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213/224 深紫外纳秒激光器（IMPRESS 系列）
激光生成锡等离子体在 EUV 光刻中的多诊断特性研究一. 引言13.5 纳米波长的极紫外（EUV）光刻技术是半导体制造“亚 7 纳米”工艺节点核心技术，激光产生的锡（Sn）等离子体是主要光子源。从深紫外向 EUV 波段过渡催生了对更优 EUV 光子源的需求。EUV 光源开发关键挑战是zui大化光谱纯度和转换效率。优化需精确控制等离子体参数，这些参数决定 EUV 发射率和光学深度。zui终 EUV 输出还取决于不透明度，控制锡离子电荷态分布对光谱纯度至关重要，精确测量这些参数对验证辐射流体力学代码也很重要。本文介绍了“SparkLight”实验平台，用1064nm Nd:YAG激光器照射镀锡导线 ...
还原诱导法制备的三维纳米多孔Ag，用于敏感的表面增强拉曼散射引言：纳米多孔金属zui近引起了人们对催化、储能、表面增强拉曼散射（SERS）和传感等广泛应用的极大兴趣，由于其独特的表面结构（丰富的纳米间隙和纳米尖端）、大比表面积和高导电性。脱合金是制造纳米多孔材料的常见方法，其中合金中的反应性成分被选择性溶解，留下由剩余的更贵重的成分组成的双连续多孔结构。早期，脱合金主要集中在贵金属上，如Au、Pt、Pd和Ag。随着合金前驱体制备工艺的改进以及液态金属脱合金和气相脱合金的发展，金属体系的脱合金已从贵金属扩展到各种过渡金属，包括Ni、Co和Cu。然而，脱合金的一个不可避免的问题是合金前驱体的制备工 ...
带有独立偏置臂的非对称马赫-曾德尔干涉仪型腔的量子级联激光器宽单模调谐量子级联（QC）激光器是一种强大而紧凑的半导体光源。在中红外波段，它们是目前分子传感中基于吸收的光谱系统中非常有利的光源。由于这些系统利用了不同气体分子的强而窄的吸收线，它们要求QC激光器在单模下工作，并且是连续的，广泛可调的。研究并实现了实现波长选择性和可调性的不同方法。直到zui近，大多数QC激光器的单模操作已经通过在常规Fabry-Perot QC激光器的顶部合并周期性光栅实现，例如分布式反馈光栅或分布式布拉格反射器。然而，需要在波长尺度上精确的周期结构需要更复杂的制造步骤（例如，电子束光刻），通常导致更高的成本和更低 ...
分布式Bragg反射器量子级联激光器（1）量子级联（QC）激光器是基于半导体的中红外光源，通过带隙工程设计，由于其紧凑的尺寸，提供了有前途的应用。工作范围大，输出功率大。尽管Fabry-Perot型QC激光器具有高产量和高成本效益，但由于端面的波长无关反射率，其光谱输出相对较宽。此外，随着注入电流的增加，由于腔内空间和光谱烧孔等非线性，谱宽一般会增加一个数量级以上。然而，在各种应用中，如医学中的激光辅助手术或防御对策中，需要窄带，高功率操作的QC激光器。在QC激光器中，通过多种方法实现ji端光谱窄化到单模工作，包括将分布式反馈（DFB）光栅集成到激光腔中，利用外腔（EC）或通过单片耦合腔设计。 ...
无横向再生的MOCVD室温连续波量子级联激光器设计和制造量子级联（QC）激光器是一种很有前途和影响力的中红外光源，在化学传感、无线通信和对抗措施等领域具有潜在的应用前景。自1994年首次演示以来，通过改进激光设计，材料生长和包装，不断显著地改进了QC激光器的性能。到目前为止，使用固体源分子束外延（MBE）或气源MBE生长的波长为9.1和4-6 um的QC激光器已经证明了室温连续波（CW）操作，这是紧凑型非低温激光源的重要里程碑。金属有机化学气相沉积（MOCVD）zui近引起了人们的研究兴趣，因为它是工业界第1选择的技术，并且在QC激光器的商业化方面有前景。据报道，MOCVD是一种高性能的QC激 ...
IE/ICP刻蚀转移到我们的混合SiN/LN平台上。图3中的布局还显示了携带射频信号的调制电极。图3给出了马赫-曾德尔（MZ）调制器的布局和加工切块芯片的图像2.2 低频特性图4(a)显示了光通过两个光栅耦合器（即光纤到光纤插入损耗）后的测量插入损耗与波长的关系。我们的光栅耦合器实现了小于-10dB的插入损耗。考虑到在不到一毫米长的波导中，输入和输出耦合器之间的传播损耗可以忽略不计，每个耦合器的耦合损耗约为5dB。测量的耦合器3dB光纤到光纤带宽为45nm。根据理论计算，每个耦合器预期损耗为-4dB。图4. (a) 测量的光栅耦合器插入损耗（光通过两个输入和输出耦合器后）。(b) 电极间隙为7 ...
采用1530nm VCSEL,直接检测和MLSE接收机实现光互连的28Gb/s NRZ-OOK随着我们进入百万兆时代，数据中心和高性能计算系统等系统需要高带宽、低成本和节能的支持技术来服务于它们大规模的机架内和机架间连接。考虑到这种对容量日益增长的需求，光学是在Gb/s数据速率下超过几米的互连中有前途的解决方案。为此，直接调制的垂直腔表面发射激光器（VCSELs）与单模光纤（SMFs）结合是很有希望的候选者。1550纳米VCSELs和SMF传输的新进展包括使用相干检测在400公里以上传输25 GBd偏振分复用（PDM） 4级脉冲幅度调制（PAM）信号和使用直接检测（DD）在4.2公里以上传输2 ...
金属有机化学气相沉积制备室温连续波工作低阈值量子级联激光器通过分子束外延MBE和MOCVD两种方法生长的量子微电子管的室温连续工作结果令人鼓舞，但进一步的性能有望使量子微电子管更适合实际应用系统。在所有需要改进的器件参数中，特别需要更低的阈值电流密度，因为它可以使器件消耗更少的总功率，并有可能提高壁插效率。我们报告了5.07 um的mocvd生长QC激光器，具有BH再生结构和下行安装，其室温连续波阈值电流密度低于所有这些先前报道的结果。本文提出的QCL结构是通过低压MOCVD生长的。有源区域结构与文献中报道的设计非常相似，但对波导结构进行了一些修改，如下所述。一个周期的层序为：从注入层阻挡层厚 ...
量子级联激光光声光谱法检测甲基膦酸二甲酯（DMMP）的十亿分之一水平我们通过分析和实验证明，光声光谱（PAS）可以产生有关目标分子内部结构的信息，对于在真实的城市和战场环境中检测化学战剂（CWAs）是一种特别敏感和选择性的技术。实验演示使用基于co2激光的PAS提供了对CWA模拟物二异丙基甲基膦酸盐（DIMP）的十亿分之一（ppb， 109分之一）水平的检测能力，对于1 ppb的报警阈值，潜在的超低误报率接近≤1:108。然而，基于co2激光的PAS系统相对较大、较重且功率密集。对于便携式或半便携式系统，需要不同类型的激光系统。本文演示了使用宽可调谐外光栅腔量子级联激光器（QCL）在检测水平上 ...
用横模控制抑制量子级联激光器的指向不稳定性以前我们报道了QC激光器的模态不稳定性和光束转向使用固定NA（0.87）检测器，我们发现脉冲不稳定器件的脉冲平均接收功率降低高达20%。在脉冲内不同栅极位置获得的空间相关光谱表明，在横向模式之间存在频率锁定，而远场强度分布的时间分辨测量显示，光束在平面上转向了10°。现在我们提出了一种在QC激光器中抑制指向不稳定性的方法，该方法涉及通过窄、短（仅占腔长度的百分之几）和高损耗的脊波导收缩来控制横向模式。这个想法是对分布在激光脊两侧的模式引入足够的扰动，同时保持基本模式不变。收缩对器件的影响如图1所示，图1显示了用COMSOL MULTIPHYSICS获得 ...
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