中文：刻蚀；英文：etching

一张照片，全幅清晰！看AI超景深显微镜如何征服“凹凸不平”的考古文物三维微观结构近年来，超景深显微镜在科技考古与文物保护领域的应用越来越广泛，下文给出几个使用案例。一、为什么观察文物需要超景深显微镜？普通光学显微镜景深小，适合观察“薄而平”的样本，而文物往往“厚、大、凹凸不平、脆弱”，需要景深大的超景深3D数码显微镜才能在同一时间看清不同高度的表面。超景深显微镜的原理是：通过成像系统在z轴扫描、CCD成像，捕捉样品上每个进入焦点的不同区域的图像，再利用3D合成重建算法，获得高分辨率，大景深的全幅对焦的三维图像。对于面积大的样品，可进行图像2D拼接和3D拼接，这样就能在显示器上清晰观察到放大的样 ...

工艺有光刻、刻蚀、电镀和激光加工等。纳制造则是在纳米尺度上进行制造，一般包括纳米电子器件、纳米材料、纳米药物载体和纳米传感器等的制造过程。常用的纳制造加工方法有纳米印刷、原子层沉积和纳米自组装技术等，能够控制材料实现原子和分子水平上的结构制备。微制造和纳制造技术是现代制造技术的重要组成部分，两种的重要性体现在其能够实现更低的功耗、更高的集成度和更复杂的功能，可以极大促进技术创新和高端制造产业升级。图2微纳加工高精度产品示意图三、微纳加工的应用微纳加工技术是一种精密制造技术，主要通过光刻、离子束刻蚀、金属溅射沉积、化学/物理气相沉积、电镀、电化学腐蚀等工艺实现微米至纳米级别的精细加工。该项技术涉 ...

用于高带宽WDM-PONs的1.55um VCSEL阵列(2)-设备属性与实验设备属性通常，单片集成的VCSEL阵列具有非常高的均匀性。我们也证明了我们的长波长阵列的这种行为。在图2中，我们给出了在室温下，没有任何主动冷却的情况下，测量到的112vcsel阵列的光输出-电流（L-I）特性。我们计算出了VCSEL阵列中所有激光器的光输出-电流-电压（L-I-V）和光谱特性非常均匀。1×12 VCSEL阵列室温下的L-I曲线请注意，器件之间没有热串扰，因为它们直接集成到金色散热器中。这些小孔径器件的输出功率通常在1.5mW左右。具有较大孔径的器件显示单模输出功率为几毫瓦，并在85℃时提供高于0dB ...

带有独立偏置臂的非对称马赫-曾德尔干涉仪型腔的量子级联激光器宽单模调谐量子级联（QC）激光器是一种强大而紧凑的半导体光源。在中红外波段，它们是目前分子传感中基于吸收的光谱系统中非常有利的光源。由于这些系统利用了不同气体分子的强而窄的吸收线，它们要求QC激光器在单模下工作，并且是连续的，广泛可调的。研究并实现了实现波长选择性和可调性的不同方法。直到zui近，大多数QC激光器的单模操作已经通过在常规Fabry-Perot QC激光器的顶部合并周期性光栅实现，例如分布式反馈光栅或分布式布拉格反射器。然而，需要在波长尺度上精确的周期结构需要更复杂的制造步骤（例如，电子束光刻），通常导致更高的成本和更低 ...

分布式Bragg反射器量子级联激光器（1）量子级联（QC）激光器是基于半导体的中红外光源，通过带隙工程设计，由于其紧凑的尺寸，提供了有前途的应用。工作范围大，输出功率大。尽管Fabry-Perot型QC激光器具有高产量和高成本效益，但由于端面的波长无关反射率，其光谱输出相对较宽。此外，随着注入电流的增加，由于腔内空间和光谱烧孔等非线性，谱宽一般会增加一个数量级以上。然而，在各种应用中，如医学中的激光辅助手术或防御对策中，需要窄带，高功率操作的QC激光器。在QC激光器中，通过多种方法实现ji端光谱窄化到单模工作，包括将分布式反馈（DFB）光栅集成到激光腔中，利用外腔（EC）或通过单片耦合腔设计。 ...

无横向再生的MOCVD室温连续波量子级联激光器设计和制造量子级联（QC）激光器是一种很有前途和影响力的中红外光源，在化学传感、无线通信和对抗措施等领域具有潜在的应用前景。自1994年首次演示以来，通过改进激光设计，材料生长和包装，不断显著地改进了QC激光器的性能。到目前为止，使用固体源分子束外延（MBE）或气源MBE生长的波长为9.1和4-6 um的QC激光器已经证明了室温连续波（CW）操作，这是紧凑型非低温激光源的重要里程碑。金属有机化学气相沉积（MOCVD）zui近引起了人们的研究兴趣，因为它是工业界第1选择的技术，并且在QC激光器的商业化方面有前景。据报道，MOCVD是一种高性能的QC激 ...

IE/ICP刻蚀转移到我们的混合SiN/LN平台上。图3中的布局还显示了携带射频信号的调制电极。图3给出了马赫-曾德尔（MZ）调制器的布局和加工切块芯片的图像2.2 低频特性图4(a)显示了光通过两个光栅耦合器（即光纤到光纤插入损耗）后的测量插入损耗与波长的关系。我们的光栅耦合器实现了小于-10dB的插入损耗。考虑到在不到一毫米长的波导中，输入和输出耦合器之间的传播损耗可以忽略不计，每个耦合器的耦合损耗约为5dB。测量的耦合器3dB光纤到光纤带宽为45nm。根据理论计算，每个耦合器预期损耗为-4dB。图4. (a) 测量的光栅耦合器插入损耗（光通过两个输入和输出耦合器后）。(b) 电极间隙为7 ...

采用1530nm VCSEL,直接检测和MLSE接收机实现光互连的28Gb/s NRZ-OOK随着我们进入百万兆时代，数据中心和高性能计算系统等系统需要高带宽、低成本和节能的支持技术来服务于它们大规模的机架内和机架间连接。考虑到这种对容量日益增长的需求，光学是在Gb/s数据速率下超过几米的互连中有前途的解决方案。为此，直接调制的垂直腔表面发射激光器（VCSELs）与单模光纤（SMFs）结合是很有希望的候选者。1550纳米VCSELs和SMF传输的新进展包括使用相干检测在400公里以上传输25 GBd偏振分复用（PDM） 4级脉冲幅度调制（PAM）信号和使用直接检测（DD）在4.2公里以上传输2 ...

金属有机化学气相沉积制备室温连续波工作低阈值量子级联激光器通过分子束外延MBE和MOCVD两种方法生长的量子微电子管的室温连续工作结果令人鼓舞，但进一步的性能有望使量子微电子管更适合实际应用系统。在所有需要改进的器件参数中，特别需要更低的阈值电流密度，因为它可以使器件消耗更少的总功率，并有可能提高壁插效率。我们报告了5.07 um的mocvd生长QC激光器，具有BH再生结构和下行安装，其室温连续波阈值电流密度低于所有这些先前报道的结果。本文提出的QCL结构是通过低压MOCVD生长的。有源区域结构与文献中报道的设计非常相似，但对波导结构进行了一些修改，如下所述。一个周期的层序为：从注入层阻挡层厚 ...

量子级联激光光声光谱法检测甲基膦酸二甲酯（DMMP）的十亿分之一水平我们通过分析和实验证明，光声光谱（PAS）可以产生有关目标分子内部结构的信息，对于在真实的城市和战场环境中检测化学战剂（CWAs）是一种特别敏感和选择性的技术。实验演示使用基于co2激光的PAS提供了对CWA模拟物二异丙基甲基膦酸盐（DIMP）的十亿分之一（ppb， 109分之一）水平的检测能力，对于1 ppb的报警阈值，潜在的超低误报率接近≤1:108。然而，基于co2激光的PAS系统相对较大、较重且功率密集。对于便携式或半便携式系统，需要不同类型的激光系统。本文演示了使用宽可调谐外光栅腔量子级联激光器（QCL）在检测水平上 ...