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激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
了拉曼信号的捕获方式,让 “看透” 样品不再困难!传统 CCD 合并方法常常要在信号完整性和空间分辨率之间妥协,而 Slit-Binning 技术通过智能整合探测器上仅有的有效狭缝区域,既能消除背景噪声,又能优化信噪比(SNR),即便面对极弱的拉曼信号,也能生成更清晰、更锐利的光谱。不仅如此,该共聚焦设计比传统针孔共聚焦系统更易维护,还能实现精确的 Z 轴轮廓分析,轻松完成详细的深度分析和逐层测量,且重复性极高。光学、机械与设计的创新融合,让稳定可靠的拉曼性能贯穿整个测试过程,助力科研人员揭示表层之下的微观奥秘。应用示例:多层薄膜分析(PET/PE/EVOH/PE):Z 轴步长:0.3 微米 ...
品上反射并被捕获,以测量中红外光所包含的变化。这种方法能够准确而灵敏地探测近红外光,从而增强了基于二维近红外探测器的能力。图1所示。灵敏度< 100 pW μm−2的薄膜结构。A)由Si衬底支撑的PEA/SiNx/ ico -1膜结构图。B)浮动PEA膜在不同延迟时间下的瞬态ΔR∕R光谱。C) PEA/SiNx/ICO-1on Si相对于MIR (3.33 μm)的锁相电压。图2。具有介电涂层的薄膜结构可以实现小于10 pW/μm²的灵敏度。A)介质涂层降低了PEA激子共振附近的反射率。B)计算了厚度为0 ~ 300 nm的SiNx覆盖的PEA薄膜的反射光谱。C)颜色编码的地图显示了基于 ...
Lumencor RETRA:专业高功率钙离子比率成像光源细胞内的钙离子成像是细胞生物学、神经学和相关领域的重要技术之一。Ca²⁺作为细胞内重要的第二信使,本身在各种细胞内生理过程中就起到着关键作用,例如细胞分裂与增值、信号传导以及凋亡与坏死等等。而荧光染料的使用是研究单个神经元和胶质细胞内钙动力学的有效和流行的工具。通过使用化学荧光指示剂或荧光蛋白指示剂,来检测细胞内Ca2+浓度的变化。当这些指示剂与Ca2+结合后,会改变其荧光特性(荧光增强、光谱位移),进而通过显微镜被观察到,从而间接反映细胞的活动状态,提示神经元活动。而为钙离子成像选择光源时,除了根据Ca2+指示剂所需的激发波长,例如F ...
X射线荧光光谱技术在涂层厚度分析中的应用在现代工业生产中,产品质量的管理是企业竞争力的重要体现,而涂层厚度的精确测量是保证产品性能和耐久性的关键环节。涂层厚度分析仪作为一种优的检测工具,利用X射线荧光光谱(XRF)技术,实现了对镀层、膜厚和涂层的无损检测,广泛应用于各类行业。本文将深入探讨涂层厚度分析仪的工作原理、应用领域、相关专li(申请号202211107941.6)、科研成果、实验数据,并结合实际分析图片,为读者呈现一个全面、深入的技术解析。一、工作原理与技术基础X射线荧光光谱技术是一种基于物质发射特征X射线的分析技术。当样品受到X射线照射时,其内部原子会发生激发并返回基态,释放出具有特 ...
突破光影极限:SPAD相机如何重塑低光与高速成像的未来一.简介单光子雪崩二极管(SPAD)与电子倍增电荷耦合器件(EMCCD)相机是成像领域的两项重要技术,各自具备适合特定应用场景的独特优势。EMCCD相机因其低暗电流特性及弱信号放大能力而备受关注,而SPAD则具有极高的读出速度并能探测单个光子,使其成为弱光与高速应用场景的理想选择。理解二者的差异与优势对选择合适工具至关重要。除卓越的弱光成像能力外,SPAD还具备EMCCD技术无法实现的高动态范围与高速成像特性。特别值得一提的是,SPAD 512配备的时间门控功能可用于研究荧光寿命成像(FLIM)等时变信号,通过时间特征实现分子识别。这些应用 ...
CCD vs CMOS vs SCMOS传感器对比1.回顾 CCD、CMOS 和 sCMOS 传感器的简单指南XIMEA 产品组合提供广泛的相机,这些相机基于不同类型的传感器,如 CCD、CMOS 和zui近的 sCMOS(科学 CMOS),包括背照式版本。一般来说,传感器有多种分辨率、传感器和像素尺寸、噪声水平、帧速率和许多其他规格。不同的应用需要或强调可能相互排除的特定参数,例如,低噪声很难与快速相结合。如果您不确定哪种类型的传感器可以获得什么性能,也许以下概述可以提供一些启示。KAI系列CCD传感器2.图像传感器广泛使用的图像传感器基于这三种技术:较旧的CCD,其次是CMOS和sCMOS ...
(SWIR)捕获的1700至2500nm之间的额外光谱信息增强了该模型检测和准确分类聚乙烯和聚苯乙烯微塑料的能力。结果表明,Specim的SWIR高光谱相机可在更广泛的颗粒尺寸范围内提供更一致、更准确的识别。7.总结本研究证明了高光谱成像在检测和分类微塑料方面的有效性。基于较大塑料颗粒构建的光谱库可以成功地应用于识别较小的微塑料颗粒,尤其是在使用光谱覆盖范围更广的相机时。虽然Specim FX17相机在其光谱范围内表现良好,但Specim SWIR系统提供了更高的精度,尤其是对于位于微塑料粒径谱低端的颗粒。这些发现凸显了高光谱成像作为环境监测和微塑料研究有力工具的潜力。如果您对高光谱相机有兴趣 ...
TiePie无线示波器在汽车故障检测中的应用为什么“示波器级”诊断必不可少?在汽车维修和研发中,由于现在汽车电气系统复杂,很多问题难以察觉,急需一种能直观呈现电信号的工具。有些故障只在特定条件下出现,等检测时又没了;仅凭故障代码和经验换零件,成本高且不一定能解决问题;表面看起来是软件问题,实际是硬件干扰;想要复现故障车上出现的问题也很难做到。昊量光电推出TiePie无线示波器,能提供一套完整的汽车故障检测系统,它直接观察线路与总线上的真实电压、电流、差分/共模变化与时序耦合,从而在故障根因定位、一次修复率、误换件率三项关键指标上带来实质提升。无线示波器应用案例1. 使用加示波器和速度计进行发动 ...
Moku:Lab应用于基于有机纳米步进光学致动器的可重构集成光子电路中国科学院化学所张继哲等研究团队新发表研究成果,成功研制出一种运动轨迹可编程的光致动器,用于集成光学芯片上的器件重构。该制动器由有机分子晶体组成,尺寸仅为微米量级,可以通过低功率激光远场照射的方式进行供能驱动和轨迹调控,从而在光芯片上实现直行、转弯、跨越波导运动,进一步实现对片上微结构的组装和操控。基于此,研究团队首次在光子芯片上实现了对微环谐振腔共振频率的动态、半永久性的精密调控。该研究成果以“Optically-driven organic nano-step actuator for reconfigurable pho ...
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