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方阻(电涡流检测)在半导体行业中的应用1. 原理介绍1.1 电磁感应定律的工程应用涡流测试基于法拉第电磁感应定律的精确数学表达:在导体内部,电场强度与电流密度关系为:该方程的解给出趋肤深度公式:薄层近似理论当满足条件(t为膜厚)时,可建立方阻与阻抗的直接关联:其中::空载线圈阻抗( K(k) ):第1类完全椭圆积分( k ):线圈几何参数比1.2 使用涡流测试进行质量保证涡流测试方法利用局部电导率变化来表征质量特性,例如厚度、片材电阻、材料均匀性或研究样品中的其他物理变化。复杂的涡流信号包含有关测试材料的各种信息,在许多情况下可以用简单或复杂的算法进行分离。应用的强大涡流电子设备提供从 10 ...
LED照明的闪烁测量1. 简要说明固态照明 (SSL) 的广泛引入要求比磁镇流器荧光灯等上一代技术更彻底地考虑光闪烁的影响。原则上,LED 的光输出跟随电流;然而,交流主电源必须传输到 LED 本身所需的直流信号。因此,需要 LED 的电子驱动电路以及外部控制器和调光器,除了任何电源波动和瞬变的影响外,还可以在光输出中轻松引入调制。许多 LED 驱动器使用脉宽调制 (PWM) 进行调光控制,该调光采用具有不同占空比的单频高调制。除了交流电源频率引起的典型低频振荡外,这些电子电路还可以包含高频元件。光源光输出随时间的变化通俗地称为“闪烁”,可能对观察者产生视觉和非视觉的有害影响。根据CIE TN ...
量子金刚石显微镜在半导体失效分析中的应用1.介绍随着异构集成(HI)和封装技术日益普及,以实现性能提升的新一代目标,传统的电气故障分析(EFA)技术在应对行业新兴趋势(如晶圆间、芯片间键合、硅通孔以及背面电源供应的复杂性)时面临日益严峻的挑战。由于互连对器件的性能提升至关重要,确保其电气完整性对于提升产量和保持高良率至关重要。然而,许多传统EFA技术难以应对弱信号、多金属化层和堆叠芯片等问题。此外,氮化镓和碳化硅等宽带隙材料的广泛应用导致当前EFA面临更多复杂性。迫切需要开发新方法,能够定位深埋于表面之下且被复杂金属化层包围的故障,同时具备三维信息、高分辨率和短测量时间。解决这些问题的新兴EF ...
2109nm体布拉格光栅(Volume Bragg Grating, VBG)在半导体光刻中的应用引言:本文介绍了 2109nm 体布拉格光栅(VBG)在半导体光刻中的应用。首先介绍了 VBG 的基本原理、功能特点。重点讲述了RBG 光栅在激光波长基准源(Wavelength Reference)和光路热稳定性监测中、光刻系统滤波等方面的应用,深入分析了 2109nm VBG 在半导体光刻过程中所起的关键作用。讨论了其在提高光刻分辨率、改善光刻精度等方面的优势。同时,还列举了目前市场上主要的VBG厂商(品牌),比对了不同品牌VBG产品的优劣势,以及当前应用中面临的挑战和未来发展趋势。体布拉格光 ...
看“透”工业,还得OCT!——OCT技术在工业领域的创新应用探索光学相干层析技术(Optical Coherence Tomography,OCT)是一种三维成像技术,可以在散射介质中进行高分辨率成像,成像深度达毫米级,分辨率达到微米级,可以像CT一样透视透明/半透明以及高散射产品的表面信息及内部结构,类似“光学切片”的效果。该技术被大众熟知是在眼科领域的应用,近年来也逐步被引入到工业领域。OCT技术演进史OCT发展至今,可大致分为两代:第1代:时域OCT(Time Domain OCT,TD-OCT);第二代:傅里叶域OCT(Fourier Domain OCT,FD-OCT)。TD-OCT ...
AMD利用可重构FPGA设备Moku实现自定义激光探测解决方案摘要本文介绍了Advanced Micro Devices, AMD公司如何基于可重构FPGA设备自定义激光探测解决方案,替代传统的仪器配置,通过灵活且可定制的FPGA设备Moku提供更高效和灵活的激光探测技术。文中结合多个案例研究探讨了使用Moku平台简化实验设置、部署锁相放大器和双boxcar平均器提升信号质量、并通过Moku的神经网络及云编译功能优化实时信号处理。Moku将信号生成、测试分析、控制调节等多种功能集成于一台设备,支持用户快速部署自定义HDL代码,该方案集成度高、硬件投资成本低、配置简洁,且支持高度自定义和信号处理 ...
看激光指向稳定系统,是如何大幅提高龙门系统激光加工的精度!激光加工作为一种无接触式加工,以其可控性好、加工效率高、材料损耗低等特点,在与传统加工方式的比较中脱颖而出,成为很多人的选择,常见的有激光切割和激光焊接。目前振镜或焊接头与龙门系统架相结合是常见的激光加工组合方案。在加工过程中,焊接头随龙门架移动或振镜扫描,促使激光在靶面移动,进而实现高精度的激光切割或焊接操作。然而,随着机器规模增大,光束路径延长,在加工过程中会出现机械结构件的膨胀、龙门系统的振动以及导轨平行度以及空气扰动,这使得要实现微米甚至亚微米精度的控制愈发困难。在科学研究应用中,虽可采用封闭或抽真空束线管规避空气波动,但在龙门 ...
锁相放大相机在NV色心成像中的应用NV色心(氮-空位色心)是金刚石中由氮原子和邻近空位形成的缺陷,其基态能级在外磁场作用下产生劈裂,在此基础上通过光探测磁共振(ODMR)可检测磁场强度。本文提出一种基于锁相放大相机的NV色心磁成像方法。其通过锁相放大相机可以同步各个像素采集特定频率荧光信号。实验表明,该方法可实时解析NV色心荧光强度在一定磁场强度下的周期性响应,进而测量实验所施加的磁场强度。NV色心磁成像简介图1 NV色心金刚石晶格结构图NV色心(Nitrogen-Vacancy Center)是金刚石晶格中的一种原子级点缺陷,由邻近碳空位的一个氮原子替代碳原子构成。其独特的结构赋予其多维度物 ...
相位偏折测量系统:解锁复杂光学元件的纳米级检测在精密光学制造领域,复杂自由曲面的高精度测量一直是技术挑战的核心。它的难点主要体现在3个方面。➽复杂曲面、离轴结构、半透元件……传统设备“测不全”,形变盲区成良率隐患;➽纳米级起伏即可引发光路偏移,但多数系统分辨率止步于百纳米量级;➽依赖恒温避振环境,工业现场振动、温漂直接“劝退”高精度检测。如今,昊量光电推出的相位偏折术/相位偏折测量系统(Phase-MeasuringDeflectometry,PDM),以纳米级精度(RMS 10-15 nm)解决了复杂光学元件(如自由曲面、离轴非球面)的检测难题。相较传统检测设备,其成本更低、操作更简便(3分 ...
应用介绍 | 单光子计数拉曼光谱单光子计数拉曼光谱实验装置示意图脉冲激光聚焦在样品表面,激发样品产生荧光和拉曼散射,单光子探测器探测这些受激发射和散射。Time Tagger 采集所有光子事件的时间戳并加以实时分析。1. 什么是单光子计数拉曼光谱?拉曼光谱作为一种强大的分析技术,能够通过研究光散射现象揭示样品的分子组成、化学结构及化学环境。当激光照射样品时,大多数光子发生弹性(瑞利)散射,仅有极少部分光子与分子内部的振动或转动相互作用,产生能量转移,发生非弹性(拉曼)散射。拉曼光谱在生物化学、药物分析、环境监测、材料研究等领域有着广泛应用,为分子结构及相互作用提供了深刻洞见。然而,该技术也面临 ...
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