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沟槽深蚀刻脊波导激光器，采用380nm SiNx作为侧壁绝缘，并向下安装在复合金刚石底座上。为了进行测试，所有的台面和激光设备都安装在AlN上的直接结合铜衬底上。电致发光(EL)光谱在不同温度和脉冲电流(80kHz重复频率;脉冲宽度100-500ns)，使用傅里叶变换红外(FTIR)光谱仪进行步进扫描模式和ln2冷却MCT探测器，波长截止为12.5µm。在快速扫描模式下，使用相同的FTIR设置获得激光光谱。脉冲(200 ns;使用室温MCT检测器在80-300K的温度范围内测量了光电流-电压(LIV)特性。图2该设计在80K和297K下显示了超宽增益光谱(图2(a)和(b))，跨度超过一个倍频 ...
备了双通道脊波导激光器。沉积0.3 m厚的硅氮层用于侧壁保温。在顶部接触处蒸发Ti-Au （30/300 nm）后，在激光脊周围镀上一层m厚的金层，以实现有效的传热。为了便于切割，在厚的电镀金层中留下了小的间隙。晶圆减薄至150 m后，背面的Ge-Au （15/300 nm）接触蒸发。激光被安装在一个铜底座上，用In焊料和电线粘合。zui后，背面是高反射（HR）涂层的SiO -Ti-Au-SiO （400/15/100/100 nm）。了解更多详情，请访问上海昊量光电的官方网页：https://www.auniontech.com/three-level-106.html更多详情请联系昊量光电 ...
5 mm的脊波导激光器。采用等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）沉积0.3 mm的SiOx绝缘层，通过电子束蒸发沉积30 nm/300 nm的薄钛金顶部金属触点，然后将衬底减薄至200 mm，并沉积20 nm/200 nm的锗金底部金属触点。直径为190 mm的圆形平台样品（用于电致发光和电子传输测量）由相同的晶圆使用类似的技术制造，除了不需要SiOx绝缘层。激光器的腔长从0.5到4.0 mm不等，并在铜散热片的外延侧安装。此外，还制作了具有埋置异质结构波导和固定腔长1.9 mm的激光器，在其背面涂覆高反射率涂层，并将外延面向上安装。图3图2a显示了台面样品在80k和300k下的电致发光光 ...
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