中文：刻蚀；英文：etching

光束质量对平顶光衍射光学元件输出的影响在激光加工和表面烧蚀等领域中，平顶光比激光器直接输出的类高斯光具有更高的价值，其中，衍射光学元件（DOE）以其结构简单、容易量产等优点成为很多人进行光束整形的第1选择。DOE利用表面浮雕微结构对波前的振幅和相位进行调控，从而实现入射光束再分布的精密光学器件，可以容易地实现一些传统折光结构难以实现的效果。同时，DOE也存在一些限制条件，其对于入射激光有着严格的要求。在众多影响因素中，光束质量是一个无法被忽视的因子。对于多模输出的激光器，其输出激光可以用近似高斯谢尔模型（GSM）描述。本文利用GSM光束研究光束质量对平顶光DOE输出光斑的影响。通过模式分解的方 ...

量子级联激光器：长波红外（λ>6 μm）的设计qcl今天能够在λ = 3-24 μm范围内发光，并且z近已经引入到太赫兹域，可能导致光电集成的新水平由于有可能利用为电信/数据通信组件市场开发的已经成熟的InP和GaAs技术，qcl已经显示出令人印象深刻的快速技术发展。自1994年成立以来，2QC激光器仅在几年后就实现了室温（RT）脉冲操作，并在2008年实现了连续（CW） RT操作。由于不断推动这项技术的工业化，由Cho首创的分子束外延（MBE）进行的初始材料开发工作近年来已扩展到更标准的工业平台，用于材料生长，金属有机化学气相沉积（MOCVD）mocvd生长的QC激光器已经迅速达到了与 ...

可见光到近红外光谱区SiN集成光子元件摘要：在本文中，我们介绍表征SiN集成组件的实验设置的结构和设计，简述了可见光到近红外光谱区的SiN集成光子元件中的应用。本研究强调氮化硅（SiN）是开发可见光至近红外范围内量子光子集成电路（QPICs）的理想材料。已经设计、制造和测试了各种集成的基于sinc的构建模块，展示了低插入损耗和高效率的先 进性能。采用精确的工艺，包括LPCVD沉积和定制蚀刻技术，制备了氮化硅（SiN） PICs，以实现750 nm的单模波导。光学表征在很大程度上依赖于FYLA SCT500超连续激光作为光源。这使得测量宽光谱响应（650-850 nm）具有高精度[图1]。输入偏 ...

基于空间ALD和激光加工的颜色生成新方法摘要：在本文中，我们介绍表征SiN集成组件的实验设置的结构和设计，简述了可见光到近红外光谱区的SiN集成光子元件中的应用。空间ALD（原子层沉积）是一种薄膜沉积技术，可以在原子水平上精确控制材料沉积。与传统ALD在整个衬底上沉积均匀薄膜不同，空间ALD允许在特定的空间模式下选择性沉积。这种前所未有的控制水平为创造复杂的颜色图案和结构开辟了新的可能性。激光加工技术可以在微纳米尺度上精确控制材料的改性。通过将空间ALD与激光加工相结合，研究人员可以更好地控制制造材料的光学特性和结构特性。ALD和激光加工之间的这种协同作用使创建高度定制的着色效果成为可能。关于 ...

后，通过化学刻蚀定义脊状波导，并在激光波导侧面重新生长绝缘Fe:InP。极化子C-V和霍尔测试已被用来确保Fe:InP是一个良好的电绝缘体。横向再生的目的是双重的：它允许激光模式的光学限制在横向方向，并有助于优化散热，通过改善在活跃区域产生的热量的横向传输，并通过平面化设备的顶面，从而允许向下安装激光器。通过电子束蒸发沉积顶部和底部触点金属，随后在顶部触点上电解镀一层厚金层，从而完成了器件的制造。这些器件被切成小块，铟被焊接到铜支架上，以获得非常佳的散热效果。设备温度由安装在设备本身附近的温度传感器监测。图2(A)显示了安装的器件和完整波导的面。图2在分布式反馈（DFB）激光器的情况下，MOC ...

量子金刚石显微镜在半导体失效分析中的应用1.介绍随着异构集成（HI）和封装技术日益普及，以实现性能提升的新一代目标，传统的电气故障分析（EFA）技术在应对行业新兴趋势（如晶圆间、芯片间键合、硅通孔以及背面电源供应的复杂性）时面临日益严峻的挑战。由于互连对器件的性能提升至关重要，确保其电气完整性对于提升产量和保持高良率至关重要。然而，许多传统EFA技术难以应对弱信号、多金属化层和堆叠芯片等问题。此外，氮化镓和碳化硅等宽带隙材料的广泛应用导致当前EFA面临更多复杂性。迫切需要开发新方法，能够定位深埋于表面之下且被复杂金属化层包围的故障，同时具备三维信息、高分辨率和短测量时间。解决这些问题的新兴EF ...

命性反应离子刻蚀工艺打破瓶颈，实现从“痕量检测”到“精准分析”的跨越，为生命科学、食品安全、环境监测等领域提供定制解决方案。一、技术原理SERStrate衬底采用金/银纳米柱阵列结构，其技术原理是当入射激光激发时，金属表面自由电子产生集体振荡，形成强烈的局域电磁场“热点”。这种电磁场增强效应使吸附于纳米结构表面的分子拉曼信号提升10⁶-10¹⁴倍，实现单分子级检测灵敏度。SERStrate衬底不同于传统聚合物掩膜光刻技术，制备难度又高时间又长，该衬底仅通过两步简单工艺即可完成制备，首先在纳米硅基底上构建有序微纳结构，再通过气相沉积形成均匀金/银涂层。该反应离子刻蚀工艺避免了复杂化学处理，大幅降 ...

时间门控SPAD阵列与非视域成像中的关键散射特性研究非视域成像，旨在实现对视线之外隐藏物体的探测与重构，是近年来光电探测领域的前沿焦点。这项技术借助于一个中介面（如墙壁、地面），通过捕获从隐藏目标反射并再次经由中介面散射回来的微弱光信号，来“绕弯”看清拐角后的景物。在众多技术路径中，基于时间门控SPAD（单光子雪崩二极管）阵列的成像方法，因其具有凝视成像、高时间分辨率、设备集成度高等优势，被视为走向实用化的关键技术之一。图1：基于 TG-SPAD 阵列的非视域成像原理示意图一、 技术核心：为何要研究中介面的散射特性？在非视域成像系统中，中介面并非理想的镜子。当光子携带隐藏目标的信息返回中介面时 ...

MokuOS 4.1新增仪器功能：高速信号采集记录回放仪全新仪器功能：高速信号采集记录回放仪MokuOS 4.1发布，新增仪器功能高速信号采集记录回放仪（Gigabit Streamer）,支持使用Moku:Delta的SFP端口，实现信号实时高速捕获与回放、高达5 Gbps双向数据流传输，带来更高数据处理通量。这为 AI/ML 训练、GNSS 的 L 波段直接注入测试以及射频频谱实时监测等应用带来更灵活高效的解决方案。高速信号采集记录回放仪的主要功能有：双通道连续流式传输支持 2 通道并行流式传输数据流速率：每个方向zui高 5 Gbit/s，适合高速连续采集和回放*全速率数据采集记录回放支 ...

案例分享|Covesion锁频激光器入海行：从冷原子到寒海境当我们谈到量子的时候，我们往往想象到一幅充满真空腔，隔振平台、手捧热茶科学家们的实验室场景，而现在英国Covesion公司的双波长锁频激光器作为CPI TMD Technologies公司近期研发的HARLEQUIN量子混合惯性导航系统的核心，首次在海上支持冷原子技术的实际部署。这标志着量子传感器不仅能在光学平台上工作，并且能在狂野颠簸、变幻莫测的海上环境中工作的重要一步。Covesion的锁频激光系统正位于Trinity House vessel的THV Galatea号前性能抢先看Covesion的锁频激光系统是基于核心光纤耦合P ...