m RMS的光程差测量精度，还采用了便捷的C端接口设计，能够直接连接显微镜，实现即插即用的快速安装和亚波长级别的空间分辨率。2.偏振无关性：Phasics的波前传感器支持全面的偏振测量，能够精确分析超表面在不同偏振状态下的光学响应，从而更好地评估器件的实际性能。3.多光谱测量能力：其产品能够在多个波长范围内进行高精度测量，确保超透镜在多光谱应用中的性能表现。4.环境稳定性：Phasics的传感器能够在不稳定的环境条件下保持精确测量，消除环境影响对测量结果干扰，确保数据可靠性。1.2 Phasics超表面测量光路搭建在下图1这个例子中，超表面的简单相位偏移得到了测量。Phasics的高精度波前传 ...
折射率变化或光程差波动，zui终引发成像模糊、图案错位等问题。2109nm RBG/VBG通过其热敏感性、分布式监测能力及实时响应特性，成为光刻光路热稳定性监测的核心元件。它不仅能精确量化温度变化对光路的影响，还能与闭环系统联动实现动态补偿，从根本上抑制热扰动对光刻精度的破坏。在先jin制程（如 3nm 及以下）对 “纳米级精度” 的严苛要求下，体布拉格光栅VBG/RBG 的监测作用将愈发关键，推动半导体光刻向更高分辨率、更高稳定性迈进。热敏感性：VBG具有热膨胀效应和热光效应：温度升高会导致光栅材料（如石英、特种玻璃）膨胀，使光栅周期Λ增大；温度变化会改变介质的极化率，导致折射率n发生漂移（ ...
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