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激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...

方阻（电涡流检测）在半导体行业中的应用1. 原理介绍1.1 电磁感应定律的工程应用涡流测试基于法拉第电磁感应定律的精确数学表达：在导体内部，电场强度与电流密度关系为：该方程的解给出趋肤深度公式：薄层近似理论当满足条件（t为膜厚）时，可建立方阻与阻抗的直接关联：其中：：空载线圈阻抗( K(k) )：第1类完全椭圆积分( k )：线圈几何参数比1.2 使用涡流测试进行质量保证涡流测试方法利用局部电导率变化来表征质量特性，例如厚度、片材电阻、材料均匀性或研究样品中的其他物理变化。复杂的涡流信号包含有关测试材料的各种信息，在许多情况下可以用简单或复杂的算法进行分离。应用的强大涡流电子设备提供从 10 ...

科研效率大提升！AutoRAM-C 全自动高精度共焦拉曼系统来啦做材料科学、半导体或能源研究的科研人们，是不是还在为拉曼测试效率低、数据重复性差、操作复杂而头疼？别担心，一款能解决这些难题的 “科研利器”——昊量AutoRAM-C 系列全自动高精度共焦拉曼系统，重磅登场！振镜技术：微秒级响应，刷新扫描速度天花板传统拉曼扫描依赖机械载物台移动样本，不仅速度慢，还容易因振动影响数据精度。而 昊量AutoRAM-C 系列搭载的振镜技术，彻底改变了这一局面！它采用响应速度极快的电流计式反射镜，能在微秒级时间内改变激光束方向，实现无接触、无振动扫描，精度更是达到亚微米级别。更重要的是，振镜扫描是昊量SM ...

拉曼光谱专题5 | 拉曼光谱 vs 红外吸收光谱：本文教你怎么选！当制药实验室需要实时分析药片成分时，当文物修复专家要无损鉴别古画颜料时，当半导体工厂需在线监控芯片质量时，科学家们总会面临一个关键选择：是用红外吸收光谱还是拉曼光谱？这两种被誉为 “分子指纹识别” 的核心技术，同属分子振动光谱范畴，却因原理差异形成截然不同的应用边界 —— 既存在互补性，也在诸多场景中呈现明确的选择区分。深入理解两者的异同，是精准匹配分析需求、提升检测效率的关键。一、原理核心：分子振动的 “两种探测逻辑”拉曼光谱与红外吸收光谱的本质差异，源于对分子振动信号的探测方式不同，这种底层逻辑的区别直接决定了两者的技术特性 ...

子后，电子从基态跃迁到激发态，再回到基态时释放出的波长更长的光。这种 “额外发光” 强度往往远大于微弱的拉曼信号，尤其当样品中含有共轭体系、荧光蛋白或微量杂质时，荧光干扰会更严重。比如检测红酒中的成分时，色素分子的强荧光会淹没拉曼信号；分析红色塑胶微粒时，荧光背景甚至能完全覆盖特征峰。二、破解荧光干扰的四大实用方案面对荧光干扰，科研人员早已总结出一套 “降魔宝典”，从硬件优化到软件算法全方位出击：1. 换个 “光源” 避锋芒选用近红外激发波长（785nm、830nm 或 1064nm）是常用的方法。由于荧光分子在近红外区吸收能力弱，改用近红外激光能从源头减少荧光产生。就像避开强光选择柔和的自然 ...

拉曼光谱专题7 | 选对激光波长，拉曼检测事半功倍！不同样品的 “专属波长指南”做拉曼检测时，你是否遇到过这些问题：明明按步骤操作，却测不到清晰特征峰？样品被激光照完后变性损坏？荧光背景重得盖过所有信号？其实，这些问题的根源往往只有一个 —— 没选对激光波长。拉曼检测就像给样品 “拍身份证”，激光波长就是 “拍照的光线”：用错光线，再清晰的 “指纹” 也会模糊；选对光线，才能让分子特征一目了然。今天就为你拆解不同样品的 “波长适配逻辑”，更告诉你如何用昊量光电 HyperRam 全自动拉曼，一键搞定所有样品的波长难题！一、生物样品（细胞 / 蛋白质 / 组织）：785nm 近红外，温柔又高效样 ...

“台阶”，基态是zui低的 “台阶”，激发态则是更高的 “台阶”。当激光光子与分子相遇时，就像给分子 “递了一把能量钥匙”：分子吸收光子能量后，会从基态 “跃迁至” 更高的振动能级（激发态）；随后，分子会从激发态 “回落” 到基态，并释放出一个新的光子 —— 这个光子的能量差，就对应着分子振动能级的 “台阶高度”，也就是拉曼光谱中清晰的特征峰。举个通俗的例子：就像小朋友从 1 楼（基态）爬到 3 楼（激发态），再从 3 楼回到 1 楼时，会释放出与 “3 楼到1楼” 高度差对应的能量。不同分子的 “台阶高度” 不同，释放的光子能量也不同，这就是拉曼光谱能区分不同物质的核心原理。比如在药品检测 ...

应用探究|超越鬼成像（一）：基于PPKTP实现跨波段“无探测”量子成像2025年无疑是量子的盛会，不仅被联合国大会和联合国教科文组织正式定为“国际量子科学与技术年”（IYQ），今年的诺贝尔物理学奖也花落量子物理领域。当我们谈到量子力学和经典力学中的区别，量子纠缠无疑是其中zui具神秘色彩的之一，光子之间的超距作用即使是爱因斯坦也为之困惑。在量子纠缠中，粒子系统的整体状态是明确的，但每个粒子没有独立的确定状态。系统处于叠加态中，测量结果之间的关联是确定的，而单个粒子的测量结果无法提前预测。在我们以前的文章中，我们分享了很多量子纠缠应用于量子通信，而量子成像中，纠缠光子对同样崭露头角，引发一场成像 ...

基于空间ALD和激光加工的颜色生成新方法摘要：在本文中，我们介绍表征SiN集成组件的实验设置的结构和设计，简述了可见光到近红外光谱区的SiN集成光子元件中的应用。空间ALD（原子层沉积）是一种薄膜沉积技术，可以在原子水平上精确控制材料沉积。与传统ALD在整个衬底上沉积均匀薄膜不同，空间ALD允许在特定的空间模式下选择性沉积。这种前所未有的控制水平为创造复杂的颜色图案和结构开辟了新的可能性。激光加工技术可以在微纳米尺度上精确控制材料的改性。通过将空间ALD与激光加工相结合，研究人员可以更好地控制制造材料的光学特性和结构特性。ALD和激光加工之间的这种协同作用使创建高度定制的着色效果成为可能。关于 ...

时间门控单光子SPAD阵列与非视域成像中的关键散射特性研究非视域成像，旨在实现对视线之外隐藏物体的探测与重构，是近年来光电探测领域的前沿焦点。这项技术借助于一个中介面（如墙壁、地面），通过捕获从隐藏目标反射并再次经由中介面散射回来的微弱光信号，来“绕弯”看清拐角后的景物。在众多技术路径中，基于时间门控单光子SPAD（单光子雪崩二极管）阵列的成像方法，因其具有凝视成像、高时间分辨率、设备集成度高等优势，被视为走向实用化的关键技术之一。图1：基于 TG-SPAD 阵列的非视域成像原理示意图一、 技术核心：为何要研究中介面的散射特性？在非视域成像系统中，中介面并非理想的镜子。当光子携带隐藏目标的信息 ...