激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外(EUV)光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术,激光产生的锡(Sn)等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数,这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度,控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要,精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台,用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
CCD vs CMOS vs SCMOS传感器对比1.回顾 CCD、CMOS 和 sCMOS 传感器的简单指南XIMEA 产品组合提供广泛的相机,这些相机基于不同类型的传感器,如 CCD、CMOS 和zui近的 sCMOS(科学 CMOS),包括背照式版本。一般来说,传感器有多种分辨率、传感器和像素尺寸、噪声水平、帧速率和许多其他规格。不同的应用需要或强调可能相互排除的特定参数,例如,低噪声很难与快速相结合。如果您不确定哪种类型的传感器可以获得什么性能,也许以下概述可以提供一些启示。KAI系列CCD传感器2.图像传感器广泛使用的图像传感器基于这三种技术:较旧的CCD,其次是CMOS和sCMOS ...
告别“黑盒”沉积:2026年,薄膜生长的每一秒都该被看见摘要:本文以“测量即定义”为核心理念,重点阐述了该产品在原位(In-situ)实时监测方面的技术优势,解决了传统薄膜测量中的“黑盒”痛点。内容涵盖了其无光纤全自足设计、1.7毫秒超快模式及FS-API接口,详细介绍了其在半导体封装、光伏新能源、硬质涂层及科研领域的具体应用,并列出了FS-4与FS-8的硬核参数,zui后展示了Film Sense的品牌实力及中国代理商上海星朗浩宇的本地化服务能力。在半导体前道工艺、新能源材料研发的实验室里,有一个令人头疼的悖论:我们拥有价值千万的沉积设备,却往往只能在工艺结束后,把样品拿出来放在显微镜下看“ ...
钛宝石飞秒激光器波长不够用?ORIA扩展器一键覆盖340-4090nm,可按需灵活组合!一、钛宝石飞秒激光器:超快光学研究的基石钛宝石(Ti:Sapphire)飞秒激光器自上世纪80年代末问世以来,一直是超快光学领域核心的光源之一。其核心增益介质为掺钛的蓝宝石晶体(Ti³⁺:Al2O3),凭借近红外波段极宽的发射谱带(约650 nm至1100 nm),钛宝石激光器能够支持极窄的飞秒级脉冲输出,同时保持优异的光束质量。例如, Spectra-Physics公司的MAI TAI系列钛宝石飞秒激光器,可在680 nm至1080 nm的波长范围内实现调谐,输出脉冲宽度可压缩至100fs以内,重复频率通 ...
汉堡大学使用Moku实现量子密钥分发实验系统中的相位稳定引言量子密钥分发(QKD)zui早在20世纪80年代提出,它提供了一种比经典方法更安全的信息传输方式。在典型的QKD方案中,发送方(Alice)通过量子态对经典信息进行编码,并通过量子信道传输给接收方(Bob)。由于量子力学中的不可克隆定理,这些量子态无法被复制。这意味着窃听者(Eve)无法在不被Alice和Bob察觉的情况下获取或复制传输信息,从而使通信过程具有高度安全性。因此,QKD能够在信息不会被拦截的前提下安全传输敏感数据。目前已有多种成熟的QKD协议与实现方法。近年来,连续变量量子密钥分发(CV-QKD)因其与现有通信基础设施( ...
无需制样的快速多元素检测——激光诱导击穿光谱(LIBS)方案LIBS(激光诱导击穿光谱)是将一束高能脉冲激光聚焦在样品表面,当激光辐照度超过样品的击穿阈值时,少量材料将被烧蚀和激发以产生等离子体。在激光脉冲结束时,等离子体迅速扩散并冷却。激光诱导等离子体内包含了电子、离子、原子、分子和微粒等,整体呈电中性。当激光脉冲结束后,等离子体中被激发的粒子会从高能级向低能级跃迁,并发射特征谱线。用光谱仪采集等离子体发射的特征谱线就会得到LIBS光谱图。通常我们认为等离子体中各种元素的比例与烧蚀样品的元素比例一致。通过分析特征谱线的强度,可以定量分析出样品中各种元素的含量。星朗浩宇提供一体台式LIBS、分 ...
锁模激光器:从原理到产品,一篇搞懂什么是锁模?想象一下这样的场景:一个音乐厅里有一百位歌手,每个人都在自顾自地唱着自己喜欢的歌,节拍、音调完全不同。这时候你听到的,只会是一片嘈杂的嗡嗡声,强度大致恒定——这就是普通连续激光器的工作状态。现在,如果给这群歌手来一位指挥,让他们全部按照同一个节拍、同一个音高、同一时刻开口唱歌,会发生什么?当一百个声音完美同步时,会在那一瞬间爆发出震耳欲聋的声浪,然后在下一个瞬间又全部安静下来。锁模激光器干的就是这件事:把激光器里原本“各唱各的”的多个频率模式,强行“指挥”到同一个步调上,让它们团结起来,周期性地产生一个巨大的能量峰值,从而输出超短激光脉冲。这个“指 ...
预认证,即速度:选Lumencor合规光引擎,为您的医疗设备上市按下快进键美国Lumencor 是首家将 300 和 400W 氙灯替换为用于微创机器人手术的固态光源的供应商。如今,他们为包括神经外科、胃肠外科和内窥镜检查等应用提供定制工程化的白光和多通道的光(Lumencor 的 AURA 和 SPECTRA 光引擎)。特点:提供的固态光源,包括发光二极管、激光器和专有的光导管提供所需显色指数(CRI)、色温(CT)的白光光源紫外光、可见光和/或近红外光约 20W近红外激发用于增强血管可视化和经 FDA 批准的荧光物质定制控制光的角分布Lumencor 光引擎经过优化,可实现可视化、精确测量 ...
精准评估视网膜蓝光危害:LDM-1901光生物安全测量系统解析随着LED照明技术的普及,蓝光危害问题日益受到关注。蓝光在可见光中波长较短(约380nm至500nm)、能量较高,过度接收蓝光可能导致视网膜损伤。LDM-1901系统严格遵循国际IEC/EN 62471标准,满足产品CE认证要求。本文将为您详细解析LDM-1901望远镜 + BTS2048-VL-TEC光谱辐射计组成的专业光生物安全测量系统。重点介绍其如何精准评估视网膜蓝光危害,为LED照明制造、设备检测及安全评估提供可靠的技术解决方案。一、产品概述:LDM-1901 + BTS2048-VL-TEC测量系统LDM-1901并非一台 ...
Specim高光谱相机在微塑料检测方面的应用1.样品描述本研究涵盖了多种塑料材料(图1)。我们提供了较大的颗粒,每个颗粒尺寸为几毫米,作为基础样品,用于构建光谱参考库。这些颗粒由常用的聚合物组成,例如高密度和低密度聚乙烯(HDPE和LDPE)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚碳酸酯(PC)、聚丙烯(PP)、聚酰胺(PA)、两种聚苯乙烯(PS1和PS2)以及聚氯乙烯(PVC)。这些材料由于其广泛的使用以及随着时间的推移容易降解为微塑料的趋势,在环境中经常被发现。除了宏观样本外,分析还涵盖了由聚乙烯(PE)和聚苯乙烯(PS)制成的微塑料颗粒。这些微塑料的尺寸和颜色各不相同,用于评估光谱库应用于较 ...
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