激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
轴外点成像的渐晕系数。而对于测量用显微系统，孔径光阑没在物镜的像方焦平面上，以形成物方远心光路,提高测量精度。若接收器不是人眼，而是光电成像器件(如 CCD 及 CMOS 器件)，则可将它置于实像平面 A'B' 处。显微物镜的成像特性影响系统成像特性的主要是显微物镜。显微物镜较为重要的光学参数是数值孔径和倍率，它影响系统的分辨率、像面照度和成像质量。数值孔径定义为显微物镜物方介质的折射率 n 和物方孔径角正弦之乘积，用符号 NA来表示，即(1) 显微物镜的分辨率δ显微物镜的分辨率是以它能够分辨开两点的较小距离δ来表示的，计算公式为：当被观察体本身不发光，需要其他照明光源时，随照 ...
光束质量分析仪测量原理（一）光束质量分析仪（光束轮廓分析仪）是一种用于激光束测量的重要工具，它不仅可以测量激光束的整个光强分布，也可以测量激光束的具体形状及大小。在一些激光应用（例如激光切割、激光打孔）方面上，激光束的检测是非常重要的，它影响着切割的精度以及钻孔的质量。目前市面上使用较多光束测量方法有狭缝扫描法、刀口扫描法、面阵相机法。狭缝法和刀口法扫描时间较长、且为人工控制、测量精度难以把控。该测量方法操作复杂，容易出错，多为经验丰富的技术人员操作,但优势在于可以测量大功率激光。面阵相机操作简单、扫面速度快、测量精度高、光谱响应范围宽等诸多优点,成为现在主流的光束测量方法。此外，相机前面加上 ...
些系统中还有渐晕光阑和消杂光光阑。孔径光阑、入射光瞳和出射光瞳限制轴上成像光束立体角的光阑，称为孔径光阑（简称，孔阑）或有效光阑。孔径光阑经由前面的光组在物空间形成的像称为入射光瞳，简称入瞳。完全决定进入系统参与成像的最大光束孔径，是物面上各点发出进入系统成像光束的公共入口。孔径光阑经由后面的光组在像空间形成的像称为出射光瞳，简称出瞳。是物面上各点发出的成像光束经过光学系统后的公共出口。合理的选择系统孔径光阑的位置可以改善轴外点的成像质量。同时，当光阑的位置改变时，光阑的口径也要随之变化，以保证轴上点光速的孔径角度不变。孔径光阑的口径的大小将影响光学系统的分辨率、像面照度和成像质量。同时，如果 ...
涡旋光束的传输特性摘要：涡旋光束传输特性的研究主要以光场的统计特性为理论基础。广义惠更斯-菲涅尔原理是常用的一种研究方法，它是波动光学的基本原理，是处理衍射问题的理论基础。其主要原理是：波前上任何一个未受阻挡的点都可以看成是一个频率于入射波相同的子波源；在其后任何地方的光振动，就是这些子波相干叠加的结果。其中，波前表示光源在某一时刻发出的光波所形成的波面；次级扰动中心是一个点光源，又称为子光源。涡旋光束的传输特性，采用（orbital angular moment,OAM）涡旋光束携带信号传输时，会受到大气湍流的影响。大气湍流会引起光束强度和相位的改变，导致误码率增加以及通信容量降低。研究大气 ...
高速结构光器件简介光波的独立传播特性使相遇的两束光互相不干扰，从不同位置发出的光在空间中分布可控制，结构光场技术的基础从这里而来。广义上结构光场是一种光的振幅、相位、偏振态等物理参数的空间分布经调制后的光场。常见的结构光场技术应用是显示图像的液晶显示器（LCD）；后来开发出反射式数字微镜器件（DMD）被广泛应用于投影仪中。这一系列技术支持下，人们的日常生活更加丰富。后来随着技术发展，出现了微机电系统（MEMS）和新型电光材料等，也出现了新型空间光调制器，例如液晶空间光调制器（LC-SLM）、光栅光阀（GLV）等。1、液晶显示器LCD液晶是一种介于液态和固态之间的材料，具有良好的电光效应性能。L ...
使用空间散射偏移拉曼光谱检测猪肉中β-激动剂的优势β-激动剂残留在家畜体内半衰期长、代谢慢、稳定性差，对人类健康存在潜在风险。如果给畜禽大量喂食沙丁胺醇，大部分会沉积在动物的肝、肾、肺、肌肉等组织和器官中，人类食用会对肝、肾等内脏器官产生毒副作用，严重影响健康。高效液相色谱(HPLC)、液相色谱-质谱(LC-MS)、气相色谱-质谱(GC-MS) 、酶联免疫吸附(酶联免疫吸附)和毛细管电泳(CE) 等色谱方法已广泛应用于动物饲料和组织中β-激动剂的测定。这些方法可能具有较高的敏感性和特异性。然而，它们通常耗时、劳动密集、具有破坏性，并且需要进行预处理，这使得实时监测肉类中β-激动剂的残留变得困难 ...
相干拉曼技术中常用的扫描方案扫描有两种常用的方法:样品扫描和光束扫描。样品扫描提供了一个简单的设备，但通常较低的速度和较小的视野，而光束扫描更复杂的实现，对光学系统的性能要求更高，但提供了更大的视野和更高的成像速度。在样品扫描中，整个相干拉曼光学设置是固定的，样品相对于焦点平移。这意味着光学系统可以对准一个固定的激光束，这比在一系列可能的激光束位置上对准系统更容易。为了获得高的空间分辨率，需要一个平移阶段具有较高的精度和重复性要求。通常，采用压电驱动的弯曲级。这些阶段提供的步长和重复性远远超过光学显微镜(通常小于5 nm)和较大数百微米的平移所要求的。这种制度主要有两个缺点:一是图像的较大视场 ...
闪耀光栅的特性改变反射光栅的工作面的围观形状会改变光栅分布，实际上光谱仪中使用的光栅是闪耀光栅。闪耀光栅在某波长处有强度较大，附近的波长范围的强度也较大，是光谱仪实际使用的波长范围。闪耀光栅的工作面法线与光栅法线之间夹角θ，称为光栅的闪耀角。经过光栅衍射后，不同波长有各自的衍射角，其中衍射角与反射角相同的波长是光栅的闪耀波长，即为，它比其它波长有更大的闪耀效率。①自准条件下的闪耀波长入射光以工作面法线方向投射，波长沿法线方向衍射返回，衍射角与入射角相等，所以光栅所标示的闪耀波长是它的以及光谱的闪耀波长，所以上式标示闪耀波长、闪耀角、刻线密度（光栅常数d的倒数）之间的关系。该光栅用于不同谱级时， ...
利用高光谱成像评估水果和蔬菜的成熟度和老化监测和控制食品质量对于追求利润和负责任的食品生产至关重要。特别是对于水果和蔬菜来说，它们比其他食品更加敏感，必须新鲜出售和加工才能更加有价值和更加健康。高光谱成像为自动质量控制系统提供了重要的数据，以确保食品的高质量。用specim FX10高光谱相机测量李子和番茄的老化食品的生长天数是评价食品新鲜程度时需要量化的一个重要参数。在这样的背景下，水果和蔬菜的成熟度和硬度是需要观察和监测的两个最基本的参数。高光谱相机可以观察水果和蔬菜在整个成熟过程中的光谱变化。在这项研究中，我们使用specim FX10高光谱相机和实验室推扫平台对李子和番茄进行了20天的 ...
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