气相色谱仪（GC）。具有超高灵敏度（自有技术设计火焰离子化检测器实现更高分辨率；基于自适应降噪算法，有效降低噪音和基线漂移）、超高稳定性（超高的保留时间精密度，实现可靠的色谱峰鉴定；极低的交叉污染，确保获得超高的数据质量）、超高分析效率（ji致的温度控制系统；“高通量”样本分析模式；支持单/双塔配置）。痕量分析全自研火焰离子化检测器（FID）的精密硬件结构及算法控制，实现基线噪音与漂移远小于国标规定值。FIDzui低检出限小于1.1 pg C/s（正十三烷），不惧低浓度成分检测。精确的压力/流 ...
激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
双光子显微成像光源 —— SPARK LASERS飞秒激光器如何助力 Mini2P 微型双光子显微镜？SPARK LASERS 如何助力 Mini2P 微型双光子显微镜？1. 什么是 Mini2P？Mini2P 是一款微型双光子显微镜，专为在自由活动小鼠中实现高分辨率、高速钙成像而设计。其核心目标是在不干扰动物自然行为的前提下，对多种行为状态下的神经活动进行稳定、高质量的动态观测。与传统台式双光子显微镜（通常将动物固定，限制其运动）不同，Mini2P 极轻巧——整机重量不足 3 克，可轻松佩戴于小鼠头部，使其自由探索环境。这种“无束缚”成像对于揭示真实行为背后的神经机制至关重要。2. 当前面临 ...
TiePie 示波器多应用介绍——电、热、力、通讯信号探测一、电阻与接触测量使用万用表测电阻，只能测出某一瞬间值，有很多场景下静态的测量很难得到正确的数据，需要进行连续测量，例如：电位器在某个位置突然断路，插头在振动下间歇性断路，线束在弯折过程中接触时断时续，热敏电阻在温度变化过程中的阻值跳变。TiePie无线示波器可以持续的测量电阻，并绘制时间-阻值曲线。操作也非常简单，只需用测量线先短接做一次基准测量，在 Gain / Offset 模块里用 Neutralize 把线阻抵消掉，然后就可以开始测量，实现边操作被测件、边观察电阻波形。对连接器做振动或温度循环试验时，接触电阻是否在某个工况下突 ...
MokuOS 4.1新增仪器功能：高速信号采集记录回放仪全新仪器功能：高速信号采集记录回放仪MokuOS 4.1发布，新增仪器功能高速信号采集记录回放仪（Gigabit Streamer）,支持使用Moku:Delta的SFP端口，实现信号实时高速捕获与回放、高达5 Gbps双向数据流传输，带来更高数据处理通量。这为 AI/ML 训练、GNSS 的 L 波段直接注入测试以及射频频谱实时监测等应用带来更灵活高效的解决方案。高速信号采集记录回放仪的主要功能有：双通道连续流式传输支持 2 通道并行流式传输数据流速率：每个方向zui高 5 Gbit/s，适合高速连续采集和回放*全速率数据采集记录回放支 ...
紧凑型频率梳稳定器介绍昊量光电推出了一款性价比非常高的紧凑型频率梳稳定器，其中采用了MENHIR-1550锁模激光器与CombOffsetStabilization Module（COSMO），成功推出了一种简单经济的方案，用于稳定光频梳（OFC）的载波包络偏移频率（fCEO）。该集成解决方案采用现成组件，结合数字锁相电子设备（Comb-LockBox，CLB）和开源控制软件，仅需简单配置即可实现快速可靠的相位相干锁定，操作复杂度极低。与MENHIR-1550等频率梳激光器类似，这类设备能生成光谱学、时钟和计量学领域至关重要的精密光谱线。但传统稳定方案往往需要复杂昂贵的设备配置。我们的解决方案 ...
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