激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
无需制样的快速多元素检测——激光诱导击穿光谱(LIBS)方案LIBS(激光诱导击穿光谱)是将一束高能脉冲激光聚焦在样品表面,当激光辐照度超过样品的击穿阈值时,少量材料将被烧蚀和激发以产生等离子体。在激光脉冲结束时,等离子体迅速扩散并冷却。激光诱导等离子体内包含了电子、离子、原子、分子和微粒等,整体呈电中性。当激光脉冲结束后,等离子体中被激发的粒子会从高能级向低能级跃迁,并发射特征谱线。用光谱仪采集等离子体发射的特征谱线就会得到LIBS光谱图。通常我们认为等离子体中各种元素的比例与烧蚀样品的元素比例一致。通过分析特征谱线的强度,可以定量分析出样品中各种元素的含量。星朗浩宇提供一体台式LIBS、分 ...
用于时域漫射光学方法的超连续激光器摘要:在本文中,我们介绍了时域漫射技术,并重点介绍了一种TD-DCS装置设置的实验搭建和测试方法。由这种相互作用产生的两种众所周知的现象是吸收和散射。吸收包括光子能量的耗散;而散射指的是光被细胞以随机方向分散在组织内部。光源发射的光子在组织内部衰减,光子路径长度是深度灵敏度的直接指标。在这个范围内,漫射光学作为一种定量的方法来解释光子在组织内部的迁移。研究血液组织的几种常用技术包括传统的漫射光学光谱技术(DOS)和相对较新的漫射相关光谱技术(DCS)。在漫射光谱学中,也称为近红外光谱学,光子在特定波长的衰减被用作血容量和氧合的指标。而在漫射相关光谱(DCS)中 ...
Metrolab MFC系列 —— 磁场计量的“原子钟摘要:本文以“精准是医学物理的第1道防线”为核心,详细阐述了该产品基于脉冲波核磁共振(Pulsed Wave NMR)技术的“绝对测量”原理,强调其作为磁场计量“原子钟”的权威性。内容涵盖了±5 ppm的绝对精度、0.01 ppm的超高分辨率及对高梯度场的容忍度等核心优势,并介绍了其在MRI质控、高场NMR波谱仪及计量院等领域的应用场景与硬核参数,zui后展示了Metrolab的技术实力及中国合作伙伴星朗浩宇的服务能力。在医学成像的微观shi界里,0.1 ppm(百万分之一)的偏差,可能意味着宏观诊断的失之毫厘。当我们谈论核磁共振成像(MR ...
电工钢高端化的 “必备神器”!星朗 Matesy 磁场相机,让检测从 “盲猜” 变 “明察”电工钢作为新能源汽车、变压器的 “核心铁芯”,其磁性能直接决定设备效率与能耗,而磁场相机正是解锁电工钢高端化的关键 —— 上海星朗du家引入的 Matesy COMS-Magview 系列磁光成像(MOI)磁场相机,不仅让首钢智新 0.10mm 超薄电工钢实现稳定量产,更成为支撑比亚迪仰望 U9 飙出 472.41km/h 全qiu极速的 “隐形保障”!它能让肉眼不可见的磁畴、磁场 “显形”,还能精准测量磁通量,帮电工钢企业省成本、提效率、闯国际,彻底解决传统检测的糟心事!观研报告网数据显示,2025 ...
面向不同波段与高NA的紫外光学系统表征方法在半导体微纳加工与高端光刻系统中,紫外(UV)及深紫外(DUV)光学系统构成了工艺节点的物理基石。随着制程技术的演进,紫外光谱被精细地切割为多个独立的工作波段,每一个波段都对应着特定的光源形态、数值孔径(NA)极限以及成像架构。这种高度分化的技术路线,决定了光学表征方法必须具备极强的场景依赖性与针对性。一. 物理边界:瑞利判据与k₁因子的博弈光刻系统本质上是一个受衍射限制的投影成像系统。其分辨能力由瑞利判据(Rayleigh criterion)严格定义:CD = k1 · λ / NA其中λ代表波长,NA 代表数值孔径,这里的NA指晶圆侧在浸没介质中 ...
提高腔增强吸收光谱(CEAS)的灵敏度摘要:在本文中,我们介绍了腔增强吸收光谱(CEAS)技术,并重点介绍了一种典型的CEAS设置的实验搭建和测试方法。腔增强吸收光谱(CEAS)是一种专门的吸收光谱技术,它已经彻底改变了各个科学领域的材料分析。该方法具有灵敏度高、准确度高的特点,是各种应用的宝贵工具。CEAS在环境监测中有突出的应用,可以检测极低水平的微量气体。它能够探测微小的气体浓度,甚至是十亿分之一(ppb)范围内的气体浓度,这对于监测和了解气候变化以及识别空气污染物至关重要。此外,CEAS已成功地应用于化学和生物化学过程的研究,为化学反应动力学和工业过程的优化提供了有价值的信息。它也被证 ...
光伏清洁新革命!DLIP直接激光干涉图形加工器,让光伏面板告别积尘烦恼在 “双碳” 目标驱动下,光伏发电迎来规模化爆发,却也面临着一个行业痛点:光伏面板积尘带来的发电效率折损。数据显示,全qiu光伏面板因积尘每年造成 4-7% 的功率损失,仅污损成本就高达 55 亿欧元,而传统水洗方式每兆瓦光伏每年需消耗 150 万升水,在西北荒漠、中东干旱等光伏核心布局区,水资源匮乏让清洁运维难以为继。当水洗、人工擦拭、涂层自清洁等传统方案纷纷遇阻,昊量光电推出的DLIP直接激光干涉图形加工器,为光伏清洁带来颠覆性解决方案,重新定义光伏面板的长效清洁与高效发电。1.告别传统清洁痛点,激光仿生开启无涂层自清洁 ...
二维材料的表征-钙钛矿摘要:在本文中,我们简单介绍了2D材料,并重点研究了二维材料钙铁矿的表征实验光路及应用介绍。(2D)材料因其杰出的化学、电学和物理特性而受到越来越多的关注。二维材料是一种主要具有二维结构特征的物质,其厚度通常在原子或纳米尺度上。这些材料由于其降低的尺寸而表现出独特的性能,例如高表面积体积比,卓越的电子,光学和机械性能。二维材料的例子包括石墨烯、过渡金属二硫化物(TMDs)如二硫化钼、六方氮化硼(h-BN)和黑磷(磷烯)。zui近,许多研究小组已经发现了2D材料和有机-无机杂化钙钛矿材料在太阳能电池应用中的协同效应。有机-无机杂化钙钛矿作为太阳能吸收剂已经引起了大家的兴趣, ...
双频共振跟踪(DFRT)-了解如何在 Moku:Pro 上实现双频共振跟踪实时谐振跟踪在一系列应用中都很重要,包括从基于微机电系统 (MEMS) 的惯性传感到原子力显微镜 (AFM)。本应用说明比较了两种跟踪谐振的方法:一种利用锁相环 (PLL),另一种利用双频谐振跟踪 (DFRT)。虽然 PLL 方法在大多数情况下效果很好,但它可能会难以应对临界耦合下出现的突然相移。DFRT 通过幅度相关反馈控制克服了这一困难,提供了更可靠的解决方案。在这里,我们通过结合双频多频锁定检测实验和PID 控制器在一个Moku:Pro设备。双频信号由双通道波形发生器产生,在模拟谐振器上进行了测试,并获得了积极的结 ...
或 投递简历至: hr@auniontech.com