光刻胶测量概述MProbe™ Vis MSP用于小点测量。在本文中,我们将讨论PR的几种不同应用:1.玻璃基板上的薄PR(主CD/DVD应用)2.蓝宝石晶圆上薄PMMA3.硅上PR(微斑)4.硅片上PR(毯式硅片)5.铜板PR(印制板)一、玻璃基板上的薄PR此应用程序用于主CD/DVD和其他重新编码应用程序。用MicropositS1800系列(Shipley)自旋涂覆玻璃盘。PR的柯西系数由厂家提供。而PR在随厚度直接测量的500nm~600nm范围内吸收较小。PR的光学常数采用CauchyK模型表示,其中仅测量吸收(k)部分,而n系数是固定的。图1 PR的光学常数,k为实测,n由厂家提供。 ...
面进行精细的刻蚀,这种技术利用了飞秒激光的超短脉冲特性,能够在极短的时间内释放巨大的能量,实现对材料的非热性加工。飞秒激光技术自问世以来发展迅速,以其卓越的加工精度和速度,能够在包括石英玻璃在内的多种材料表面进行微米乃至纳米级别的精细加工。这种技术的应用范围广泛,从微电子到生物医学领域,都能看到飞秒激光技术的身影。它不仅提高了加工效率,还极大地拓展了材料加工的可能性,为精密制造领域带来了革命性的变化。结语:虽然玻璃有很多优点,但其脆性特性使得对它的精密加工难度很大。利用近年发展起来的激光加工技术,通过调整激光的波长、功率和脉冲宽度等工艺优化,可在玻璃材料加工领域不断提高产品良率,并获得稳定成熟 ...
D7点衍射激光干涉仪用于测量介观显微物镜的检测方案介观物镜,因其具有复杂的光学结构和出色的像差优化,可以实现高NA和超大成像 FOV,显著提高光学显微镜成像通量的特点而被人们熟知。介观显微物镜可用于广域成像系统、激光共焦扫描成像系统和双光子成像等系统,具有重要的研究意义。本文介绍了一种用D7点衍射激光干涉仪测量介观显微物镜的检测方案,具体方案如下图所示:1.光源部分1. D7系统的光源为连续波(CW)单模(SLM)激光器:具有不同波长的相干性,覆盖了激光器的工作光谱范围包括:480 nm, 532 nm, 633 nm, 830 nm, 1030 nm。2. 激光器是光纤耦合的,可以通过光纤插 ...
如何选择和使用飞秒脉冲测量和压缩器d-scan系列产品本简易指南为您提供了关于如何使用飞秒脉冲测量和压缩器d-scan系列产品及如何选择型号以匹配您的应用和激光源的指导。我们的产品间的区别是什么?我们所有的产品都是基于色散扫描技术。每个产品都测量激光的SHG光谱作为色散的函数,并反演激光脉冲的光谱相位。产品之间的主要区别在于测量类型(扫描或单发),可以测量的z短/z长脉冲,以及系统是否也可以同时压缩脉冲。下表总结了我们三个激光应用产品系列之间的主要区别。对于双光子显微镜应用,我们专门设计了d-micro,它可以补偿显微镜色散,确保在显微镜的样品平面上压缩激光脉冲。d-scan超快激光振荡器和空 ...
用二次谐波色散扫描表征超短激光脉冲(本文译自Characterizing ultrashort laser pulses with second harmonic dispersion scans,Ivan Sytcevich, Chen Guo, Sara Mikaelsson, Jan Vogelsang, Anne-Lise Viotti, Benjamín Alonso, Rosa Romero, Paulo T. Guerreiro, Anne L’Huillier, Helder Crespo, Miguel Miranda, and Cord L. Arnold)1.介绍超短激光 ...
医疗支架图层测量有几种类型的支架用于不同的医疗条件。一类血管支架是药物洗脱支架(DES),其设计目的是非常大限度地减少支架内再狭窄,这是裸金属支架的主要缺点。DES由标准金属支架、聚合物涂层和嵌入聚合物并随时间释放的抗增殖药物组成。涂层不均匀会导致药物分布和释放不可预测。涂层厚度和均匀性的质量控制是DES制造过程中的关键任务之一。另一类是用于血栓提取的支架,在动脉瘤或癌症的情况下限制血液流动。支架封装也用于血管应用,以部署支架。支架的覆盖物由聚氨酯、聚四氟乙烯或类似的高分子材料制成。对支架支板之间和支板上覆盖膜的厚度进行测试是非常重要的。在这两种情况下,MProbe VisHR-MSP系统为质 ...
波长为8~12μm的长波红外量子级联激光器量子级联激光器(QCL)是少数能够服务于这一重要光谱范围的光源之一。由于其独特的电气操作和微型尺寸,qcl可以包含在紧凑、便携、坚固的系统中,这些系统可能价格低廉,可在任何基于半导体的平台上进行现场部署,易于使用。当前低波长红外区域的激光器性能开始与中波红外(MWIR, λ = 3-5μm)的性能相媲美,传统上,中波红外(MWIR, λ = 3-5μm)的性能更为成熟,因为高功率MWIR器件由于需要IRCM解决方案而得到了强劲的发展。目前LWIR的性能可以提供瓦特级的输出功率,在z佳情况下具有两位数的电光转换效率。高性能LWIR器件的z大挑战并不容易通 ...
超宽带(3.3 - 12.5µm)单栈量子级联增益介质自二十多年前发明以来,QC激光器由于其紧凑性,稳健性和高性能(高输出功率,可调性和波长可定制性)而成为许多实际应用中备受追捧的中红外源。然而,有光谱应用(如生物学),其中分子的吸收特征是广泛的,因此需要单一激光源的宽波长可调性。为了实现广泛的可调性,已经报道了各种方法,如所谓的“绑定到连续体”和“连续到连续体”设计,以及多个增益介质的堆叠。在这里,我们通过设计一种单堆栈增益介质来实现宽增益发射,该介质结合了QC激光器中两个相对较新的、不同的带结构设计概念:注入器基态与上激光态的超强耦合和超短注入器区域。图1我们的活动岩心设计(图1(a))采 ...
高功率螺旋腔量子级联超发光发射器量子级联(QC)器件在中红外中表现出潜在的超发光光源。然而,由于子带间跃迁的非辐射载流子寿命短,导致自发辐射较低,因此在QC器件中实现毫瓦的超发光(SL)功率是具有挑战性的。在2 mm长的法布里-珀罗腔中用湿蚀刻面代替一个镜面,在10 K下的峰值光功率为25 μW。光功率不足阻碍了这种光源的实际应用。虽然存在强大的宽带QC激光器,但激光引起的长相干长度会降低OCT系统中的图像分辨率。zui近,通过采用带有Si3N4抗反射涂层的圆形湿接后面和17°倾斜劈裂前面,在250 K下实现了~10 mW的峰值SL功率。然而,这些发射器的长度为8毫米,这限制了这些设备的紧凑性 ...
和氩离子铣削刻蚀对宽度为5 μm、长度50 μm的霍尔交叉器件进行了图像化处理。光学图像如图1d所示。图3SOT的开关行为是通过在MgO/Pt/Co霍尔交叉器件上发送脉冲电流来实现的。电流I的脉冲宽度固定为5ms。电流振幅从+15扫至- 15 mA,然后再回到+15 mA。通过发送470 μA的小读电流,测量每个脉冲电流后的霍尔电压(Vxy)。脉冲电流的间隔约为2秒。测量过程如图2a所示。Vxy切换曲线如图2b所示,Hx从30到−30 Oe变化。在Hx = 0 Oe时观察到一个几乎完全的SOT开关回路。此外,当Hx =−10 ~−20 Oe时,该样品几乎没有检测到开关信号。这些结果表明,存在一 ...
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