光刻胶厚度测量应用本文旨在通过烘焙样品和两个部分烘焙的光刻胶样品来阐明测量过程。光刻胶测量使用500nm-1000nm 波长范围进行,以尽量减少吸收的影响。步骤 1. 确定光刻胶的光学常数许多光刻胶已在材料库中定义。在这种情况下无需执行任何操作光刻胶规格表包含有关色散参数的信息。它们以柯西系数的形式列出——这3个系数可以确定材料在不同光波长下的折射率(R.I.)。可以创建新的柯西材料并指定特定光刻胶的柯西系数如果光致抗蚀剂的柯西系数不可用–使用类似光致抗蚀剂的柯西系数作为起点。步骤 2:创建胶片堆栈Filmstack 代表物理样本的模型- 它定义了基材和材料层。如果3000nm 的光刻胶沉积在 ...
表面痕量化学物质的中红外反射特征检测方法包含主动MIR高光谱成像(HSI),包括使用波长可调激光器与高速相机相结合,以捕获目标表面反射光谱的高光谱图像(即超立方体)。分析这些超立方体的光谱特征,以表明感兴趣的化学物质的存在。该技术的一个非常重要的应用是痕量爆炸物的探测。图1MIR HSI方法涉及使用外腔量子级联(ec - qcl)进行激光照明。图1显示了测量装置的照片,其中样品在近距离(8厘米的距离)测量,以实现70 um的高空间分辨率。使用两个Block的Mini-QCLTM ec - qcl在波长范围为7.7 - 11.8 um的范围内捕获了一个256波长的复合超立方体。激光束在目标上进行 ...
高分辨率微型FTIR光谱仪由大型线性行程MEMS弹出式反射镜实现1.光学质量为了在中远红外光谱区域达到所需的反射率,静止和移动的镜子都需要涂上大量的金属,特别是金(Au)。过去,在氢氟酸(HF)中释放之前和之后,确定了典型晶圆级镜面金属化的两个主要技术挑战:(1)由于与必要的粘附促进剂相关的额外残余应力,镜面曲率大幅增加;(2)电子电偶腐蚀,在HF水中,金和多晶硅之间的电极电位差导致多晶硅镜面优先腐蚀,从而产生显著的结构不稳定和晶粒结构扩大。图1为了应对这些挑战,ChemPen™开发了一种可替代的释放后金属化技术,该技术消除了高压粘附层的使用,进一步为电子电偶腐蚀提供了基本解决方案。使用定制的 ...
Moku:Lab应用于双光频梳锁定实现高效精准测距光学频率梳(OFC)已经成为精确测量频率和距离的重要工具,已经在LiDAR、微纳器件的3D表面轮廓和引力波探测等领域被广泛应用。典型的OFC测量涉及许多的飞行时间检测,它通过检测激光脉冲从物体反射并返回探测器(通常是光学干涉仪)所需的时间来测定到物体或表面的距离。虽然测量概念很简单,但要同时精确且快速地完成测量极具挑战,通常需要牺牲其中一项。近期,中科院西安光学精密机械研究所(XIOPM)和华中科技大学(HUST)的研究人员开发了一种新型精密测距方法,使用两个光学频率梳来达到测量精度和测量速度的平衡。在该项目中,Moku:Lab— 基于FPGA ...
光刻胶测量概述MProbe™ Vis MSP用于小点测量。在本文中,我们将讨论PR的几种不同应用:1.玻璃基板上的薄PR(主CD/DVD应用)2.蓝宝石晶圆上薄PMMA3.硅上PR(微斑)4.硅片上PR(毯式硅片)5.铜板PR(印制板)一、玻璃基板上的薄PR此应用程序用于主CD/DVD和其他重新编码应用程序。用MicropositS1800系列(Shipley)自旋涂覆玻璃盘。PR的柯西系数由厂家提供。而PR在随厚度直接测量的500nm~600nm范围内吸收较小。PR的光学常数采用CauchyK模型表示,其中仅测量吸收(k)部分,而n系数是固定的。图1 PR的光学常数,k为实测,n由厂家提供。 ...
拉曼探测技术分类与发展1. pmt和mcpS在20世纪40年代,pmt首次被用作拉曼实验的光敏弱光探测器。门控只能通过外部触发脉冲来实现,在20世纪60年代,pmt被用于门控受激光散射识别,为未来的TG拉曼探测器铺平了道路。后来的mcp使热重测量达到飞秒范围。在这种检测布置中,使用微通道板将图像增强器置于光电二极管阵列的前面。图像增强器的线性问题限制了它们与热重测量装置相结合的适用性。通过强化光电二极管阵列可以进一步提高灵敏度。原则上,mcp是真空管组件中的电子倍增器,它将入射电荷倍增到二次发射。由于有许多通道允许空间分辨率,mcp可用于解决时间延迟。它们还能够在MHz区域快速切换,使其适用于 ...
超宽带(3.3 - 12.5µm)单栈量子级联增益介质自二十多年前发明以来,QC激光器由于其紧凑性,稳健性和高性能(高输出功率,可调性和波长可定制性)而成为许多实际应用中备受追捧的中红外源。然而,有光谱应用(如生物学),其中分子的吸收特征是广泛的,因此需要单一激光源的宽波长可调性。为了实现广泛的可调性,已经报道了各种方法,如所谓的“绑定到连续体”和“连续到连续体”设计,以及多个增益介质的堆叠。在这里,我们通过设计一种单堆栈增益介质来实现宽增益发射,该介质结合了QC激光器中两个相对较新的、不同的带结构设计概念:注入器基态与上激光态的超强耦合和超短注入器区域。图1我们的活动岩心设计(图1(a))采 ...
用于高带宽WDM-PONs的1.55um VCSEL阵列(1)-设备结构垂直腔面发射激光器(VCSELs)已被证明是波分复用无源光网络(wdm-pon)中具有成本效益的光源,近年来制造技术稳步发展,特别是单片一维(1-D)和二维阵列制造。爆炸性的带宽需求,特别是在上传和下载速度方面,将需要在接入网中采用WDM技术。由于电信系统的主要问题是连通性,因此未来的系统需要对称的上下游带宽。为了在未来实现有吸引力的市场条件,每带宽的成本必须大幅降低。在这里,我们描述并描述了一种一维VCSELs阵列结构,该结构可以在不进一步投资的情况下实现每个客户带宽的升级(从2.5Gb/s到潜在的80Gb/s甚至120 ...
原位拉曼对单层二硫化钼生长机理的研究应用摘要:化学气相沉积(CVD)的原位研究对于理解过渡金属二硫化物(TMDs)的生长机制和开发高质量单层单晶生长技术至关重要。然而,由于TMD CVD生长是在高温还原环境下进行的,因此原位研究在实践中仍然是一个巨大的挑战。本文使用的原位CVD生长研究系统,就提供了单层MoS2沉积在衬底上的SiO2/ Si实时观察。本文发现,单层MoS2应通过气态前驱体反应生长并从衬底上的预成核位点结晶,中间相MoO2对于成核种子至关重要,但种子分布密度应该得到控制,高浓度的S蒸汽促进了MoS2的面内外延生长;因此,获得具有致密结构的高质量单层是非常有益的。二维过渡金属二硫族 ...
薄膜铌酸锂电光调制器在太赫兹频段的应用(本文译自Thin film lithium niobate optical modulators for THz frequencyapplications(Seyfollah Toroghia, John Rollinsonb)1介绍太赫兹(THz)频率范围覆盖了0.1THz到10THz的电磁频谱,这是一个目前高度研究的频率范围。太赫兹波光子具有独特的特性,使它们能够用于多种应用。太赫兹信号能够穿透许多光学信号无法穿透的材料,因此,它们可以用来观察不透明材料的内部。例如,这在安全领域有应用。太赫兹波的另一个应用是在分子检测方面。空气污染监测系统需要低成 ...
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